专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]自动计算增加的粒子的方法-CN03138699.7有效
  • 刘坤佑;陈威铭;丁茂益;陈俊结;河濂泽 - 旺宏电子股份有限公司
  • 2003-06-03 - 2004-12-08 - H01L21/66
  • 一种在半导体生产过程中利用粒子分布的位置数据,来自动计算增加的粒子的方法。首先,自动连结工艺前粒子数据和工艺后粒子数据,并根据位置分布的差异决定出一共有的粒子。然后,自动连结工艺后粒子数据的粒子数目与共有的粒子的粒子数目,并将前者减去后者而得到增加的粒子的数目。本发明所自动计算的增加的粒子可以真实反映出在工艺期间增加的粒子,并提供与工艺品质有关的有效信息,以提供一正确的诊断值做为工程师或操作员一个可信赖的判断基础。
  • 自动计算增加粒子方法

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