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[发明专利]用于在半导体基底中制造沟槽的方法和半导体器件-CN202211191907.1有效
发明人： 冷国庆 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/308 文献下载
摘要：本公开涉及用于在半导体基底中制造沟槽的方法和半导体器件。该方法包括：提供半导体基底；在半导体基底上形成硬掩膜层，在硬掩膜层上形成光刻胶图案后进行曝光显影以刻蚀硬掩膜层和半导体基底从而在半导体基底中形成沟槽，沟槽的侧表面与底表面之间的夹角大于90度，并且去除光刻胶图案；用激光束照射沟槽，使得半导体基底中的离沟槽的侧表面或底表面不超过第一距离的部分的半导体材料熔融；以及冷却半导体基底，使得沟槽的侧表面和/或底表面被重新成形为具有比被激光束照射前低的表面粗糙度。
用于半导体基底制造沟槽方法半导体器件

[发明专利]金属微结构及半导体器件的制备方法-CN202210752447.9有效
发明人： 冷国庆;邢会锋;陈倩;尹静娟;刘建华;张水平 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种新型的金属微结构的制备方法，该制备方法通过设置掺杂硅玻璃层，在掺杂硅玻璃层上形成自上向下宽度增大的沉积槽，并将掺杂硅玻璃层作为金属剥离的阻挡层，使掺杂硅玻璃层与其上金属层一起被剥离，将需要保留的金属微结构粘附在基底上。一方面，本发明在金属层沉积前就把光阻层完全去除，可以有效避免金属层及金属层沉积机台被光阻等有机材料的污染，另一方面，本发明采用的金属剥离工艺与传统的半导体工艺及设备具备良好的工艺兼容性，不需要增加专用机台，对关键机台不会引入有机污染，且在金属沉积过程中可使用高温(≥150℃)沉积工艺，可大大提高金属层的制备窗口。
金属微结构半导体器件制备方法

[发明专利]光刻工艺方法-CN202310092939.4在审
发明人： 冷国庆;邢会锋;尹静娟;陈倩 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明涉及一种光刻工艺方法，包括：提供一半导体衬底；所述半导体衬底的第一表面上设有位于对准标记区的对准标记图案，以及位于器件区的外延层；在所述器件区覆盖光刻胶层，并露出位于所述对准标记区的所述对准标记图案；基于所述对准标记图案，借助所述光刻胶层图案化所述外延层。上述光刻工艺方法，通过在器件区覆盖光刻胶层，并露出位于对准标记区的对准标记图案，以使对准标记图案能够显露出来，并用于对准，从而提高位于器件区的外延层的图案化的精度，也就是提高预设目标图形的套刻精度，以保证器件的良好性能。如此，即使外延层的厚度超过5微米，由于对准标记图案在图案化外延层之前就已经显露出来了，预设目标图形也不会出现套刻偏差。
光刻工艺方法

[发明专利]一种特立帕肽的合成方法-CN201910240603.1有效
发明人： 冷国庆;张琪;苏宏健;王丽莉;田辉;杨文龙;余荣熹;景文岩;王艳;张凤莲;侯继元;谢俊;杨桦;于通浩;冷青 -专利权人：哈尔滨吉象隆生物技术有限公司
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C07K14/635 文献下载
摘要：本发明公开了一种特立帕肽的合成方法，包括以下步骤：先将树脂固相载体和Fmoc‑Phe‑OH偶联得到Fmoc‑Phe‑树脂；然后依照特立帕肽的氨基酸序列，从碳端开始使Fmoc‑Phe‑固相载体先偶联17位丝氨酸，得到肽树脂A；将肽树脂A中17位丝氨酸的游离羟基与Fmoc‑Asn(Trt)‑OH进行酯缩合，并脱除Fmoc保护基团，得到肽树脂B；然后再按照特立帕肽主链肽序，依次偶联其他具有N端Fmoc保护且侧链保护的氨基酸，最终获得特立帕肽树脂，经过裂解得到特立帕肽粗肽；最后将特立帕肽粗肽进行分离纯化，冻干，得到特立帕肽纯品。该方法制备得到的特立帕肽纯品纯度在99％以上，总收率最高为52.3％，最大单一杂质在0.12％以下。
一种特立帕肽合成方法

[发明专利]半导体结构及其制备方法-CN202211162627.8在审
发明人： 冷国庆;齐化龙;邢会锋;尹静娟 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01L23/485 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体结构及其制备方法。所述半导体结构包括：基底结构；膜层，位于基底结构的上表面，膜层内具有开口；膜层经由初始膜层固化而得到；金属层，位于开口暴露出的基底结构的表面，与开口的侧壁具有间隙。由于本申请的半导体结构避免了使用到步骤繁琐且成本较高的金属剥离工艺即可制备出金属层，且无需使用专用的光刻胶剥离液以及额外的金属剥离机台，从而能够降低制备成本。
半导体结构及其制备方法

