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[发明专利]一种具有粗糙表面的硅片的制备方法以及硅片-CN202011053233.X有效
发明人：吴伟昌;吕丽英;黎家健 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种具有粗糙表面的硅片的制备方法以及硅片，解决了现有技术中硅片的光滑表面与其他膜层的表面接近时，容易产生粘滞力的技术问题。本发明实施例提供的一种具有粗糙表面的硅片的制备方法，在经过平面抛光的硅的表面上沉积一层多孔氧化物膜层，然后采用XeF2气相刻蚀的方式对第一硅平面层进行刻蚀，XeF2气体穿过多孔氧化物膜层后再对第一硅平面层进行刻蚀时，不规则的刻蚀第一硅平面层，因此，经过第一次刻蚀后的第一硅平面层的表面粗糙度较大，因此，当该硅片在与其他膜层相近时，降低了两个接近的表面之间产生的粘滞力，提高了MEMS器件的灵敏度，降低了MEMS器件无法使用的概率。
一种具有粗糙表面硅片制备方法以及

[发明专利]带有过热预警功能的环氧树脂加工搅拌器-CN202310959028.7在审
发明人： 吕丽英;包秀群;张才福;潘洋;项滨 -专利权人：铜陵善纬新材料科技有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本发明公开了带有过热预警功能的环氧树脂加工搅拌器，涉及环氧树脂加工搅拌技术领域，用于解决环氧树脂与固化剂搅拌混合效率低以及未对搅拌过程中环氧树脂与固化剂放热处理的问题；本发明是通过转套转动的同时带动转轴上的搅拌扇叶转动，配合上抽料通道内活塞杆的左右移动，实现整个搅拌扇叶转动的同时左右移动，使得位于混合腔中的环氧树脂与固化剂混合更为均匀，同时活塞柱的活动将混合腔中的混合环氧树脂抽入抽料筒道中，方便温控监测器对混合环氧树脂温度进行分析，同时为实现温控监测器采集环氧树脂温度信号更为准确，位于固定架上的第一电机带动弧杆转动，提高后期温度监测器采集环氧树脂温度变化信号的精准性。
带有过热预警功能环氧树脂加工搅拌器

[发明专利]一种具有粗糙表面的硅片的制备方法以及硅片-CN202011049871.4有效
发明人：吴伟昌;吕丽英;黎家健 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种具有粗糙表面的硅片的制备方法以及硅片，解决了现有技术中硅片容易产生粘滞力的技术问题。本发明实施例提供的一种具有粗糙表面的硅片的制备方法，在经过平面抛光的硅的表面上沉积一层表面粗糙度较大的第一膜层，然后采用全刻蚀的方法对第一膜层刻蚀，此时，全刻蚀掉第一膜层后，第一硅平面层远离衬底基板的表面的粗糙度变大，然后再利用刻蚀的方式在第一硅平面层远离衬底基板的表面上进行刻蚀，产生凹槽和凸起，凸起的表面则具有粗糙的表面，形成具有粗糙表面的硅片。当该硅片在与其他膜层相近时，降低了两个接近的表面之间产生的粘滞力，提高了MEMS器件的灵敏度，降低了MEMS器件不能使用的概率。
一种具有粗糙表面硅片制备方法以及

[发明专利]一种低甲苯残留双酚A环氧树脂的制备方法-CN202210270046.X有效
发明人： 吕丽英;任华;包秀群;张才福 -专利权人：安徽善孚新材料科技股份有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C08G59/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种低甲苯残留双酚A环氧树脂的制备方法，属于环氧树脂合成技术领域。本发明在水洗的过程中采用宏观搅拌混合与微观级分子混合结合的方式，能够充分洗去反应过程中产生的有机氯、无机氯，以及残留的相转移催化剂，避免相转移催化剂对甲苯的吸附，有利于后续减压蒸馏过程中甲苯的脱除。本发明提供的方法能够大幅度降低双酚A环氧树脂的甲苯残留量，实施例结果表明，采用本发明方法制备双酚A环氧树脂，所得双酚A环氧树脂甲苯残留量能够降低至10ppm以下，有机氯/无机氯降低至0.001mol/100g。
一种甲苯残留环氧树脂制备方法

[发明专利]一种耐高温粉末涂料及其制备方法和应用-CN202310365182.1在审
发明人：任华;吕丽英;张才福;包秀群;张淑贞;叶琳;方淑文;何克婷 -专利权人：安徽善孚新材料科技股份有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C09D167/00 文献下载
摘要：本发明属于涂料技术领域，具体涉及一种耐高温粉末涂料及其制备方法和应用。本发明提供的耐高温粉末涂料，包括以下质量份数的组分：8～20份双环戊二烯酚醛环氧树脂，8～20份双酚F环氧树脂，8～20份三官能团环氧树脂，20～40份聚酯树脂，3～8份氨基树脂，8～15份4,4'‑二氨基二苯砜，0.5～1.5份流平剂，0.5～1.5份701B，0.5～1份安息香，0.5～1份蜡粉和10～40份颜填料。以双环戊二烯酚醛环氧树脂、三官能团环氧树脂、氨基树脂以及聚酯树脂为基体树脂，基体树脂具有较高的交联密度从而赋予固化涂层优异的物化性能，使涂料的玻璃化温度超过150℃。涂料兼具良好的耐热性、硬度和耐腐蚀性。
一种耐高温粉末涂料及其制备方法应用

