“史铁林”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果248个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]MEMS圆片或器件的动态测试加载装置-CN200510018470.1无效
发明人：汪学方;史铁林;张鸿海;刘胜;施阳和;甘志银;谢勇君 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2005-03-29 - 公布日： 2005-09-14 - 主分类号： B81C5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS圆片或器件的动态测试加载装置，该装置的结构为：透光片置于腔体的开口端面上，与腔体构成密封腔，在腔体上装有电极，开有充气口、抽真空口和真空计接口，支架固定在腔体的底座上，调节螺钉装在支架的底座内，压电陶瓷置于支架内，其下端与调节螺钉相接，上端与支架相接，支承板固定在支架上，圆片压条与支承板相固定。该装置通过压电陶瓷可以得到精确的振动频率和振幅，能够实现频率和振幅在相对较大的范围内变化，而且便于控制，可为MEMS圆片或器件测试时，提供不同的真空度，不同的温度和不同的振动状态环境。
mems 器件动态测试加载装置

[发明专利]微系统真空封装装置-CN200510018218.0无效
发明人：汪学方;张鸿海;刘胜;关荣锋;王志勇;甘志银;史铁林;林栋 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2005-01-28 - 公布日： 2005-08-03 - 主分类号： B81C5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微系统真空封装装置，结构是，在箱盖上装有气缸，在真空室的侧面开有接口接真空抽气系统；上热压头包括过渡板、第一上隔热板、上加热板和上压板，并依次固连，过渡板固定在中心气缸活塞杆上，可随其上下移动；在上加热板上伸出一T型杆，在上压板与T型杆之间置有压缩弹簧；下热压头包括下压板、下加热板、第一下隔热板和下压头座，并依次固连。另外，还具有专门设计的夹具、用来对夹具起定位作用的定位导杆和用来开启夹具的气缸及其活塞杆。本发明不仅能够进行阳极键合、共晶键合、低温焊料键合等封装、而且能够进行圆片级的封装以及真空回流焊等键合方式的多功能的真空封装；封装效果好，外形小、封装厚度薄、重量轻，成本低。
系统真空封装装置

[发明专利]一种用于圆片真空封装的夹具-CN200510018220.8无效
发明人：汪学方;张鸿海;刘胜;关荣锋;王志勇;甘志银;史铁林;林栋 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2005-01-28 - 公布日： 2005-07-27 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于圆片真空封装的夹具，在托盘上装有二套或三套夹紧装置，每套夹紧装置由两个平行四杆机构组成，该机构的结构为，第一连杆通过第四销轴与第一从动杆的一端连接，第一连杆的一端通过第三销轴与第一主动杆的一端连接，在第一连杆的另一端固定第一压片，第一弹簧的两端分别接在第一主动杆的另一端及支座上，第一主动杆通过第一销轴接在支座上，第一从动杆的另一端通过第二销轴接在支座上，支座与托盘相固定。本发明定位精度高；采用平行四杆机构实现双稳态，使定位和夹紧更加合理，不易损坏MEMS器件；操作简单，既可实现自动化操作，也可手动操作；适用于真空环境下的MEMS器件的阳极键合、共晶键合等定位精度要求高的场合。
一种用于真空封装夹具

[发明专利]准分子激光电化学微结构制造方法及其装置-CN200310111573.3无效
发明人： 史铁林;陈志凌;熊良才;柳海鹏;周月豪;马龙 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2003-12-12 - 公布日： 2004-11-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体；(3)注入电解质溶液后在电极之间施加电压，同时通入准分子激光控制电化学反应，完成加工过程。相应装置在激光微加工机工作台上装电化学反应室，它包括激光气动窗口、保护气体入口、真空泵接口、电解质溶液入口、显微探针阵列、平板电极、辅助电化学反应气体入口和废物出口。利用本发明可在金属、半导体基片上得到宽深比5－50、特征尺寸1－50微米的微结构，在环保、纺织、造纸、能源、信息和国防等领域有广泛用途。
准分子激光电化学微结构制造方法及其装置

