专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果12个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]具有反应式离子蚀刻功能的连续式镀膜系统-CN201711401154.1有效
  • 叶承朋;张倧伟;苏晖家;刘镒诚;黄一原 - 凌嘉科技股份有限公司
  • 2017-12-22 - 2020-01-31 - C23C14/56
  • 具有反应式离子蚀刻(以下称RIE)功能的连续式镀膜系统电连接于电源供应器且包含载盘并沿生产方向包含载入腔体、RIE装置、溅镀腔体及载出腔体。RIE装置包括电连接电源供应器以于执行RIE制程时作为第一极板用的蚀刻腔体及电浆局限单元。电浆局限单元具有围绕且连接于蚀刻腔体内周缘以与蚀刻腔体共同定义出接地路径的金属遮罩。腔体彼此相通且共同定义出输送通道。载盘电连接于电源供应器并于输送通道中沿生产方向移动,当载盘于执行RIE制程时能作为第二极板用。分别作为第一、二极板用的电浆局限单元与载盘能令载盘于蚀刻腔体中执行RIE制程时,经电场裂解反应式气体所构成的电浆被局限在载盘上方,从而在提升生产效率的前提下解决RIE电场均匀性的问题。
  • 具有反应式离子蚀刻功能连续镀膜系统
  • [发明专利]镀膜用磁性承载装置-CN201610939604.1有效
  • 叶崇宇;苏晖家;叶承朋;颜嘉宏;黄琬瑜;卢木森;黄一原 - 凌嘉科技股份有限公司
  • 2016-11-01 - 2019-05-17 - C23C14/50
  • 一种镀膜用磁性承载装置,是用来承载至少一待镀物,其包含一个基座、一个导磁单元,及一个磁性单元。该基座具有一个参考面。该导磁单元设置于该基座的该参考面,并具有多个沿一第一方向彼此间隔的凸柱。该磁性单元设置于该参考面。在本发明中,该导磁单元的各凸柱的一顶面的一高度是大于该磁性单元的一顶面的一高度。本发明于该镀膜用磁性承载装置内引入该导磁单元,使该导磁单元与该磁性单元间距有一高度差,令该导磁单元的各凸柱顶面的高度大于该磁性单元的顶面高度,以借此消除该磁性单元所产生的磁场总量中的垂直分量的磁场,并有效地贡献出水平分量的磁场。
  • 镀膜磁性承载装置
  • [实用新型]镀膜用磁性承载装置-CN201621163994.X有效
  • 叶崇宇;苏晖家;叶承朋;颜嘉宏;黄琬瑜;卢木森;黄一原 - 凌嘉科技股份有限公司
  • 2016-11-01 - 2017-09-08 - C23C14/50
  • 一种镀膜用磁性承载装置,是用来承载至少一待镀物,其包含一个基座、一个导磁单元,及一个磁性单元。该基座具有一个参考面。该导磁单元设置于该基座的该参考面,并具有多个沿一第一方向彼此间隔的凸柱。该磁性单元设置于该参考面。在本实用新型中,该导磁单元的各凸柱的一顶面的一高度是大于该磁性单元的一顶面的一高度。本实用新型于该镀膜用磁性承载装置内引入该导磁单元,使该导磁单元与该磁性单元间距有一高度差,令该导磁单元的各凸柱顶面的高度大于该磁性单元的顶面高度,以借此消除该磁性单元所产生的磁场总量中的垂直分量的磁场,并有效地贡献出水平分量的磁场。
  • 镀膜磁性承载装置
  • [发明专利]自冷式移动式镀膜承载盘-CN201510008257.6有效
  • 叶崇宇;苏晖家;叶承朋;张倧伟;黄一原;黄琬榆;卢木森 - 凌嘉科技股份有限公司
  • 2015-01-08 - 2017-06-13 - C23C14/50
  • 本发明提供一种自冷式移动式镀膜承载盘,包含一载盘单元,及一相变化物质。该载盘单元内部形成有一密闭空间。该相变化物质填置于该载盘单元的密闭空间中。该相变化物质能自该载盘单元吸收一热能,以作为至少部分的该相变化物质自一固态熔融成一液态时所需的潜热,且该相变化物质的熔点为介于18℃至95℃间。借由该相变化物质本身于相变过程所需的熔解潜热,以自该载盘单元吸收该热能,能带走于溅镀过程中累积在待镀物上的高温热能,以借此提升散热效果并从而改善镀膜质量。
  • 移动式镀膜承载
  • [实用新型]用于生产线的可移动式载盘装置-CN201621038667.1有效
  • 叶承朋;苏晖家;叶崇宇;张倧伟;黄一原;黄琬瑜;卢木森 - 凌嘉科技股份有限公司
  • 2016-09-06 - 2017-03-22 - H01L21/673
