专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶片上监测系统-CN03804732.2无效
  • 寒川诚二;新村忠;冲川满 - 东北泰克诺亚奇股份有限公司
  • 2003-02-03 - 2005-07-13 - H01L21/3065
  • 一种晶片上监测系统(200),设置在等离子体处理装置(100)中的要处理的基板位置。该晶片上监测系统(200)包括:各种检测器;数据I/O单元(210),用于光学地向外部输出信号和从外部输入信号,以及一内部电源单元(250),用于对上述各部分提供电力。该晶片上数据I/O单元(210)与一激光二极管(LD)(320)和一光电二极管(PD)(330)连接,该光电二极管是安装在外部的光学I/O单元。该数据I/O单元(210)从外部接收指令并且将所监测的数据传送到外部。设置在基板上的检测器为一离子能量分析器(400),VUV光子探测器(500),以及自由基离子种类发射分光光度计(600)。
  • 晶片监测系统

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