专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种光阻涂布装置及喷嘴-CN201710071174.0有效
  • 何恒忠 - 武汉华星光电技术有限公司
  • 2017-02-09 - 2019-03-22 - B05B1/00
  • 本发明提供一种光阻涂布装置及喷嘴,所述喷嘴包括内部形成有一空腔的喷嘴本体,所述空腔设置有注入孔、排气孔以及排出孔;所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部,其中所述排气孔位于所述空腔的顶部,用于将所述空腔内的气体排出,所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部,或者所述注入孔位于所述空腔的底部,用于注入光阻液。通过上述方式,本发明能够将喷嘴内的空气尽可能地排出,能够减少因喷嘴内的气泡而造成产品不良的现象,提高产品良率。
  • 一种光阻涂布装置喷嘴
  • [发明专利]一种曝光方法-CN201510613854.1在审
  • 何恒忠 - 武汉华星光电技术有限公司
  • 2015-09-23 - 2016-01-06 - G03F7/20
  • 本发明提供一种曝光方法,包括如下步骤:在移动载台上装载基板,所述基板上设有待曝光区域;在掩膜板载台上装载掩膜板,所述掩膜板载台位于所述移动载台上方,所述掩膜板上具有多个不同的图案区;移动所述移动载台,使得所述基板上的待曝光区域与所述掩膜板上的所述图案区逐一对齐,每次对齐其中一个所述图案区后,均将曝光光源对准与所述待曝光区域对齐的所述图案区,进行曝光。本发明中,通过将原本设置在多个掩膜板上的图案区,合并在同一个掩膜板上,在基板曝光过程中通过移动基板,逐一与多个图案区对齐,进行曝光。在一个掩膜板上就可以完成多道曝光工序,从而节省了掩膜板的数量,进而降低了生产成本。
  • 一种曝光方法

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