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[发明专利]一种固态增殖剂辐照产氚及释氚样品容器系统和实验方法-CN202310443887.0在审
发明人：王海霞;武文浩;付雪微;张思纬;李桃生 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G21B1/15 文献下载
摘要：本发明公开了一种固态增殖剂辐照产氚及释氚样品容器系统和实验方法，容器系统包括：样品容器，包括石英管和设置在所述石英管内的带气孔的石英容器，用于盛放固态增殖剂颗粒；载气机构，设置为两组，分别可拆卸连接在所述石英管的两端，用于将载气通过所述样品容器。本发明同时满足耐压耐高温耐辐照性能、能够保证增殖剂颗粒在容器横截面内均匀分布并保持固定的要求，且样品容器端口便于拆卸安装。
一种固态增殖辐照样品容器系统实验方法

[发明专利]一种小行程纳米级运动台的频域自适应迭代学习控制方法-CN202110913809.3在审
发明人：刘杨;缪骞;付雪微 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：一种小行程纳米级运动台的频域自适应迭代学习控制方法，属于超精密运动控制技术领域。方法为：运动台在相同迭代学习控制器输出的情况下独立运行两次，分别得到跟踪误差ek,1(t)和ek,2(t)；对这两个误差数据进行快速傅里叶变换，获得相对应的频谱ek,1(w)和ek,2(w)；根据频域自适应迭代学习加速收敛的条件判断是否需要更新闭环系统频率响应根据给出的频域自适应迭代学习更新方法，获得闭环系统频率响应估计值通过方程更新迭代学习控制器输出通过快速傅里叶逆变换对进行处理；设置k＝k+1，并返回步骤一；当闭环系统达到预设的性能指标，或者达到了预设的最大迭代次数M，即k＝M，则终止程序。本发明可以解决传统控制方法依赖于模型，因模型不准确而导致的性能下降问题。
一种行程纳米运动自适应学习控制方法

[发明专利]基于Compact Differential Evolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法-CN201510474801.6有效
发明人：刘杨;陈震宇;付雪微;陈兴林 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-08-05 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：基于Compact Differential Evolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为导优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Differential Evolution优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
基于 compact differential evolution 算法光刻机掩模台微动

[发明专利]一种利用同位素中子源嬗变核废料的系统-CN201610848336.2有效
发明人：张文亮;吴宜灿;王明煌;付雪微;宋婧 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2016-09-23 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： G21F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用同位素中子源嬗变核废料的系统，包括核废料组件(1)、中子源组件(2)、液态介质(3)、换热器(4)、石墨反射层(5)、混凝土屏蔽层(6)以及换料机构(7)。该系统通过中子源组件(2)自发的中子与核废料组件(1)发生反应，反应过程中产生的热量由液态介质冷却，并通过换热器(4)排出。当中子源组件(2)衰变完或者核废料组件(1)嬗变完后由换料机构(7)取出。在该系统中，嬗变过程完全自发进行，不用人为干预，没有新的废料产生，本发明具有系统结构简单，安全系数高，环保性能好等优点，为核废料处理开辟了新的途径。
一种利用同位素中子源嬗变核废料系统

[发明专利]基于CompactParticleSwarmOptimization算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法-CN201510474805.4有效
发明人：刘杨;陈震宇;付雪微 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-08-05 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤步骤一根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二步骤二给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为寻优的目标函数；步骤三根据目标函数，利用Compact Particle Swarm Optimization优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
基于 compact particle swarm optimization 算法光刻机掩模台

[发明专利]高精度大量程电流电压的分级测量方法-CN201510465243.7有效
发明人：刘杨;陈震宇;付雪微 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-07-31 - 公布日： 2017-09-01 - 主分类号： G01R19/25 文献下载
摘要：高精度大量程电流电压的分级测量方法，属于弱电电流、电压信号的测量领域，本发明为解决现有技术无法完成大量程信号的高精度测量问题。本发明方法利用n个不同量程、不同精度的电流电压传感器对同一待测信号进行测量；并将n个电流电压传感器按测量精度由低到高的顺序进行排序依次测量待测信号；先由量程大、精度低的初级传感器开始测量并取结果中的精确部分，后通过电流电压基准源将实测信号中的已确定的精确部分进行补偿，并对剩余信号进行下一级的测量直至量程最小、精度最高的传感器测量结束，再进行数据融合，从而实现对弱电领域的大电流、大电压信号的高精度测量。
高精度量程电流电压分级测量方法

[发明专利]基于拨杆机构的双工件台换台自转装置-CN201510475149.X在审
发明人：陈兴林;陈震宇;刘杨;付雪微 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-08-06 - 公布日： 2015-10-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的第一抓卡机构抓卡在第一环形座上，第二抓卡机构抓卡在第二环形座上，第一直线滑动轴承安装在第一上平台下端面上，第二直线滑动轴承安装在第二上平台下端面上；第一直线导杆的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器上，第二直线导杆的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器上；第一直线导杆的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承内，第二直线导杆的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承内。本发明将工件台自转的旋转运动转化为拨杆驱动器的直线运动，可以减小控制系统的设计难度；解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。
基于机构双工件台换台自转装置

[发明专利]光刻机工件台的一体式平衡质量装置-CN201510465244.1在审
发明人：陈兴林;陈震宇;刘杨;付雪微 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-07-31 - 公布日： 2015-10-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：光刻机工件台的一体式平衡质量装置，属于半导体制造装备技术领域，本发明为解决现有光刻机平衡技术采用两个平衡质量块存在同步设计难度大的问题。本发明包括基础框架、平衡质量块、垂向气浮垫、Y向直线电机导轨部分、X向运动机构、平衡质量块直线电机部分六个部分。平衡质量块底面四个角上分别固定一个垂向气浮垫，用以通过气浮隔离底部的基础框架从而实现系统的隔振与低摩擦运动。平衡质量块上平面上安装两条Y向直线电机的导轨，作为Y向直线电机的定子部分，X向导轨部分安装在Y向直线电机导轨上，平衡质量块电机驱动平衡质量块运动，从而对由于X向导轨反作用力造成的平衡质量块的偏移进行补偿，使平衡质量块重新回到平衡位置。
光刻机工体式平衡质量装置

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