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[发明专利]基板保持装置、基板保持方法和成膜装置-CN201980005899.7有效
发明人： 佐藤雄亮 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种能够以垂直的姿态稳定地保持多个基板的基板保持装置、基板保持方法和成膜装置。本发明的一个方式的基板保持装置具备：基板支承台和夹紧机构。所述基板支承台具有支承面和旋转机构部。所述支承面具有多个支承区域，在所述多个支承区域分别配置有多个基板。所述旋转机构部构成为能够使所述支承面绕与所述支承面平行的轴从水平姿态立起为垂直姿态。所述夹紧机构具有多个夹紧部。所述多个夹紧部构成为沿着所述多个支承区域的周围配置，并且能够保持所述多个基板的周缘部。所述多个夹紧部包括多个第一夹紧部，所述多个第一夹紧部配置在所述多个支承区域之间的间隙区域，并且能够分别保持所述多个基板的周缘部。
保持装置方法

[发明专利]溅射装置-CN201880005318.5有效
发明人：吉田大介;清水豪;高桥诚;汤山明;佐藤雄亮 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2018-10-04 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的溅射装置(1)具有能够更换相对于在腔室内通过溅射来成膜的基板(S)大致垂直保持的掩模框架(F)的掩模更换机构(100)。掩模更换机构具有：能够密闭的储备室(50)，能够以表面平行状态储备多个所述掩模框架；和运送机构(60)，用于将储备的多个掩模框架运送至腔室(4)内的作为成膜位置的掩模室(43)。在储备室中设置有：储备支撑部(51，52，53，54)，能够沿与掩模框架的掩模面大致正交的方向前后移动；驱动支撑部(55，65)，能够沿表面方向驱动选自储备于储备支撑部的掩模框架中的掩模框架；和运送上支撑部(56，66)，在通过驱动支撑部来移动掩模框架时，能够以不倾斜的方式支撑所述掩模框架的上端。
溅射装置

[发明专利]基板处理装置及支撑销-CN201880005312.8有效
发明人： 佐藤雄亮;清水豪;吉田大介;汤山明;高桥诚 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明的基板处理装置为对基板进行处理的装置，具有：处理室，在腔室内对所述基板的表面进行处理；后背室，与所述处理室相邻，在所述后背室中移动所述基板，并且在所述后背室中支撑所述基板；掩模，配置在所述处理室与所述后背室的边界位置上；和支撑机构，以能够朝向所述掩模按压所述基板的方式支撑所述基板，从而在对基板进行处理时使所述基板与所述掩模紧贴，所述支撑机构设定为能够追随所述基板和所述掩模的变形而调整作用于所述基板的背面的按压力。
处理装置支撑

[发明专利]硬币支出装置及其控制方法、结算装置-CN201810178911.1有效
发明人： 佐藤雄亮 -专利权人：东芝泰格有限公司
申请日： 2018-03-05 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G07G1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硬币支出装置及其控制方法、结算装置，其能够防止已支出的硬币的一部分硬币在接受盘中被残留了的情况发生，该硬币支出装置包括：支出部、检测部及警报部。支出部向接受盘支出硬币。检测部对已支出到接受盘中的硬币的至少一部分硬币有已被取出的可能性进行检测。警报部根据通过检测部检测出在支出部从开始支出硬币到该支出结束的期间有上述取出的可能性，来执行预设的警报动作。
硬币支出装置及其控制方法结算

[发明专利]成膜装置、掩模框架及对准方法-CN201880001918.4在审
发明人：高桥诚;清水豪;吉田大介;汤山明;佐藤雄亮 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明的成膜装置具有对在腔室内成膜的基板对准大致垂直保持的掩模框架的掩模对准机构，所述掩模对准机构具有：卡合部，设置于所述掩模框架的下表面中的两端；支撑对准部，设置于所述掩模框架的成膜位置上的两端的下部且能够支撑所述掩模框架，所述支撑对准部能够通过与所述卡合部卡合来进行对准；和上部对准部，能够在与所述掩模框架的表面正交的方向上设定所述掩模框架的上侧位置，并且能够支撑及释放所述掩模框架，所述成膜装置能够利用所述掩模对准机构，以与所述掩模框架的所述表面平行的两个方向及与所述掩模框架的所述表面正交的正交方向这三个轴向和绕所述三个轴向的轴线的三个旋转方向上的六个自由度，进行所述掩模框架的对准。
掩模框架对准成膜装置掩模对准支撑卡合部正交的轴向表面平行成膜位置基板对准上侧位置正交方向下表面成膜卡合垂直室内释放

[实用新型]硬币找零机及硬币分选装置-CN201720203800.2有效
发明人： 佐藤雄亮 -专利权人：东芝泰格有限公司
申请日： 2017-03-03 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： G07D1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硬币找零机及硬币分选装置，其中，硬币找零机包括输送带、检测识别部、分选部和多个不同面值硬币收纳部；检测识别部用于经输送带传输的硬币进行检测，确定分选识别值；分选部包括与收纳部对应的分选金属板和螺线管；螺线管用于基于检测识别部的识别值对硬币进行吸引或解放；分选金属板通过螺线管的吸引或解放，在相对于硬币输送方向的水平方向上进行移动，使符合要求的硬币进行下落；分选金属板、螺线管和收纳部对应连接；收纳部用于接收通过分选金属板的硬币。本实用新型可以降低或消除现有同类分选装置识别值与实际值不同的错误，构造简单、小型，成本低，能够进一步适应市场需求。
硬币找零分选装置

[发明专利]非易失性半导体存储装置、电子卡及电子装置-CN200410032925.0有效
发明人：田中智晴;奎德·N·卡恩德科;堂前宏之;井上敦史;佐藤雄亮 -专利权人：株式会社东芝;三因迪斯克公司
申请日： 2004-04-16 - 公布日： 2004-10-20 - 主分类号： G11C7/00 文献下载
摘要：本发明提供具备可以电改写数据的多个非易失性半导体存储单元(1a、1b)、为了对上述非易失性半导体存储单元写入/读出数据与外部之间授受数据的接口部(6、7、9)和用于控制上述非易失性半导体存储单元的控制电路(2a、2b、3a、3b、4a、4b、5a、5b)，上述接口部和控制电路具有经过第1起动步骤从上述非易失性半导体存储单元读出数据，通过上述接口部连续地输出(N+M)(N是2的n次方，n是正整数，N＞M)字节的数据的第1读出模式和经过第2起动步骤从上述非易失性半导体存储单元读出数据，通过上述接口部连续地输出K(K是2的k次方，k是正整数)字节的数据的第2读出模式的非易失性半导体存储装置。
非易失性半导体存储装置电子卡电子