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[发明专利]阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体加工设备-CN201610223170.5有效
发明人：成晓阳;韦刚;卫晶;刘春明;苏恒毅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-04-13 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体加工设备。阻抗匹配方法包括以下步骤：步骤S1，获取驱动机构的第一调节量；步骤S2，调节驱动机构的位置；步骤S3，获取驱动机构的实际位置；步骤S4，判断驱动机构的实际位置是否到达期望位置，若否，则获取所述驱动机构的第二调节量，并转至步骤S2；若是，则执行步骤S5；步骤S5，判断负载阻抗和射频电源的输出阻抗是否匹配，若是，则执行步骤S6；若否，则执行步骤S1；步骤S6，判断工艺是否结束，若否，则执行步骤S5，若是，则结束工艺。该阻抗匹配方法可避免匹配点漂移问题，从而提高阻抗匹配器的稳定性、可靠性和重复性。
阻抗匹配方法阻抗配器半导体加工设备

[发明专利]一种可调量程的激光位移传感器-CN201811624479.0在审
发明人：刘国栋;卢国忠;卫晶;宋静怡;包心雷;时圣星 -专利权人：哈工大鞍山工业技术研究院有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种可调量程的激光位移传感器，包括壳体、设置在壳体内一侧的激光发射器和设置在壳体内另一侧的激光聚焦成像装置。所述的激光聚焦成像装置包括基板角度调节装置、相机角度调节装置和变焦镜头装置；所述的基板角度调节装置包括基板、基板调整齿轨和基板角度调节电机，基板一端与基板调整齿轨固接，另一端通过固定轴插入壳体的沉孔内，基板角度调节电机固定在壳体上，通过电机端头的小齿轮啮合基板调整齿轨，通过基板调整齿轨带动基板进行角度调整。实现了对单一激光位移传感器量程的真正变换。可实现短量程极高精度测量，中量程的高精度测量，大量程的次高精度测量，适用于多种使用环境。
基板角度调节量程激光位移传感器高精度测量基板调整齿轨基板成像装置激光聚焦壳体可调体内角度调节装置激光发射器插入壳体电机端头电机固定角度调整镜头装置啮合基板使用环境大量程调整齿固定轴小齿轮变焦沉孔固接电机相机

[发明专利]匹配装置、匹配方法及半导体加工设备-CN201610169274.2有效
发明人：卫晶;李兴存;韦刚;成晓阳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供的匹配装置、匹配方法及半导体加工设备，包括匹配器、固定负载和控制装置，匹配器用于使射频电源的输出阻抗与反应腔室的输入阻抗相匹配；固定负载的阻抗与射频电源的输出阻抗相等；控制装置用于按预设时序在匹配模式与固定模式之间进行切换，以实现将射频电源的连续波输出转换成脉冲输出后通过匹配器加载至反应腔室，其中，匹配模式为：控制装置控制由射频电源输出的连续波功率通过匹配器加载至反应腔室；固定模式为：控制装置控制由射频电源输出的连续波功率加载至固定负载。本发明提供的匹配装置，其可以使射频电源始终输出连续波功率，而无需输出脉冲波功率，从而可以避免在输出脉冲功率时发生的过冲现象或者匹配不稳定、不重复的现象。
匹配装置方法半导体加工设备

[发明专利]阻抗匹配系统、阻抗匹配方法及半导体加工设备-CN201610169506.4有效
发明人：卫晶;成晓阳;李兴存;韦刚 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种阻抗匹配系统及方法。本发明提供的阻抗匹配系统包括阻抗匹配器，分别与连续波射频电源和反应腔室相连，用于自动对连续波射频电源输出阻抗和反应腔室的输入阻抗进行阻抗匹配；选择开关和负载电路，选择开关用于使连续波射频电源选择性地与反应腔室或负载电路相连；控制单元，用于按照预设时序控制选择开关在与反应腔室相连和与负载电路相连之间切换，以通过阻抗匹配器将射频电源的连续波输出转换成脉冲输出后加载至反应腔室。本发明提供的阻抗匹配系统及方法，不仅不需要昂贵的具有脉冲模式功能的射频电源，从而降低成本，还能够在脉冲模式下阻抗匹配器自动进行阻抗匹配，有效改善在脉冲模式下的匹配不稳定和不重复的现象。
阻抗匹配系统方法半导体加工设备

