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[发明专利]一种楔块调幅探针卡调幅结构-CN202011367067.0有效
发明人： 于海超;周明 -专利权人：强一半导体（苏州）有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种楔块调幅探针卡调幅结构，包括：压块板、压块板销、压块板销槽、压块横杆、横杆滑块和横杆弹簧，若干个压块板并列滑动设置在压块横杆上形成压块，每个压块板的下端均设置有一个压块板销，每个上楔板的上端均设置有一个压块板销槽，能够实现，通过将压块进行水平移动，与单个或多个上楔板的露出端对齐，将压块下移，使上楔板插入，通过压块板与上楔板对接，在压块下移过程中，压块板随着上楔板水平滑动，在滑动过程中保持对接，能够保证上楔板滑动稳定，同时多个压块板滑动设置在压块横杆上，多个压块板能够单独移动，能够适应多个上楔板的不同水平移动距离。
一种调幅探针结构

[发明专利]一种探针卡楔块调幅方法-CN202011367068.5有效
发明人： 于海超;周明 -专利权人：强一半导体（苏州）有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种探针卡楔块调幅方法，包括步骤：步骤a，确定调幅距离、步骤b，移动楔块、步骤c，触点连接和步骤d，探针连接刷新，能够通过移动楔块，带动探针进行移动，使探针卡根据待检测的触点数量，调整参与检测的探针数量，进而实现探针卡的调幅，使单个探针卡的检测幅度能够进行调整，使探针卡具有通用性。
一种探针卡楔块调幅方法

[实用新型]一种多功能单人携行具-CN202122533723.6有效
发明人：卢丹丹;于海超 -专利权人：天津海诚安防科技有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： A41D1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种多功能单人携行具，包括：携行具以及与挂囊，其中携行具肩部一侧设有用以装载定位模块的第一口袋以及用以装载卫生用品的第二口袋，携行具肩部另一侧设有第一挂钩；携行具腰部设有第一齿链；挂囊包括第二齿链、魔术贴、第二挂钩、第三口袋、第四口袋以及至少两个可拆卸口袋，可拆卸口袋侧部设有魔术贴，第二齿链与第一齿链啮合连接，第三口袋以及第四口袋设有按扣；可拆卸口袋与挂囊可拆卸连接。本申请所提供的一种多功能单人携行具，通过采用齿链将携行具与挂囊可拆卸连接，并且挂囊通过魔术贴实现与至少两个可拆卸口袋的可拆卸连接；当遇到紧急情况的时候通过拆解挂囊与携行具，从而有利于使用者快速卸载重物。
一种多功能单人携行具

[发明专利]一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置-CN202111421851.X在审
发明人： 于海超;汪松;李尧尧;周明 -专利权人：强一半导体（上海）有限公司;湖北江城实验室
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置，包括具有一定厚度的吸附本体，具有上下两个端面。吸附本体的上端面作为吸附抛光头的上吸附区，下端面作为吸附晶圆的下吸附区；内部设有气流通道。上吸附区开设有多组同心圆凹槽，圆凹槽均与气流通道连通；下吸附区开设有多个吸附孔，吸附孔均与气流通道连通；吸附孔呈同心圆状分布，同一圈上相邻两吸附孔之间的间距相同，且该间距由内圈向外圈梯度递减；下吸附区的边缘处设有密封圈，下端面向下凸出，作为晶圆的定位环，凸出段与下吸附区共同界定形成一用于安装晶圆的空间，凸出段的下端面高于或者持平于晶圆的下端面；密封圈与最外层吸附孔之间设有一隔离槽，隔离槽与气流通道连通。
一种平坦化工作为连接双面吸附装置

[发明专利]MEMS探针激光刻蚀装置用光学准焦结构-CN202011378529.9有效
发明人： 于海超;周明 -专利权人：强一半导体（苏州）有限公司
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：本发明MEMS探针激光刻蚀装置用光学准焦结构属于半导体加工测试技术领域；所述光学准焦结构在MEMS探针激光刻蚀装置中，将螺旋通槽板用上一字通槽板代替，将直线通槽板用下一字通槽板代替，将单晶硅圆片用相同厚度的平面反射镜代替，所述上一字通槽板上表面与下一字通槽板下表面紧贴；在下一字通槽板和物镜之间，设置有棱镜，在棱镜的侧边缘，设置有图像传感器，沿光轴方向，弧形光源的最高点到棱镜的距离与图像传感器像面到棱镜的距离相同；本发明MEMS探针激光刻蚀装置用光学准焦结构，用在本发明所公开的MEMS探针激光刻蚀装置与方法中，不仅刻蚀精度更高，而且刻蚀间距能够连续调节。
mems 探针激光刻蚀装置用光学准焦结构

