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[发明专利]一种超细纳米晶银合金及其制备方法-CN202310802151.8在审
发明人：侯庆龙;林志河;叶开满;戴品强;洪春福;林智杰 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司;福建理工大学
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C22F1/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种超细纳米晶银合金及其制备方法，属于超细晶制备技术领域。本发明提供的超细纳米晶银合金的制备方法，先对银合金进行轧制，通过轧制使银合金中原本的晶粒破碎，然后通过退火处理，使破碎的晶粒转变为等轴晶，接着在超低温下进行交叉挤压，通过超低温来抑制恢复再结晶，通过交叉挤压，使等轴晶破碎为超细等轴晶，再利用超低温轧制使晶粒进一步细化，最后通过退火处理使轧制完破碎的晶粒再结晶，从而得到了晶粒尺寸为纳米级的超细纳米晶银合金；超细纳米晶银合金的微观组织均匀，强度提升明显，且导电性和延展性好，同时制备方法简单，易于大型推广，在工业中拥有广泛的应用前景。
一种纳米合金及其制备方法

[发明专利]一种高比例孪晶银及其制备方法和应用-CN202310803302.1在审
发明人：张科;叶开满;苏百樱;林晓明;戴品强;洪春福 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司;福建理工大学
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C22F1/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种高比例孪晶银及其制备方法和应用，属于银材料制备技术领域。本发明提供的一种高比例孪晶银的制备方法，本发明对银原料进行退火处理，可以使其均质化，会让晶粒完全再结晶，形成等轴晶，然后通过水冷进行快速降温，会形成大量的特殊晶界，接着通过冷轧可以使银原料中的晶粒破碎，最后进行二次退火，使破碎的晶粒再结晶，并通过二次水冷得到更多的特殊晶界，从而大幅度提高了银中孪晶的比例。实施例的结果显示，本发明提供的高比例孪晶银中低∑CSL晶界的比例为71.2％，孪晶含量高达70％，维氏硬度＞100HV，电导率≥54*106Ms/m。
一种比例孪晶银及其制备方法应用

[发明专利]一种靶材的修复方法-CN202310799759.X在审
发明人：侯庆龙;林晓明;鄢展圣;叶开满;戴品强;洪春福;林智杰 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司;福建理工大学
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材的修复方法，包括如下步骤：采用冷喷涂将与待修复靶材成分相同的合金粉末填充于待修复靶材的修复区的沟槽内，得到一次修复靶材；对所述一次修复靶材的修复区进行摩擦处理，得到摩擦处理的靶材；对所述摩擦处理的靶材进行去应力退火处理，得到修复的靶材。本发明采用冷喷涂法能够保证修复区与原靶材的界面为焊接态的冶金结合，不会出现脱层等现象，能够实现废弃靶材的反复使用，大幅度提高了靶材的利用率；在冷喷涂初步修复后，再使用摩擦处理和去应力退火处理能够细化靶材修复区的晶粒尺寸，从而解决了靶材修复区晶粒粗大的问题，保证了溅射靶材的均匀性。
一种修复方法

[发明专利]一种靶材用水路背板的制备方法-CN202010977393.7有效
发明人：黄新勇;张科;苏百樱;叶开满;陈宗鸿 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2020-09-17 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B23K26/346 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶材用水路背板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在铜背板主体上加工T型槽，T型槽包括由上至下排列的盖板槽和水槽；(2)在盖板槽上放置盖板，得到待焊接水路铜背板；(3)将焊接工件固定在刚性工装上；(4)在待焊接水路铜背板的上方设置激光器；(5)先对待焊接水路铜背板进行点焊；(6)进行一次焊接；(7)进行二次焊接：将焊针逐渐旋转入接缝，使焦点位于铜背板主体和盖板之间的接缝处，然后同时开启搅拌摩擦头和激光器，并同时向焊接方向同步按相同的进给量进给搅拌摩擦头和焦点。本发明靶材用水路背板的制备方法提高了靶材用水路背板的焊接效率和搅拌摩擦头的使用寿命。
一种靶材用水路背板制备方法

[发明专利]一种无拼接旋转靶材的钎焊方法-CN201911155343.4有效
发明人：林志河;陈钦忠;汪家兵;叶开满;张科 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-11-22 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种无拼接旋转靶材的钎焊方法，具体为：利用超声波焊头将钎焊料高频振荡进入靶管内表面和背管的外表面；将靶管和背管安装于定位底座上，再将钎料盘连接于靶管的上方端部；将组装好的钎焊装置置于电热恒温鼓风干燥箱内，通过温控器设定温控升温曲线，保温时间到之后，自然冷却到室温；待整套装置冷却到室温，将钎料盘上残余的钎焊料用刮刀去除，将钎料盘和定位底座拆除，得到钎焊完成的旋转靶材。本钎焊方法能够解决靶材钎焊过程中靶管和背管加热过程温差的大的问题；本钎焊方法容易控制升温速率，可以避免靶材因升温过快导致开裂的问题。
一种拼接旋转钎焊方法

[发明专利]一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法-CN201910912010.5有效
发明人： 叶开满;陈钦忠;张科;蔡小勇 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法，包括以下步骤：步骤一：铜背板和靶胚预处理：分别对铜背板和靶胚的绑定面进行喷砂处理；步骤二：高温胶制备：将双组份硅酮弹性体搅拌；步骤三：绑定处理：选取绑定层，将制备好的高温胶均匀涂覆在铜背板和靶胚的绑定面上；将绑定层铺在已经涂好高温胶的铜背板上；将靶胚的涂胶面向下，使靶胚和铜背板完全贴合；对高温胶进行凝固处理，即完成靶材绑定作业。本发明避免了绑定工序高温作业，减轻劳动强度；低温条件下绑定，避免了铜背板变形，满足靶材平面度要求；绑定材质高温胶失效温度高，满足靶材对高熔点绑定层的要求；操作简单，相比于普通绑定技术效率高，成本低。
一种试验使用平面规格溅射绑定方法

