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[发明专利]一种磁流体端头及磁控溅射靶-CN201910126210.8有效
发明人：年志刚;余冲平;罗友菊;张贵土 -专利权人：东君新能源有限公司
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种磁流体端头，应用于磁控溅射靶，包括外壳、设置于所述外壳内的磁流体组件、以及空心轴组件。所述空心轴组件设置于所述外壳内，并进一步包括内空心轴和外空心轴；所述内空心轴内接于所述外空心轴中，用于连接溅射靶头；其中，所述磁流体组件设置于所述外壳和所述外空心轴之间，所述外空心轴能够将所述磁流体组件与所述内空心轴隔离。本发明实施例还提供一种磁控溅射靶，包括以上所述的磁流体端头、与所述磁流体端头可拆卸连接的溅射靶头和运动机构。本发明实施例能够解决磁控溅射靶中磁流体密封装置及与其相连部件的漏电安全问题，防止发生磁控溅射靶中阴阳极短路问题，从而提高磁控溅射靶的安全性。
一种流体端头磁控溅射

[发明专利]气幕隔离装置及气幕隔离腔-CN201910152814.X在审
发明人：年志刚;余冲平;罗友菊;张贵土;徐铭俊;姚灿明;张权威 -专利权人：广东汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜太阳能电池制造技术领域，具体涉及气幕隔离装置及使用其的一种气幕隔离腔。本发明提供的气幕隔离装置，包括第一隔离板和第二隔离板，所述第一隔离板和所述第二隔离板相对设置，所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成输送间隙；所述第一隔离板和所述第二隔离板中的至少一者上设有气幕隔离机构，用于气体的输送以在所述输送间隙形成气幕。由于气幕隔离装置内形成输送间隙，因此可以实现产品的连续传递，同时气幕隔离区能够隔离相邻两个工艺腔，降低相邻两个工艺腔之间出现串气的情况。
隔离装置

[实用新型]用于减少电荷积累的磁控溅射设备-CN201921559283.8有效
发明人：姚灿明;余冲平;罗友菊;张贵土;梁碧发 -专利权人：广东汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2019-09-18 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本方案涉及太阳能电池技术领域，具体而言，涉及一种用于减少电荷积累的磁控溅射设备。磁控溅射设备包括腔体、传动组件和第一导流组件，其中，所述传动组件包括用于通过转动驱动所述基片直线移动的金属辊，所述金属辊设置在所述腔体内；所述第一导流组件的一端与所述金属辊连接，另一端接地,所述第一导流组件2使得所述金属棍与大地等电位。磁控溅射设备通过利用第一导流组件将溅射中沉积到基片上的大量负电荷导入等电位进行中和，减少或者消除了负电荷积累引起电位差致电容性放电、热应力造成变形以及电池结构内部损坏等问题。
用于减少电荷积累磁控溅射设备

[实用新型]用于带可磁化材料的太阳能电池的定位装置-CN201920789969.X有效
发明人：罗友菊;张贵土;余冲平;徐向陈 -专利权人：广东汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本方案涉及太阳能电池技术领域，具体而言，涉及一种用于带可磁化材料的太阳能电池的定位装置，其包括输送装置、定位挡板和磁性组件，输送装置用于输送太阳能电池至待定位位置处；定位挡板设置为沿输送路径且平行于输送方向，位于输送装置的一侧，用于为太阳能电池提供定位基准；磁性组件设置在定位挡板远离输送装置的一侧，用于在太阳能电池经输送装置运送至定位挡板处时对太阳能电池施加往定位挡板方向移动的磁吸力。通过磁性组件与太阳能电池之间产生的磁吸力，完成定位工作，由于磁力属于非接触力，无需接触到被定位的薄膜产品就可以实施，解决了现有技术使用接触式定位对薄膜材料或产品表面易造成破坏的问题。
用于磁化材料太阳能电池定位装置

[实用新型]一种隔离装置及镀膜设备-CN201920286939.7有效
发明人：年志刚;余冲平;罗友菊;张贵土;徐铭俊;姚灿明;张权威 -专利权人：广东汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2019-03-06 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及薄膜太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种隔离装置及镀膜设备。本实用新型提供的隔离装置，包括第一隔离板和第二隔离板，所述第一隔离板和所述第二隔离板之间形成输送间隙，所述输送间隙包括：第一输送段和第二输送段，其中，所述第一输送段的间隙大于第二输送段的间隙，基材由第一输送段进入隔离装置时，不会被隔离装置划伤基材的镀膜面，同时第二输送段又能保证镀膜腔室内气压的稳定。本实用新型实施例还提供了一种使用该隔离装置的镀膜设备。
一种隔离装置镀膜设备

[实用新型]一种输送辊装置及真空镀膜系统的料带输送装置-CN201821647564.4有效
发明人：徐铭俊;朱灼鹏;余冲平 -专利权人：广东汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2018-10-11 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种输送辊装置及真空镀膜系统的料带输送装置，涉及真空镀膜技术领域，输送辊装置包括辊体和辊轴，所述辊体内部设有第一空腔，所述辊轴内部设有第二空腔，所述第一空腔和所述第二空腔两者之间通过隔离部隔离开。所述真空镀膜系统的料带输送装置包括反应腔室、所述的输送辊装置和密封装置，所述输送辊装置用于向所述反应腔室内输送料带，所述输送辊装置的辊轴转动连接在所述反应腔室上，所述密封装置设置为将所述输送辊装置的辊轴与所述反应腔室之间的孔隙密封。本实用新型的输送辊装置可防止辊体发生热膨胀而变形，并可使辊体和辊轴两部分分别满足不同的温度需要。
输送辊装置辊轴料带输送装置真空镀膜系统反应腔室辊体第二空腔第一空腔热膨胀真空镀膜技术本实用新型转动连接反应腔隔离部体内部料带密封变形隔离室内

[实用新型]一种基座门及镀膜机-CN201820930719.9有效
发明人：罗友菊;杨少辉;余冲平;年志刚 -专利权人：汉能光伏科技有限公司
申请日： 2018-06-13 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基座门及镀膜机，涉及镀膜技术领域，为解决现有技术中基座门抗震效果差而导致腔室容易漏气的问题而发明。本实用新型一种基座门，包括基座门本体、以及用于支撑所述基座门本体的滚轮组件，还包括连接机构，所述连接机构包括连接件、柔性衬套以及缓冲弹性机构，所述连接件的第一端与所述基座门本体配合连接，所述连接件的第二端与所述滚轮组件连接，所述柔性衬套套设在所述连接件的外侧，所述缓冲弹性机构套设在所述柔性衬套的外侧。
基座门连接件缓冲弹性机构本实用新型滚轮组件连接机构柔性衬套镀膜机镀膜技术抗震效果配合连接第一端漏气腔室支撑

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