[实用新型]谐振器-CN202021235413.5有效
发明人：吴珂;窦韶旭;韩琦;张丽蓉;庄玉召;杨帅;吕丽英;王超 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种谐振器结构，其包括衬底、形成于衬底之上的底电极、形成于底电极之上的压电层以及形成于压电层之上的顶电极，顶电极、压电层与底电极交叠区域为谐振区，谐振器还包括形成于谐振区中的空间，底电极远离衬底的表面为第一表面，顶电极朝向压电层的表面为第二表面，空间自第一表面向远离压电层方向延伸和/或自第二表面向远离压电层方向延伸；或是，压电层包括朝向底电极的底表面和与底表面相对设置且朝向顶电极的顶表面，空间自底表面朝向顶表面方向延伸或自顶表面朝向底表面方向延伸。与相关技术相比，本实用新型的谐振器结构可以使器件能量损失减少，Q值提高，插入损耗降低。
谐振器

[发明专利]一种低固化收缩型环氧树脂及其制备方法和应用-CN202310365184.0在审
发明人：任华;吕丽英;张才福;包秀群;张淑贞;王虹;叶琳;何克婷 -专利权人：安徽善孚新材料科技股份有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C08G59/14 文献下载
摘要：本发明属于环氧树脂技术领域，具体涉及一种低固化收缩型环氧树脂及其制备方法和应用。本发明提供了一种低固化收缩型环氧树脂，具有如式1所示结构；其中，R具有如式2所示结构；n为1～2任一整数。本发明在环氧树脂分子链中引入四氧杂螺环基团，四氧杂螺环基团在BF3胺固化剂的作用下，可发生开环反应，其分子链由环型结构变为直链状态，从而增加了低固化收缩型环氧树脂分子链的体积，在树脂固化过程中可有效填充因固化反应产生的空间收缩，从根本上解决了环氧树脂固化收缩的问题，从而避免环氧树脂在固化过程中产生固化收缩残余应力。
一种固化收缩环氧树脂及其制备方法应用

[发明专利]一种耐候性环氧粉末涂料及其制备方法和应用-CN202310365192.5在审
发明人：任华;吕丽英;包秀群;张才福;张淑贞;方淑文;王虹;叶琳 -专利权人：安徽善孚新材料科技股份有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C09D163/02 文献下载
摘要：本发明属于涂料技术领域，具体涉及一种耐候性环氧粉末涂料及其制备方法和应用。本发明提供的耐候性环氧粉末涂料，包括以下质量份数的组分：10～40份氢化双酚A环氧树脂、10～40份脂环族环氧树脂、3～10份改性咪唑啉固化剂、0.5～1.5份流平剂、0.5～1.5份701B、0.5～1份安息香、0.5～1份蜡粉、10～40份填料、2～5份颜料、0.1～2份紫外线吸收剂和0.1～2份抗氧剂；所述改性咪唑啉固化剂具有式1所示结构。本发明从涂料的组分以及固化工艺上共同提高了涂料的耐候性，本发明提供的耐候性环氧粉末涂料具有耐候性好、防腐性佳、耐湿热以及硬度韧性优的特点。
一种耐候性环氧粉末涂料及其制备方法应用

[实用新型]谐振器-CN202021362650.8有效
发明人：窦韶旭;吕丽英;杨帅;吴一雷;韩琦;吴珂;王超 -专利权人：瑞声科技（南京）有限公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本实用新型提供一种谐振器，其包括基底、沿第一方向设置于基底的复合膜以及设置于复合膜靠近基底一侧的纵向声波反射器；复合膜包括沿第一方向依次设置的第一电极、压电功能膜以及第二电极，第一电极设置于基底和纵向声波反射器之上；横向声波反射器的内侧面沿第一方向向复合膜的正投影所包围的区域为谐振区，谐振器位于谐振区外的区域为非谐振区；第一电极、压电功能膜和第二电极均完全覆盖谐振区；复合膜位于谐振区的部分的声阻抗与复合膜位于非谐振区的部分的声阻抗相异，且第一电极、压电功能膜和第二电极位于谐振区内的部分的声阻抗均是大致不变的。与相关技术相比，本实用新型的谐振器能量损失小且Q值增大。
谐振器

[外观设计]扫地机器人-CN202230675651.6有效
发明人：黄世涛;买思源;吕丽英;甄子怡 -专利权人：江苏海洋大学
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： 15-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：扫地机器人。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于扫地。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
扫地机器人