[发明专利]一种掺杂银的氧化锡靶材及其制备方法和应用-CN201910688910.6有效
发明人：张科;陈钦忠;叶开满;虞志轩 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种掺杂银的氧化锡靶材及其制备方法和应用，属于靶材制备技术领域。由包括Ag粉体和SnO2粉体制得，所述Ag粉体和SnO2粉体的质量比为1:50～1:100。本发明在氧化锡靶材中掺杂Ag，不仅能改善SnO2基靶材的烧结特性，而且能提高靶材的密度，靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好，能更好地承受溅射过程中的热应力。此外，还能提高靶材的抗氧化性，增加薄膜的使用寿命。
一种掺杂氧化锡靶材及其制备方法应用

[发明专利]一种平面靶材的绑定方法-CN201911389867.X在审
发明人： 叶开满;张科;王自海;林志河;蔡小勇 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及靶材绑定技术领域，具体涉及一种平面靶材的绑定方法。本发明提供的平面靶材的绑定方法，包括以下步骤：将背板、绑定材料和靶坯依次叠层放置，进行真空绑定，得到绑定后的平面靶材。本发明利用绑定材料与背板之间，绑定材料与靶坯之间的毛细和扩散作用，进行真空绑定，使得靶坯与背板粘接牢固；本发明采用真空绑定，无需定制高功率的加热平台，无需专业的钎焊炉，相比于普通绑定技术效率高，成本低。实施例结果表明，采用本发明提供的绑定方法，有效绑定面积高达97％以上，无明显的孔洞；能够在500～700℃的高温环境中使用。
一种平面绑定方法

[发明专利]一种旋转铌残靶的修复方法-CN201911008791.1在审
发明人：林志河;陈钦忠;叶开满 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： C23C4/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种旋转铌残靶的修复方法，包括以下步骤：步骤一：修复前处理：采用机加工将旋转铌残靶表面的凹凸层去除，形成表面平整的旋转铌残靶；步骤二：对步骤一加工后的旋转铌残靶的表面进行等离子清洁活化，将旋转铌残靶固定在旋转喷涂工装上，旋转铌残靶的不锈钢衬管在固定转速下，等离子喷枪沿旋转铌残靶的不锈钢衬管的管轴线做往复运动；步骤三：选用纯度为99.9％铌粉，利用等离子热喷涂设备喷涂于步骤二经过清洁活化后旋转铌残靶的表面形成新旋转铌靶涂层；步骤四：对步骤三热喷涂后的新旋转铌靶涂层进行后处理得到修复完整的旋转铌靶材。本发明工艺流程缩短，成本大大降低，对残靶材料进行循环利用，实现“绿色制造”。
铌靶不锈钢衬管修复活化等离子热喷涂等离子喷枪等离子清洁后处理表面平整表面形成固定转速绿色制造旋转喷涂循环利用工艺流程凹凸层靶表面靶材料管轴线机加工喷涂于前处理热喷涂工装铌粉去除清洁加工

[发明专利]一种铜背板水路的化学镀防护方法-CN201910690076.4在审
发明人：张科;陈钦忠;叶开满;池铭浩 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： C23C18/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种铜背板水路的化学镀防护方法，属于靶材制备技术领域。本发明提供的铜背板水路的化学镀防护方法，包括以下步骤：先对铜背板水路进行除油处理；然后向所述除油处理后的铜背板水路通入镀液，进行氧化还原反应，在所述除油处理后的铜背板水路表面沉积形成镀层，经清洗、干燥，得到铜背板水路防护镀层；其中，所述镀液是循环流动的；所述镀液包括银盐、还原剂、络合剂、表面张力调节剂、有机溶剂和水。本发明提供的铜背板水路的化学镀防护方法能够在铜背板水路表面快速制备银镀层，提高铜背板的抗氧化性能和冷却性能。
铜背板水路化学镀防护除油镀液表面张力调节剂氧化还原反应制备技术领域抗氧化性能表面沉积防护镀层快速制备冷却性能循环流动有机溶剂还原剂络合剂银镀层靶材镀层银盐清洗

[发明专利]一种铜背板水路的电镀防护装置及方法-CN201910689301.2在审
发明人：张科;陈钦忠;叶开满;池铭浩 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： C25D7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种铜背板水路的电镀防护装置及方法，属于靶材制备技术领域，本发明提供的铜背板水路的电镀防护装置，包括铜背板、外水路管道，镀液槽和直流电源；所述铜背板内设置有铜背板水路，所述铜背板水路通过外水路管道与镀液槽相连形成循环水路系统；所述外水路管道上设置有循环水泵；所述镀液槽中设置有阳极，所述阳极与直流电源正极相连，所述铜背板与直流电源负极相连，形成电镀系统。本发明提供的电镀防护装置及方法能够在铜背板水路表面快速制备镀层，同时提高铜背板的抗氧化性能和冷却性能。
铜背板水路防护装置电镀水路管道镀液槽阳极循环水路系统直流电源负极直流电源正极制备技术领域抗氧化性能电镀系统快速制备冷却性能循环水泵直流电源靶材镀层

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