[发明专利]面向MEMS探针激光刻蚀装置的针孔结构-CN202011378546.2有效
发明人： 于海超;周明 -专利权人：强一半导体（苏州）有限公司
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本发明面向MEMS探针激光刻蚀装置的针孔结构属于半导体加工测试技术领域；所述针孔结构包括螺旋通槽板和直线通槽板；螺旋通槽板包括开有螺旋通槽的第一底板和截面为圆环形的第一侧边，侧边的外表面设置有齿，形成齿轮结构；直线通槽板包括开有直线通槽的第二底板和截面为圆环形的第二侧边，第二底板上表面与第一底板下表面紧贴；单晶硅圆片上表面与第二底板分别位于物镜的像面和物面，单晶硅圆片能够在四维台的承载下完成四维运动，包括三维平动和一维转动；本发明面向MEMS探针激光刻蚀装置的针孔结构，用在本发明所公开的MEMS探针激光刻蚀装置与方法中，不仅刻蚀精度更高，而且刻蚀间距能够连续调节。
面向 mems 探针激光刻蚀装置针孔结构

[发明专利]一种MEMS探针激光刻蚀方法-CN202011382154.3有效
发明人： 于海超;周明 -专利权人：强一半导体（苏州）有限公司
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本发明一种MEMS探针激光刻蚀方法属于半导体加工测试技术领域；所述MEMS探针激光刻蚀方法首先进行参数计算，根据单晶硅圆片的刻蚀间距，得到电机的步进角度，然后进行初始位置调整，将旋转螺旋通槽板至初始位置，将第一刻蚀点移动至光轴，并调整四维台，再进行激光刻蚀与进度判断，最后调整四维台和电机，包括四维台向下移动的距离、向左移动的距离和顺时针转动的角度，以及电机转动的角度；本发明MEMS探针激光刻蚀方法，配合本发明的MEMS探针激光刻蚀装置，不仅刻蚀精度更高，而且刻蚀间距能够连续调节。
一种 mems 探针激光刻蚀方法

[发明专利]一种MEMS探针激光刻蚀装置-CN202011382164.7有效
发明人： 于海超;周明 -专利权人：强一半导体（苏州）有限公司
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本发明一种MEMS探针激光刻蚀装置属于半导体加工测试技术领域；所述装置按照光线传播方向，依次设置弧形光源，螺旋通槽板，直线通槽板，物镜，单晶硅圆片和四维台；弧形光源的每一点到物镜中心距离相同，切线均与该点到物镜中心的连线垂直；螺旋通槽板包括开有螺旋通槽的第一底板和截面为圆环形的第一侧边，直线通槽板包括开有直线通槽的第二底板和截面为圆环形的第二侧边，第二底板上表面与第一底板下表面紧贴；单晶硅圆片上表面与第二底板分别位于物镜的像面和物面，单晶硅圆片进行三维平动和一维转动；本发明MEMS探针激光刻蚀装置，配合本发明的MEMS探针激光刻蚀方法，不仅刻蚀精度更高，而且刻蚀间距能够连续调节。
一种 mems 探针激光刻蚀装置

[发明专利]MEMS探针激光刻蚀装置用光学准焦方法-CN202011378527.X有效
发明人： 于海超;周明 -专利权人：强一半导体（苏州）有限公司
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本发明MEMS探针激光刻蚀装置用光学准焦方法属于半导体加工测试技术领域；所述方法首先在MEMS探针激光刻蚀装置中，将螺旋通槽板用上一字通槽板代替，将直线通槽板用下一字通槽板代替，将单晶硅圆片用平面反射镜代替；在下一字通槽板和物镜之间设置棱镜，在棱镜的侧边缘设置图像传感器；然后记录四维台在上下方向的位置与图像的映射关系；再建立四维台在上下方向的位置与光斑直径的映射关系；最后找到光斑直径最小值，根据所对应的四维台在上下方向的位置，并将四维台移动到所述位置；本发明MEMS探针激光刻蚀装置用光学准焦方法，用在本发明所公开的MEMS探针激光刻蚀装置与方法中，不仅刻蚀精度更高，而且刻蚀间距能够连续调节。
mems 探针激光刻蚀装置用光学准焦方法

[发明专利]燃料电池控制系统和燃料电池控制方法-CN202010127765.7有效
发明人：牛鹏飞;赵高霞;唐海锋;张泽裕;金鑫;伍培明;王向军;于海超;王征宇;冯洋;康明龙;高磊;杜洪水;马逍龙;杨如意 -专利权人：长城汽车股份有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： H01M8/04089 文献下载
摘要：本发明公开了一种燃料电池控制系统和燃料电池控制方法，该燃料电池控制系统包括：反应堆；空气压缩机，所述空气压缩机具有压缩腔且所述压缩腔具有进气口和出气口，所述压缩腔内设有可转动的压轮，所述出气口与所述反应堆连通；控制流道，所述控制流道的第一端与所述压轮的进气侧连通且第二端与所述压轮的轮背侧连通，所述控制流道上设有用于调节所述控制流道的流量的回流阀；中控单元，所述中控单元与所述回流阀通讯连接以控制所述回流阀的开度。根据本发明的燃料电池控制系统，可以减小轴向力，延长使用寿命，提高系统效率以及提升性能，并且可以实现对系统的精准控制，满足不同工况下空气压缩机的工作需求。
燃料电池控制系统控制方法

