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- [实用新型]一种温场升降旋转水冷机构-CN202320347466.3有效
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冯玉冰;吴明森;马宁;刘林;郑红贤
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合肥露笑半导体材料有限公司
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2023-02-24
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2023-10-27
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C30B23/00
- 本实用新型涉及一种温场升降旋转水冷机构，包括上端延伸至晶体生长炉炉内的旋转主轴，旋转主轴套置于主轴导向套中，主轴导向套下方设置波纹管，所述的波纹管套置于旋转主轴上，波纹管与主轴导向套之间设置氟橡胶O型密封圈，旋转主轴中同轴布置有进水管，进水管向下延伸，进水管的延伸端设置旋转接头，进水管与旋转主轴的内腔构成回水管路，旋转接头上与进水管联通有进水宝塔接头、与回水管路联通有回水万向宝塔接头；旋转主轴的下部套置有密封支承座，波纹管与密封支承座之间设置氟橡胶O型密封圈，所述的密封支承座与升降底板固连布置；升降底板的一侧设置带动旋转主轴转动的旋转单元，升降底板的另一侧设置带动旋转主轴上下移动的升降单元。
- 一种升降旋转水冷机构
- [实用新型]一种坩埚起吊夹具-CN202221589498.6有效
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冯玉冰;马宁;吴明森;郑红贤;刘林
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合肥露笑半导体材料有限公司
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2022-06-23
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2023-01-24
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B66C1/44
- 本实用新型涉及一种坩埚起吊夹具，包括第一L形活动臂和第二L形活动臂，第一L形活动臂的弯折处设置铰接端，第二L形活动臂的一自由边铰接于该铰接端，第二L形活动臂的另一自由边可自由转动至第一L形活动臂的竖置自由边的相对面；且第二L形活动臂、第一L形活动臂的相对面上设置夹钳；所述的铰接端设置活动臂限位锁定单元。本实用新型夹具适用半导体材料生产制备工况的坩埚，打开本实用新型夹具可以自上而下夹持在坩埚外侧壁，也可以从侧面直接夹持坩埚外侧壁。这样，通过本实用新型夹具将坩埚从发热筒中取出，不会破坏坩埚内的温藏，且操作简便，避免双手直接接触坩埚，从而有效避免烫伤的安全事故。
- 一种坩埚起吊夹具
- [实用新型]一种数显坩埚开盖固定环形夹具-CN202221589479.3有效
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冯玉冰;马宁;吴明森;郑红贤;刘林
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合肥露笑半导体材料有限公司
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2022-06-23
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2022-12-06
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B25B11/00
- 本实用新型涉及一种数显坩埚开盖固定环形夹具，包括固定于工装台上的坩埚固定环形夹，坩埚固定环形夹上方设置坩埚开盖环形夹；所述的坩埚固定环形夹包括环形夹底盘，环形夹底盘上立置有插销，插销上转动铰接有下哈呋环，下哈呋环与环形夹底盘之间设置垫块，下哈呋环的下环面紧贴垫块布置，下哈呋环的对接端设置下锁紧单元，所述的下锁紧单元之间设置下锁紧螺钉，所述的下锁紧螺钉的拧端设置下数显扭力扳手；所述的坩埚开盖环形夹包括与所述的插销平行设置的圆柱销，圆柱销上转动铰接有上哈呋环，上哈呋环的对接端设置上锁紧单元，所述的上锁紧单元之间设置上锁紧螺钉，所述的上锁紧螺钉的拧端设置上数显扭力扳手；坩埚开盖环形夹上设置旋动手柄。
- 种数坩埚固定环形夹具
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