[发明专利]平坦化方法-CN202010328322.4有效
发明人： 吕丽英;黎家健;吴一雷 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种能够使得待加工产品的局部平坦度更均匀的平坦化方法，待加工产品开设有填充氧化物的腔体，且其包括叠设在腔体上的第一电极层、压电层和第二电极层，第一电极包括位于第一电极层周边的第一斜面部，压电层在其表面形成第二斜面部，第二电极层包括位于第二电极层周边的第三斜面部，方法包括：在第二电极层沉积第一钝化层；对第一钝化层刻蚀以在第三斜面部的外周形成衬垫，衬垫在其表面形成第四斜面部的；在第二电极层沉积第二钝化层，第二钝化层具有第一平面部、设于第一平面部外围的第五斜面部和自第五斜面部延伸的第二平面部，第一平面部沿竖直方向上的投影覆盖腔体，第五斜面部沿竖直方向的正投影落在腔体外。
平坦方法

[实用新型]谐振器-CN202021358886.4有效
发明人：窦韶旭;吕丽英;杨帅;吴一雷;韩琦;吴珂;王超 -专利权人：瑞声科技（南京）有限公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本实用新型提供一种谐振器，包括基底、复合膜和纵向声波反射器；复合膜包括沿第一方向依次设置的第一电极、压电功能膜、第二电极和调频器，第一电极设置于基底和纵向声波反射器上方；调频器包括调频主体部和凸环，凸环的声阻抗与调频主体部的声阻抗相异；凸环内侧面沿第一方向向第二电极的正投影所包围的区域为谐振区，谐振器位于谐振区外的区域为非谐振区；第一、第二电极和压电功能膜均完全覆盖谐振区；压电功能膜包括纵向压电膜和纵向非压电膜；谐振器在谐振区内和非谐振区内的声阻抗相异，第一电极、压电功能膜、第二电极和调频主体部位于谐振区内的部分的声阻抗均是大致不变的。与相关技术相比，本实用新型的谐振器能量损失小且Q值增大。
谐振器

[实用新型]谐振器-CN202021358877.5有效
发明人：窦韶旭;吕丽英;杨帅;吴一雷;韩琦;吴珂;王超 -专利权人：瑞声科技（南京）有限公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本实用新型提供一种谐振器，其包括基底、复合膜和纵向声波反射器，复合膜包括沿第一方向依次设置的第一电极、压电功能膜和第二电极，第一电极设置于基底和纵向声波反射器上；压电功能膜包括纵向压电膜和纵向非压电膜，纵向非压电膜包括主体部和由主体部延伸的呈环状的凸环；凸环的内侧面沿第一方向向主体部的正投影所围成的区域为谐振区，谐振器位于谐振区外的区域为非谐振区；第一、第二电极均完全覆盖谐振区，且第二电极位于非谐振区的部分设置于凸环；谐振器在谐振区内和在非谐振区内的声阻抗相异，且第一电极、压电功能膜和第二电极位于谐振区内的部分的声阻抗均是大致不变的。与相关技术相比，本实用新型的谐振器能量损失小且Q值增大。
谐振器

[发明专利]一种玻纤复合材料用环氧树脂及其制备方法和应用、玻璃纤维复合材料-CN202111662001.9在审
发明人：任华;吕丽英;包秀群;张才福;张淑贞;仇叶云;叶琳 -专利权人：安徽善孚新材料科技股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C08L63/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种玻纤复合材料用环氧树脂及其制备方法和应用、玻璃纤维复合材料，属于玻纤复合材料技术领域。本发明提供的玻纤复合材料用环氧树脂与玻纤复合时，其环氧有机端大分子结构充分与基体树脂纠缠，环氧基团参与基体树脂三维网络固化构建，其硅羟基端在高温固化条件下与玻纤表面羟基反应化学键合，将树脂层与玻纤表面紧密结合；亲油无机纳米粒子可填充修复玻纤表层缺陷，形成榫卯结构提升玻纤复合材料轴向剪切强度，亦可提升环氧基体树脂的韧性与复合材料的耐湿热性，最终达到提升玻纤复合材料界面结合强度的目的。
一种复合材料环氧树脂及其制备方法应用玻璃纤维

[发明专利]一种硅晶片的加工方法-CN201910370674.3有效
发明人： 吕丽英;吴伟昌;黎家健 -专利权人：瑞声科技（新加坡）有限公司
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H01L21/321 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅晶片的加工方法，包括如下步骤：制备由硅衬底和硬掩膜层叠形成的硅晶片基材；在所述硬掩膜上形成开口；对暴露于所述开口的所述硅衬底进行氧化反应，消耗所述硅衬底氧化生成底部嵌于所述硅衬底内、顶部凸露于所述硬掩膜外的氧化层；将所述氧化层之凸出于所述硬掩膜外的部分去除，使得所述硬掩膜和氧化层形成的表面为第一水平面，在所述第一水平面上沉积结构层，去除所述氧化层以在所述硅衬底上形成腔体。本发明使得氧化层与硬掩膜形成的平面平坦，即使是大型结构也没有凹陷缺陷，简化了腔体形成的平面化方法，且可基于特定硅衬底上的氧化速率精确控制腔体的形状和深度。
一种晶片加工方法

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