[实用新型]一种设有激光瞄准器的光电自准直仪的光路结构-CN201721887606.7有效
发明人：刘国栋;卫晶;宋静怡;卢国忠;包新雷 -专利权人：哈工大鞍山工业技术研究院有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本实用新型提供一种设有激光瞄准器的光电自准直仪的光路结构，包括自准直仪光管光源(1)、聚光镜(2)、十字划分板(3)、第一分光棱镜(4)、第二分光棱镜(5)、准直透镜(6)、接收器(8)还包括激光瞄准光源(9)和反光棱镜(10)，在原有的光电自准直仪上增加了可见激光瞄准光源，通过光路的作用，向被测物发出平行于光管的光线进行瞄准，调整被测物，若光线反射后，落在理想范围内，则为瞄准完成。瞄准后再进行测量，则不会出现光斑偏离自准直仪视场而不能测量的现象。
光源瞄准激光瞄准器分光棱镜光路结构自准直仪被测物自准直光管测量光电自准直仪本实用新型接收器光斑反光棱镜光线反射激光瞄准可见激光准直透镜划分板聚光镜原有的光路视场平行偏离

[实用新型]一种激光位移传感器内部光路多角度、多位置调整的光路结构-CN201820158774.0有效
发明人：刘国栋;卢国忠;宋静怡;卫晶;包新雷 -专利权人：鞍山光准科技有限公司
申请日： 2018-01-30 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光位移传感器内部光路多角度、多位置调整的光路结构，包括机械外壳，所述机械外壳的内部一侧设置有激光器，所述激光器与机械外壳通过激光器固定底座固定连接，所述机械外壳的内部另一侧设置有镜头固定压盖，所述镜头固定压盖与机械外壳通过光学调整系统底座固定连接，所述镜头固定压盖的内部包裹有光学镜头；通过设计了一种激光位移传感器内部光路多角度、多位置调整的光路结构，可以在同一激光位移传感器机械外壳上，实现多角度、多位置的光路调整，适用于不同测量量程的激光位移传感器的光路需求；同时装调简单、可有效的通过后期装调弥补由于机械加工、镜头加工等误差所带来了的影响。
机械外壳激光位移传感器光路多位置调整光路结构镜头固定激光器压盖装调光学调整系统本实用新型固定底座光路调整光学镜头机械加工镜头加工多位置量程底座测量

[实用新型]一种便携式二维光电自准直仪-CN201820158646.6有效
发明人：卢国忠;宋静怡;包新雷;卫晶 -专利权人：鞍山光准科技有限公司
申请日： 2018-01-30 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便携式二维光电自准直仪，包括自准直仪底座，所述自准直仪底座的两端均设置有连接杆，所述连接杆的一端设置有固定板，所述连接杆的另一端设置有支撑脚，所述支撑脚与所述连接杆的连接处设置有第一螺栓，所述自准直仪底座的上表面设置有自准直仪工作台，所述自准直仪工作台的上表面设置有固定环扣，所述固定环扣的一侧设置有第二螺栓，且所述第二螺栓贯穿与所述固定环扣，所述第二螺栓的一端设置有橡胶板，通过设计第二螺栓和橡胶圈，避免在固定环扣内放置不稳定，导致测量有误差，可以旋转第二螺栓通过橡胶圈对仪器主体紧固，提高自准直仪主体放置的稳定性。
螺栓自准直仪固定环扣连接杆一端设置底座光电自准直仪上表面橡胶圈支撑脚工作台二维本实用新型仪器主体固定板橡胶板紧固测量贯穿

[实用新型]一种光电自准仪使用的高精度测量装置-CN201820158647.0有效
发明人：卫晶;包新雷;卢国忠;宋静怡 -专利权人：鞍山光准科技有限公司
申请日： 2018-01-30 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光电自准仪使用的高精度测量装置，包括光电自准直仪测头，所述平台的上端设置有光电自准直仪测头，光电自准直仪测头的一侧设置有自准直光管，光电自准直仪测头的表面设置有开孔，所述电线通过光电自准直仪测头表面开孔连接至电源，所述光电自准直仪测头的下端设置有平台，且平台的下端设置有平台支柱，所述平台的上端设置有底座支架，且所述底座支架和平台支柱通过螺丝固定连接，转台内部的底面上均匀设置有弹簧和金属柱，需要测量工件时，可以轻轻往下按压，使被测工件的接触面低于转台平面，起到卡扣的作用继而稳定了被测工件，不仅使得光电自准直仪测量测工件更平稳，且数据更准确无误，间接的提高了工作效率。
光电自准直仪测头高精度测量装置被测工件底座支架上端下端按压本实用新型表面开孔表面设置测量工件工作效率均匀设置螺丝固定平台支柱转台平面金属柱自准直转台弹簧光管卡扣开孔测量电线电源

