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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]供应溶液的装置、处理基板的设备和处理基板的方法-CN202211673745.5在审
  • 金喆男;严成勳;金益均 - 细美事有限公司
  • 2022-12-26 - 2023-06-30 - H01L21/67
  • 本发明提供了用于供应溶液的装置、用于处理基板的设备以及处理基板的方法。用于处理基板的设备可以包括：化学液体排出部，被配置成向基板上排出具有第一比重的化学液体；化学液体供应部，被配置成向化学液体排出部提供化学液体；流体供应部，被配置成提供具有与第一比重不同的第二比重的流体；以及监测部，包括被配置成捕集流到化学液体供应部中的流体的捕集部和被配置成感测流体的流入的感测部。在流体和化学液体之间可以产生热量传递，使得化学液体具有期望的温度。流体可以根据第一比重和第二比重之间的差异被捕集在捕集部的顶部分或底部分处。
  • 供应溶液装置处理设备方法
  • [发明专利]基板处理装置以及方法-CN202211480719.0在审
  • 金益均;严成勋 - 细美事有限公司
  • 2022-11-23 - 2023-06-06 - H01L21/67
  • 本发明提供能够有效地去除基板的边缘区域的污染物质的基板处理装置。所述基板处理装置包括：支承台，其使基板旋转；第一槽，其设置在所述支承台的周围，储存清洗液并在上表面形成有第一开口部；以及第一超声波振荡器，其设置在所述第一槽，并朝向由所述第一开口部露出的所述清洗液的表面提供超声波，以形成从所述清洗液的表面凸出的第一水膜，所述基板不浸没于所述第一槽，在由所述支承台旋转所述基板的期间，通过所述凸出的第一水膜来清洗所述基板的边缘区域。
  • 处理装置以及方法
  •  1 
  • 共 4 条
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