  • 一种用于生产线的可移动式载盘装置,是用于承载一待处理基板并于一生产线中的一传送机构上移动,其包含一金属承板、一电极板及一绝缘单元。该金属承板能移动地位于该传送机构上并包括一穿孔。该电极板设置于该金属承板的上方并供承载该待处理基板。该电极板具有一面向该金属承板的穿孔且裸露于该金属承板的穿孔外的电源载入区。该绝缘单元设置于该金属承板上且夹置于该金属承板与该电极板间,并围绕该电极板的一周缘及该待处理基板的一周缘。该绝缘单元具有至少一与该金属承板的穿孔相通并裸露出该电极板的电源载入区的穿孔。借金属承板及绝缘单元令待处理基板于实施等离子蚀刻程序时,辅助等离子横越待处理基板上表面以增进其表面处理的均匀性。
  • 用于生产线移动式装置
  • [发明专利]用于生产线的可移动式载盘装置-CN201610803606.8在审
  • 叶承朋;苏晖家;叶崇宇;张倧伟;黄一原;黄琬瑜;卢木森 - 凌嘉科技股份有限公司
  • 2016-09-06 - 2016-11-16 - H01L21/673
  • 一种用于生产线的可移动式载盘装置,是用于承载一待处理基板并于一生产线中的一传送机构上移动,其包含一金属承板、一电极板及一绝缘单元。该金属承板能移动地位于该传送机构上并包括一穿孔。该电极板设置于该金属承板上方并供承载该待处理基板。该电极板具有一面向该金属承板的穿孔且裸露于该金属承板的穿孔外的电源载入区。该绝缘单元设置于该金属承板上且夹置于该金属承板与该电极板间,并围绕该电极板的一周缘及该待处理基板的一周缘。该绝缘单元具有至少一与该金属承板的穿孔相通并裸露出该电极板的电源载入区的穿孔。借金属承板及绝缘单元令待处理基板于实施等离子蚀刻程序时,辅助等离子横越待处理基板上表面以增进其表面处理的均匀性。
  • 用于生产线移动式装置
  • [实用新型]极间式靶材阴极装置-CN201620312480.X有效
  • 叶崇宇;苏晖家;叶承朋;颜嘉宏;黄琬瑜;卢木森;黄一原 - 凌嘉科技股份有限公司
  • 2016-04-14 - 2016-09-21 - C23C14/35
  • 一种极间式靶材阴极装置,包含一个主要磁铁单元、一个靶材及一个辅助磁铁单元。主要磁铁单元包括一个外环磁铁组件与一个具反向延伸的两个端缘的内磁铁组件。靶材设于外环磁铁组件与内磁铁组件间且具一个溅射面及一个相反于溅射面的背面,并包括两个各具反向延伸的第一端缘与第二端缘的主体部与至少一个弯曲部。主体部的第一端缘与第二端缘互相对应,且弯曲部连接于主体部的第一端缘或第二端缘。辅助磁铁单元与靶材间隔设置且相对溅射面靠近背面,并包括至少一个间隔设置于内磁铁组件的该两个端缘中的一者与外环磁铁组件间以邻近弯曲部的第一辅助磁铁组件,令垂直溅射面的磁场强度均匀分布。
  • 极间式靶材阴极装置
  • [实用新型]磁性靶材装置-CN201520313048.8有效
  • 叶崇宇;苏晖家;叶承朋;张倧伟;黄琬瑜;卢木森;黄一原 - 凌嘉科技股份有限公司
  • 2015-05-15 - 2015-09-16 - C23C14/35
  • 一种磁性靶材装置,包含一个由非磁性金属制成的背板,及一个由磁性金属制成的溅镀靶。该溅镀靶包括一个设置于该背板的基底面、一个相反于该基底面的轰击面,及至少一个由该轰击面贯通至该基底面的导磁通道,该基底面至该轰击面的直线距离能定义一个靶材厚度,该导磁通道包括一个由该轰击面朝该背板方向延伸的第一导磁段、一个连通该第一导磁段并与该第一导磁段形成一个第一夹角延伸的第二导磁段,及一个连通该第二导磁段并与该第二导磁段形成一个第二夹角地朝该背板延伸的第三导磁段,该第二导磁段具有一个延伸长度,该延伸长度与该靶材厚度的比值不小于0.3且不大于1。
  • 磁性装置
  • [发明专利]具有载盘冷却功能的镀膜系统-CN201510010395.8在审
  • 叶承朋;苏晖家;叶崇宇;张倧伟;黄一原;黄琬榆;卢木森 - 凌嘉科技股份有限公司
  • 2015-01-09 - 2015-08-05 - C23C14/56
  • 一种具有载盘冷却功能的镀膜系统,包含一包括一盘本体与一填置于盘本体中的相变化物质的载盘、一镀膜站、一回流装置及一冷却装置。镀膜站包括一入口端与一出口端,载盘能自入口端进入镀膜站中以进行一镀膜制程。回流装置包括一设置在镀膜站外的传送单元。相变化物质能自盘本体吸收一在镀膜制程中所累积的热能,以作为至少部分的相变化物质自一固态熔融成一液态时所需的潜热,且相变化物质的熔点为介于18℃至95℃间。冷却装置能自相变化物质吸收热能,以令至少部分的相变化物质自液态凝固成固态。借由载盘的改良及相变化物质本身所需的熔解潜热以提升镀膜质量,另外利用冷却装置解决镀膜系统中的散热问题。
  • 具有冷却功能镀膜系统

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top