[实用新型]一种自准直仪标定装置-CN201721887685.1有效
发明人：刘国栋;卫晶;宋静怡;卢国忠;包新雷 -专利权人：鞍山光准科技有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自准直仪标定装置，包括待标定自准直仪(1)、高精度标准自准直仪(4)、双面反射镜(2)、电动转台(3)、气浮平台(7)和防尘隔音罩壳(8)；所述的待标定自准直仪(1)、高精度标准自准直仪(4)放置于气浮平台(7)上，电动转台(3)放置于待标定自准直仪(1)和高精度标准自准直仪(4)中间，双面反射镜(2)垂直放置于电动转台(3)上，整个气浮平台(7)放置于防尘隔音罩壳(8)内；所述的待标定自准直仪(1)和高精度标准自准直仪(4)还与各自的计算机分析系统进行通讯连接。采用双面反射镜，通过高精度标准自准直仪对待标定自准直仪进行标定，能够对待标定自准直仪准确标定。
自准直仪标定精度标准双面反射镜电动转台气浮平台标定装置隔音罩防尘计算机分析系统本实用新型垂直放置通讯连接

[实用新型]一种基于长度计的环境可控激光位移传感器标定系统-CN201721917688.5有效
发明人：刘国栋;包新雷;卢国忠;宋静怡;卫晶 -专利权人：鞍山光准科技有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：一种基于长度计的环境可控激光位移传感器标定系统，包括环境模拟箱、光学平台、激光位移传感器载物板、标定样品载物台、长度计安装架、电控移动平台，光学平台设置在环境模拟箱中，激光位移传感器载物板与光学平台可移动连接，长度计安装架与光学平台可移动连接，标定样品载物台通过电控移动平台驱动直线移动，标定样品设置在激光位移传感器载物板和长度计安装架之间，环境模拟箱中设置有光源、温控系统。本实用新型可以根据激光位移传感器的实际工作环境对其工作温度、杂散光强度等进行模拟调控；可对样品的种类、表面粗糙度、颜色等进行调节来贴近激光位移传感器的实际工作情况，从而提高激光位移传感器在实际工作中的精度。
激光位移传感器光学平台环境模拟箱安装架载物板标定可移动连接样品载物台标定系统移动平台电控可控本实用新型表面粗糙度温控系统直线移动杂散光光源驱动调控

[实用新型]一种自准直仪二维可调底座-CN201721877119.2有效
发明人：刘国栋;宋静怡;卫晶;卢国忠;包新雷 -专利权人：鞍山光准科技有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： G01C15/00 文献下载
摘要：一种自准直仪二维可调底座，包括从下至上依次设置的定位板、俯仰调节平台、左右调节平台；在左右调节平台的两侧设置有左右调节旋钮Ⅰ、左右调节旋钮Ⅱ，在左右调节旋钮Ⅱ的同侧设有回位弹簧顶接左右调节平台；在俯仰调节平台与定位板的端部设置有俯仰角度标尺；在俯仰调节平台与定位板之间设置有侧摆角度标尺；在定位板上设置有气泡。本实用新型测头固定架为开放式，避免传统封闭式固定环环径与测头管径不匹配造成的磨损。可保证定位板水平，并与俯仰角度标尺、侧摆角度标尺配合使用，计算光轴与水平面的夹角。可实现单手调节功能，调节后可进行左右方向的锁死，确保测量过程中的自准直仪的稳定性和精度。
定位板角度标尺左右调节旋钮俯仰调节左右调节俯仰二维可调自准直仪侧摆测头底座本实用新型测量过程单手调节回位弹簧两侧设置依次设置固定架自准直顶接管径光轴锁死同侧磨损匹配保证