[实用新型]一种洁净室用齐平式回风百叶墙板-CN202222086790.2有效
发明人： 冷国庆;周业磊;刘明 -专利权人：昆山协多利洁净系统股份有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： F24F13/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种洁净室用齐平式回风百叶墙板，侧面边框和顶部边框通过边框接头连接构成固定框，两个固定墙板对称设置于固定框的两侧，一侧固定墙板的中部开设有百叶固定口，第一弯折边和第二弯折边均沿边线向内侧弯折九十度，百叶板通过第一弯折边和第二弯折边嵌入粘接于百叶固定口的内侧，装置使用特殊的结构形式，跟其他回风墙相比，该设计巧妙的将回风百叶与墙板结合，进行板内回风，保证了合理的气流组织，并通过开孔弯折的方式对百叶板进行固定，使得百叶板能够稳定的固定在墙板洞口处，构造简单，安装迅速且不易脱落，而且墙板少占地方，节约了空间，平面布置灵活，其耐腐蚀性，防火性和稳定性都更好。
一种洁净室用齐平式回风百叶

[发明专利]器件制备方法、电子器件和微机电系统-CN202211191923.0在审
发明人： 冷国庆;刘建华;于艳菊 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种器件制备方法、电子器件和微机电系统。该器件制备方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成悬空结构层，其中，所述悬空结构层包括可收缩部和支撑部，所述支撑部至少位于所述可收缩部的相对两侧上；在所述悬空结构层上形成器件层，其中，所述器件层包括器件，且所述器件的悬空部分位于所述可收缩部的上方；以及对所述可收缩部进行收缩处理，以至少形成位于所述可收缩部与所述器件的悬空部分之间的间隙。
器件制备方法电子器件微机系统

[发明专利]半导体结构的制备方法及半导体结构-CN202210739367.X在审
发明人： 冷国庆;袁雷兵;刘建华 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本申请涉及一种半导体结构的制备方法及半导体结构，包括：提供衬底；于所述衬底内形成多个间隔分布的沟槽栅极结构；于相邻所述沟槽栅极结构之间衬底内顶部形成间隔的源区结构，以形成功率器件结构；于所述衬底远离所述沟槽栅极结构的表面形成预设厚度的介质层。本申请能够改善硅片工艺过程的翘曲问题，且可针对硅片不同的翘曲状态采用对应不同的应力介质层，从而可提升器件性能并使其工艺成为可批量化生产的工艺。
半导体结构制备方法

[实用新型]一种保温节能的双层窗隔断结构-CN202123419888.7有效
发明人：周业磊;冷国庆;李飞;刘李峰 -专利权人：昆山协多利洁净系统股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： E06B3/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种保温节能的双层窗隔断结构，包括内铝型材，四个内铝型材的相邻的两端固定安装有同一个转接头，内铝型材的两侧均固定安装有钢化玻璃，内铝型材上固定安装有窗框盖板，内铝型材相互远离的一侧固定安装有外铝型材，内铝型材与钢化玻璃相接靠近外外铝型材的一侧均匀涂有密封胶，外铝型材上固定安装有中字铝，本实用新型中，在洁净室隔墙系统中，使用超大双层窗结构，可以达到采光性好，能大面积看清内外的情况，减少多面小型双层窗结构，不仅外形美观，并具有保温、节能的功能。
一种保温节能双层隔断结构

[发明专利]一种粉针剂胶塞的制备方法-CN202010118166.9有效
发明人： 冷国庆;张琪;苏宏健;田辉;孙宝伟;娄晶莹;张德方;辜茂艳;孙均 -专利权人：北京市新里程医药科技有限公司;哈尔滨吉象隆生物技术有限公司
申请日： 2020-02-26 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C08J7/14 文献下载
摘要：本发明属于生物医药技术领域，具体涉及一种粉针剂胶塞的制备方法，该方法为：将胶塞置于pH调节剂溶液中浸泡，水洗、烘干、湿热灭菌、烘干；该制备方法获得的胶塞用于生长抑素等产品的包装后，用于制备成的制剂，经过影响因素试验和长期稳定性试验研究，结果显示本发明制剂具有更好的稳定性。
一种针剂制备方法