[发明专利]一种3DMEMS探针硅片及其定位、切割装置和方法-CN202111557382.4在审
发明人： 于海超;徐兴光 -专利权人：强一半导体（上海）有限公司
申请日： 2021-12-19 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明一种3DMEMS探针硅片及其定位、切割装置和方法属于半导体加工、精密仪器技术领域；在探针硅片环形支架内部，探针相互连接成网格状，包括针座、针臂和针尖；所述探针硅片定位装置包括对位系统、吸附系统和底座吸盘；通过对位相机识别底座吸盘和吸附盘的对准标志，实现将吸附在吸附盘上的探针硅片吸附到底座吸盘；所述探针硅片切割装置，包括激光器Y轴、激光器X轴和激光器；通过对位相机识别底座吸盘上的对准标志，并且识别探针2D分布图，确定连接筋位置，进而完成连接筋切割；本发明3DMEMS探针硅片及其定位、切割装置和方法，作为一个整体，可以定位未分隔探针硅片，再将其切割成单独的探针，并固定切割后的单独的探针。
一种 dmems 探针硅片及其定位切割装置方法

[发明专利]一种实现薄膜探针测量滑移的方法-CN202111431275.7在审
发明人：赵梁玉;于海超;王艾琳 -专利权人：强一半导体（苏州）有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本发明涉及一种实现薄膜探针测量滑移的方法，其特征在于：在薄膜探针头中的刚性作用面与上设探针的薄膜之间垫设一弹性体层；该弹性体层在探针的轴向平面上，以穿过探针的任一轴向线为界线，其一侧的弹力与另一侧的弹力不相等，以此使测试时探针能够发生偏转从而产生测量滑移，以穿透或推开被测芯片表层氧化物，实现更稳定地接触。
一种实现薄膜探针测量滑移方法

[实用新型]一种高灵敏度的手持金属探测器-CN202121935653.0有效
发明人：卢丹丹;于海超 -专利权人：天津海诚安防科技有限公司
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01V9/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种高灵敏度的手持金属探测器，涉及金属探测器技术领域，以解决现有技术中存在的金属探测器大多采用金属材料制成，较重且携带不便，同时支撑杆的长度一定，不同身高的人使用不便，无法针对不同使用环境进行调整的技术问题，该装置包括手柄、旋转启动钮、主体、第一活动件、按钮、弹簧、第二活动件、马达、探测件及太阳能板，本实用新型通过主体、第一活动件、按钮、弹簧及第二活动件可以实现金属探测器的伸长与缩短，从而减小金属探测器的占用体积，便于使用者携带，同时满足不同身高的使用者在不同环境下的使用，通过马达带动探测件转动，增强金属探测器的灵敏度，通过太阳能板能够满足探测器所有的用电，无需充电，方便使用。
一种灵敏度手持金属探测器

[实用新型]一种多功能防暴盾-CN202122468606.6有效
发明人：卢丹丹;于海超 -专利权人：天津海诚安防科技有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： F41H5/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种多功能防暴盾，包括：弧形的盾板以及弧形的伸缩板；其中盾板设有观察口，盾板弧形内侧固定有把持组件，盾板于把持组件下部设置有梯形滑槽；伸缩板弧形外侧固接有梯形块，梯形块与梯形滑槽滑动连接，伸缩板弧形内侧设有凹槽，凹槽侧边铰接有脚蹬。本申请所提供的一种多功能防暴盾，利用盾板所设置的梯形凹槽以及伸缩板所设置的梯形块，实现盾板与伸缩板的滑动连接，在使用过程中利用脚踩脚蹬的方式实现伸缩板的展开。上述防暴盾结构简单，并且能够有效的起到防护作用。
一种多功能防暴

[发明专利]一种晶圆级测试探针卡及晶圆级测试探针卡装配方法-CN202110240275.2有效
发明人：赵梁玉;于海超 -专利权人：强一半导体（苏州）有限公司
申请日： 2021-03-04 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明一种晶圆级测试探针卡及晶圆级测试探针卡装配方法属于探针卡、晶圆测试技术领域；该晶圆级测试探针卡包括PCB板、信号转接板和探针，还包括中介板组、导引板组和间隔件组；所述中介板组包括顶部中介板、底部中介板及低功耗中介板，所述探针包括电源探针、接地探针、低频信号探针和高频信号探针四种，分别与信号转接板和中介板组连接；该晶圆级测试探针卡装配方法以此执行以下步骤：对齐装针孔、置针、探针限位和连接PCB；本发明通过探针分组为信号去耦、抗干扰、降噪等处理电路提供足够的容纳空间，可隔离或降低不同信号探针之间的耦合和干扰，提升系统的整体测试性能，特别地，可提升系统高频测试能力。
一种晶圆级测试探针装配方法