[发明专利]一种内设激光瞄准器的可调焦式光电自准直仪及瞄准方法-CN201711462358.6在审
发明人：刘国栋;卫晶;宋静怡;卢国忠;包新雷 -专利权人：哈工大鞍山工业技术研究院有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明提供一种内设激光瞄准器的可调焦式光电自准直仪及瞄准方法，所述的光电自准直仪的光路结构包括自准直仪光管光源(1)、聚光镜(2)、十字划分板(3)、第一分光棱镜(4)、第二分光棱镜(5)、准直透镜(6)、接收器(8)；还包括激光瞄准光源(9)和反光棱镜(10)，在原有的光电自准直仪内部增加了激光瞄准光源，通过光路的作用，向被测物发出平行于光管的光线进行瞄准，调整被测物，若瞄准时，装置内发出的可见光反射后的回光落在瞄准接收器孔径范围内，则为瞄准完成。瞄准后再进行测量，则不会出现光斑偏离自准直仪视场而不能测量的现象，将物镜组做成可调焦式镜头，以满足超长距离，大视野的测量需求。 1
瞄准光电自准直仪调焦式光源激光瞄准器分光棱镜激光瞄准自准直仪被测物光管测量接收器孔径可见光反射测量需求超长距离反光棱镜光路结构准直透镜接收器光斑大视野划分板聚光镜物镜组原有的自准直光路视场平行偏离镜头

[发明专利]阻抗匹配器的测试系统及方法-CN201410216819.1有效
发明人：成晓阳;张敏;卫晶;丁恒;孔庆宝;孙岩 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-05-21 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种阻抗匹配器的测试系统，包括射频电源、待测试阻抗匹配器、阻抗模拟器和工控机，射频电源、待测试阻抗匹配器和阻抗模拟器依次电连接，射频电源、待测试阻抗匹配器及阻抗模拟器分别与工控机电连接；工控机用于控制射频电源、阻抗模拟器和待测试阻抗匹配器按照阻抗匹配器的测试方法对待测试阻抗匹配器的工作性能进行测试；阻抗模拟器包括电阻、多个可变阻抗调节单元和多个驱动装置，可变阻抗调节单元与电阻电连接；多个可变阻抗调节单元与多个驱动装置一一对应，驱动装置用于调节可变阻抗调节单元的阻抗值。本发明还涉及一种阻抗匹配器的测试方法。本发明的阻抗匹配器的测试系统及方法，提高了阻抗匹配器的测试系统的自动化程度。
阻抗匹配器阻抗模拟器测试阻抗匹配器测试系统可变阻抗射频电源驱动装置电连接工控机测试电阻工作性能机电连接工控阻抗自动化

[发明专利]产生脉冲等离子体的方法及其等离子体设备-CN201610223428.1在审
发明人：韦刚;成晓阳;卫晶;苏恒毅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-04-12 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种产生脉冲等离子体的方法及其等离子体设备，通过脉冲电源向反应腔室输出功率,以产生脉冲等离子体，所述方法包括以下步骤所述脉冲电源输出第一脉冲信号，所述第一脉冲信号的功率为P1，持续时间为T1；所述脉冲电源输出第二脉冲信号，所述第二脉冲信号的功率为P2，持续时间为T2，其中，P2≠P1≠0。本发明中的产生脉冲等离子体的方法，通过脉冲调制将功率输出调制成不同输出功率P1和P2的两个脉冲信号，其中，P2≠P1≠0，从而在整个脉冲周期内，可以始终维持等离子体放电，保持等离子体状态稳定，进而使得脉冲射频阻抗匹配非常容易，减少等离子体诱导损伤，大大提高了工艺过程及晶片处理的良品率。
产生脉冲等离子体方法及其设备

[实用新型]一种真空断路器的维护装置-CN201120102160.9有效
发明人：孙铮;郭峰;沈志祺;杨杰;顾坤;黄晓敏;王建明;黄循龙;张浩川;查佐群;卫晶;瞿益斌;徐俊;王祥斌;姜伟;张家奇 -专利权人：上海市电力公司
申请日： 2011-04-10 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H02B3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空断路器的维护装置，包括插入杆、支撑杆，所述的插入杆与支撑杆固定连接，所述的支撑杆设有插孔。与现有技术相比，本实用新型具有降低劳动强度、提高检修效率、缩短抢修时间、提高供电可靠率等优点。
一种真空断路器维护装置