[实用新型]多用途激光电化学微制造装置-CN03255128.2无效
发明人： 史铁林;熊良才;陈志凌;周月豪 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2003-08-15 - 公布日： 2004-11-03 - 主分类号： C23F1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多用途激光电化学微制造装置，其结构为：可更换的衬里位于外壳内，外壳上设有可活动盖板，盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口，电极支架相互垂直，并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆和调节螺母调节其距离和位置，在电极支架上设置有一对可移动的电极夹具。本实用新型所说的装置采用可以更换或可以进行调节的部件，根据不同的工艺要求，增减某些部件或连接，使得该装置适应于激光微制造、化学微制造、电化学微制造、激光化学微制造和激光电化学微制造工艺，并可以满足上述工艺中参数和条件变化的要求。同时该装置通过更换或调节某些部件达到上述目的，具有设计简单、安装调节方便、制造成本低廉的特点。
多用途激光电化学制造装置

[实用新型]一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置-CN03237264.7无效
发明人：王志勇;刘胜;张鸿海;史铁林;汪海英;汪学方;朱福龙;贺德建 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2003-09-02 - 公布日： 2004-09-08 - 主分类号： G01N3/08 文献下载
摘要：本实用新型针对传统的力学试验机不能满足微机械(MEMS)等微小样品的测试需要，研究开发了一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置，它包括精密六轴数控工作台、六轴测力传感器、加温箱和计算机控制系统。六轴数控工作台由一个永磁式直线电机和5个直流电机驱动。本装置可完成对微小样品的力学特性、机械行为和热－机特性测试。在Z向上使用PZT工作台或者电磁式激振器配合直线电机，可实现10－500Hz的动态加载频率；以及采用光学逆相散射法，直接测量微小样品面内与离面的三维变形，以消除工作台刚性引起的误差。
一种用于微小样品力学性能测量装置

[发明专利]一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置-CN03125367.9无效
发明人：王志勇;刘胜;张鸿海;史铁林;汪海英;汪学方;朱福龙;贺德建 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2003-09-02 - 公布日： 2004-04-28 - 主分类号： G01N3/00 文献下载
摘要：本发明针对传统的力学试验机不能满足微机械(MEMS)等微小样品的测试需要，研究开发了一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置，它包括精密六轴数控工作台、六轴测力传感器、加温箱和计算机控制系统。六轴数控工作台由一个永磁式直线电机和5个直流电机驱动。本装置可完成对微小样品的力学特性、机械行为和热－机特性测试。在Z向上使用PZT工作台或者电磁式激振器配合直线电机，可实现10－500Hz的动态加载频率；以及采用光学逆相散射法，直接测量微小样品面内与离面的三维变形，以消除工作台刚性引起的误差。
一种用于微小样品力学性能测量装置

[实用新型]微机电系统动态特性三维测量装置-CN03241230.4无效
发明人： 史铁林;刘世元;白金鹏;谢勇君 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2003-04-11 - 公布日： 2004-04-28 - 主分类号： B81C5/00 文献下载
摘要：微机电系统动态特性三维测量装置，属于精密测量领域，解决微机电系统高频高速运动的全三维可视化测量，提高测量精度和效率，该装置由控制部分和执行部分组成，执行部分包括激光二极管、CCD相机、透射反射分光镜、垂直物镜、左侧和右侧水平物镜、遮光闸、参考平面镜及压电步进电机；控制部分由计算机通过电信号分别与信号发生器、并行接口、串行接口、数据采集卡连接，它们再分别电信号连接相应的压电激振台驱动器、延时发生器、脉冲电源、压电步进电机驱动器。本装置可实现MEMS器件表面三维形貌垂向运动及平面内运动的全三维可视化测量，测量频率200KHz，垂向运动测量精度5nm，平面内运动测量精度10nm。
微机系统动态特性三维测量装置

首页
«上一页
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
共 248 条