专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板处理设备和基板处理方法-CN202310095061.X在审
  • 严成勋;尹太源 - 细美事有限公司
  • 2023-02-03 - 2023-10-17 - G03F7/42
  • 一种基板处理设备和基板处理方法,所述基板处理设备包括支撑基板的基板支撑单元和设置在低于所述基板支撑单元的上表面的位置的超声清洗模块。所述超声清洗模块可包括接收化学品的接收部、在所述接收部的上表面的至少一部分开口的开口部、以及设置为从所述接收部朝向所述开口部的超声振动单元,所述超声振动单元可配置以使得由所述超声振动单元上升的所述化学品的液面从所述开口部与基板接触。
  • 处理设备方法
  • [发明专利]基板处理装置以及方法-CN202211480719.0在审
  • 金益均;严成勋 - 细美事有限公司
  • 2022-11-23 - 2023-06-06 - H01L21/67
  • 本发明提供能够有效地去除基板的边缘区域的污染物质的基板处理装置。所述基板处理装置包括:支承台,其使基板旋转;第一槽,其设置在所述支承台的周围,储存清洗液并在上表面形成有第一开口部;以及第一超声波振荡器,其设置在所述第一槽,并朝向由所述第一开口部露出的所述清洗液的表面提供超声波,以形成从所述清洗液的表面凸出的第一水膜,所述基板不浸没于所述第一槽,在由所述支承台旋转所述基板的期间,通过所述凸出的第一水膜来清洗所述基板的边缘区域。
  • 处理装置以及方法
  • [发明专利]基板处理装置及处理方法-CN202210595900.X在审
  • 严成勋;李晟豪;张柱镛 - 细美事有限公司
  • 2022-05-27 - 2023-03-07 - B41J2/01
  • 本发明提供一种改善了操作性的基板处理装置,该基板处理装置,包括:第一槽,储存清洗液,在上表面形成有第一开口部;以及第一超声波振荡器,设置在所述第一槽内,并且朝向通过所述第一开口部而露出的所述清洗液的表面提供超声波并在所述清洗液的表面形成突出的水膜,基板不被浸渍于所述槽中,所述基板的一个面与所述第一开口部相邻地配置,通过所述水膜清洗来所述基板的一个面。
  • 处理装置方法

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