“丁小弟”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果6个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种改善晶圆边缘缺陷的装置-CN201520857832.5有效
发明人：张欣;丁小弟;金懿 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2015-10-29 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种改善晶圆边缘缺陷的装置，属于半导体集成电路工艺技术领域，包括检测装置、自动校准装置以及执行机构；检测装置用于检测晶圆的位置偏移量，安装于腔体的透明盖板上，且与晶圆的边缘位置相应；自动校准装置与检测装置连接，用于接收检测装置反馈的偏移信号，并计算出晶圆待校准的传送路径；执行机构与机台的传输带装置连接，使晶圆进行水平方向的位置调节，以避免晶圆与锥状体发生刮擦。本实用新型首先通过检测装置检测出晶圆的位置偏移量，然后由自动校准装置计算出晶圆正确的传送路径，最后由执行机构将晶圆调整至正确位置，使晶圆传送路径更加精准，防止晶圆边缘与锥状体发生刮擦导致晶圆受损，有效提高了产品良率。
一种改善边缘缺陷装置

[实用新型]一种等离子体增强化学气相沉积工艺设备-CN201420740654.3有效
发明人：张欣;丁小弟;金懿 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2015-05-20 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体增强化学气相沉积工艺设备，包括：反应腔室，设置有进料口，且反应腔室处于设备的中心位置；外壳，部分包裹反应腔室，且外壳的顶部设有第一螺丝孔组，外壳的底部设有第二螺丝孔组；第一隔绝装置，通过第一螺丝孔组设置于外壳的底部；一第二隔绝装置，通过第二螺丝孔组设置于外壳的顶部；一压缩装置，连接于第一隔绝装置和第二隔绝装置；其中，第一隔绝装置还包括第一联动轴和第一阀门，第二隔绝装置还包括第二联动轴和第二阀门，第一联动轴和第二联动轴均通过压缩装置分别带动第一阀门和第二阀门，以关闭反应腔室的进料口。本实用新型装置可以有效的提高半导体制备工艺的效率，提高了设备在线的使用率。
一种等离子体增强化学沉积工艺设备

[实用新型]半导体制造中使用的装载腔、晶圆输送盘、CVD系统-CN201420142266.5有效
发明人：张欣;丁小弟;金懿 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体制造中使用的装载腔、晶圆输送盘、CVD系统。所述晶圆输送盘的四周设置有防止被输送的晶圆在输送的过程中从所述晶圆输送盘上滑落的阻挡件。在晶圆输送的过程中，可以稳固地承载被输送的晶圆，因此，即使晶圆没有在输送盘放置好，即出现wafer handoff状态，或者晶圆没有以最佳位置传送到装载腔发生微小偏差，也被阻挡件稳固的挡在所述晶圆输送盘上，无法在晶圆输送盘上移动，甚至是从所述晶圆输送盘上滑落，从而避免了现有技术中由于晶圆在小圆锥边缘滑动导致的晶圆边缘颗粒缺陷，进一步排除了晶圆边缘颗粒聚集于装载腔底部污染装载腔。
半导体制造使用装载输送 cvd 系统

[实用新型]镀膜机台、反应腔、锭子-CN201420141773.7有效
发明人： 丁小弟;张欣;金懿 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜机台、反应腔、锭子。镀膜机台，其包括反应腔以及锭子，所述锭子安装在所述反应腔的底部，所述锭子的密封面上设置有密封圈，以在将所述锭子安装到反应腔的底部后，与所述反应腔底部的密封面无缝对接，防止反应腔泄露。在更换所述锭子时，该密封圈由于直接配置在锭子的密封面上，因此，不会出现突出变形；在更换的过程中，往上抬spindle时，因密封圈不会被锭子spindle挡住，可以实时观察到密封圈的实际状态，可避免密封圈压坏，进一步避免了更换完成后使反应腔有泄露。
镀膜机台反应锭子

[实用新型]壁板贯穿件-CN200820162413.X有效
发明人： 丁小弟;陈兆忠;胡福涛;陈忠义;黄河 -专利权人：陈忠义
申请日： 2008-08-12 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： F16L5/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种贯穿件，特别涉及一种壁板贯穿件。本实用新型采用如下技术方案：一种壁板贯穿件，包括有紧固螺母，其特征在于：包括有接头，所述的接头上设有至少两个连接端，所述的紧固螺母与接头的上连接端套设，上连接端上位于紧固螺母套设的上部为旋合部分，下部为夹持部分，所述接头上位于上连接端的夹持部分下端设有凸台，该凸台的直径略大于上连接端的直径。通过采用上述技术方案，提供了一种连接方便，且可防止溢水的壁板贯穿件。
壁板贯穿

[实用新型]定梁复合式电梯导轨专用龙门刨床-CN200520046683.0无效
发明人： 丁小弟;王孝新;陈肇新;宋海燕;张涛;尹泓 -专利权人：上海汇缘重型机床制造有限公司
申请日： 2005-11-18 - 公布日： 2006-11-15 - 主分类号： B23D1/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种定梁复合式电梯导轨专用龙门刨床，包括床身、固定于床身上的工作台、立柱、横梁、主动力装置以及机床控制器、以及与横梁相连的垂直进刀系统和水平进刀系统；还包括摆动架平面垂直系统和水平快进快退系统；摆动架平面垂直系统包括平面垂直进刀电机驱动的平面垂直丝杆、平面垂直丝杆拖动平面垂直拖板、平面垂直拖板上固定设有平面刀盒，所述平面垂直拖板与水平进刀拖板滑动连接。本实用新型通过水平进刀系统配合垂直进刀系统以及设置在垂直进刀系统和水平进刀系统之间的摆动架平面垂直系统可以一次实现电梯导轨顶面、侧面以及倒棱等全规格加工的要求。具有加工质量高、效率高等优点。
复合电梯导轨专用龙门刨床

1
共 6 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top