[实用新型]一种医药洁净室抗腐蚀用防腐板-CN202121271542.4有效
发明人： 冷国庆;李忠明 -专利权人：协多利洁净系统（常州）有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： E04C2/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种医药洁净室抗腐蚀用防腐板，包括岩棉夹芯板层，岩棉夹芯板层的两侧均固定连接有金属板层，金属板层的远离岩棉夹芯板层的一侧固定连接有高分子膜层，本实用新型通过在金属板层的表面设置具有耐酸碱腐蚀基材的烤漆层和高分子膜层，便面光洁度好，耐刮擦性能优良，可以通过擦拭将附着在其表面的酸碱液去除，可以有效阻隔净化车间空气中的酸碱液对金属板层的腐蚀，而且当室内与室外的温差过大时，石棉板层填充于岩棉夹芯板层的内部，从而对室内起到有效的保温作用，防止室内温度流失过快，节省空调的使用频率，高分子膜层方便替换，可以保证在不拆除板材整体的前提下，优化经长时间使用后板材的耐酸碱腐蚀性能。
一种医药洁净室腐蚀防腐

[发明专利]晶圆结构及其制作方法-CN202110835622.6在审
发明人： 冷国庆;袁雷兵;齐化龙;李鹏;解海江;朴勇俊 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆结构及其制作方法，包括：提供晶圆，所述晶圆包括内部区域及位于所述内部区域外围的边缘区域；所述内部区域包括多个完整芯片区，所述边缘区域包括多个非完整芯片区；于各所述完整芯片区内及各所述非完整芯片区内形成功率器件，在形成所述功率器件的工艺中还于需要标定的所述非完整芯片区形成特征图形。该晶圆结构及其制作方法在形成功率器件的工艺中直接于需要标定的非完整芯片区形成特征图形，能够避免曝光机的产能与质量受到影响；无需昂贵的专用设备或打墨点工艺所需的材料，可减少工艺步骤，降低成本；同时由于工艺步骤较为简便，可以避免产生硅片破碎或沾污等问题，提升芯片质量。该特征图形可以用于监控过程工艺质量。
结构及其制作方法

[实用新型]一种结构稳定的双层玻璃洁净窗-CN202023101628.0有效
发明人：高永;冷国庆;杨文俊;祝星明;李飞 -专利权人：昆山协多利洁净系统股份有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： E06B3/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种结构稳定的双层玻璃洁净窗，包括窗体，所述窗体内部安装有双层玻璃，所述窗体表面安装有外壳，所述外壳内部设有第一转杆，所述第一转杆右侧设置有第一齿轮，所述外壳内部设置有第二转杆，所述第二转杆底部设置有第二齿轮，所述第二转杆表面设有支架，所述第二转杆顶部设置有第三齿轮，所述第三齿轮顶部设置有第三转杆。本实用新型结构稳定的双层玻璃洁净窗，通过转动第一转杆，第一转杆带动第一齿轮，第一齿轮带动第二转杆，第二转杆顶部的第三齿轮带动第三转杆，遮光帘向下运动，得到了窗户便捷遮阳的效果，要进行清洁玻璃时，转动固定盘中的固定板，拉动拉环进行清洁玻璃，从而方便的清洁玻璃。
一种结构稳定双层玻璃洁净

[发明专利]一种在筛选新生抗原疫苗或药物时评价动物模型的方法及应用-CN202010413383.0有效
发明人： 冷国庆;张琪;苏宏健;郝淮杰;田辉;王丽莉;杨文龙;余荣熹;冷宁;王艳;张凤莲;景文岩;于佳正;黄天一;冷青 -专利权人：哈尔滨吉象隆生物技术有限公司
申请日： 2020-05-15 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： C12Q1/6851 文献下载
摘要：本发明公开了一种在筛选新生抗原的疫苗或药物时评价动物模型的引物和探针，创建了其检测方法，并将其制作成试剂盒，该试剂盒通过检测人源肿瘤细胞来筛选和评价新抗原多肽疫苗、核酸疫苗及新抗原反应性细胞药物等动物模型的规范化和一致性，试剂盒操作简单、灵敏度高，灵敏度可达到单细胞水平。
一种筛选新生抗原疫苗药物时评动物模型方法应用

[发明专利]一种金属电极制备方法及平面栅型压接式IGBT-CN201611125727.8有效
发明人：刘江;温家良;金锐;王耀华;高明超;赵哿;李立;冷国庆;崔磊;朱涛;甘朝阳 -专利权人：全球能源互联网研究院;国家电网公司
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明提供了一种金属电极制备方法及平面栅型压接式IGBT，所述制备方法包括在衬底上预设的多个压力接触区对应的第一金属层上淀积第二金属层，形成金属电极；所述平面栅型压接式IGBT采用上述方法制备。与现有技术相比，本发明提供的一种金属电极制备方法及平面栅型压接式IGBT，在压力接触区上淀积两层金属，可以消除衬底中沟道区承受的压力，进而消除压力对功率器件的影响。
一种金属电极制备方法平面栅型压接式 igbt

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