“H10N30/05”专利分类搜索_专利查询_文献下载_出售_求购_买卖_交易

钻瓜专利网为您找到相关结果10个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种钛酸钡基织构电致伸缩多层陶瓷驱动器的制备方法-CN202310541033.6在审
发明人：张雷阳;杜红亮;靳立;张阿梅;侯鸿平 -专利权人：西安外事学院
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H10N30/053 文献下载
摘要：本发明涉及电致伸缩多层陶瓷驱动器制备技术领域，具体涉及一种钛酸钡基织构电致伸缩多层陶瓷驱动器的制备方法。本发明中的制备方法包括流延获得单层织构坯体、丝网印刷内电极、叠层热压、烧结获得多层陶瓷驱动器等步骤。和钛酸钡基织构块体陶瓷驱动器相比，本发明的方法制备的钛酸钡基织构电致伸缩多层陶瓷驱动器，电致伸缩应变达到0.157％，电致伸缩系数达到0.061m4/C2，相比于未织构0.5Ba(Zr0.2Ti0.8)O3‑0.5(Ba0.7Ca0.3)TiO3陶瓷基体约0.04m4/C2的电致伸缩系数提升约50％，效果显著。其驱动电场得到显著提升的同时可以在高的服役电场下获得更为优异的电致伸缩应变性能。本发明的制备方法简便易行、对设备要求低、反应条件易控、重复性好。
一种钛酸钡基织构电致伸缩多层陶瓷驱动器制备方法

[发明专利]柔性多层复合压电薄膜的制备方法及柔性多层复合压电薄膜-CN202010700390.9有效
发明人：杨诚;陈超杰 -专利权人：清华大学深圳国际研究生院
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H10N30/05 文献下载
摘要：本发明提供一种柔性多层复合压电薄膜的制备方法及柔性多层复合压电薄膜，方法包括：将压电层材料溶于有机溶剂形成压电油墨；将导电浆料涂布在基材薄膜上得到第一电极层；在第一电极层上涂布压电油墨并烘干得到第一压电层，依序再次涂布压电层、电极层，压电层和电极层堆叠形成叉指结构，多个所述压电层并联；由此第一柔性多层复合压电薄膜；对所述第一柔性多层复合压电薄膜进行电晕极化处理得到第二柔性多层复合压电薄膜；用金属导线分别与第二柔性多层复合压电薄膜中的第一电极层和第二电极层分别相连作为正极和负极，得到第三柔性多层复合压电薄膜；在第三柔性多层复合压电薄膜外涂布形成保护层得到最终的柔性多层复合压电薄膜。
柔性多层复合压电薄膜制备方法

[发明专利]通过激光转移印刷涂覆至少一个硅酮层的方法-CN201980020135.5有效
发明人：克劳斯·埃勒尔;安德烈亚斯·克尔恩贝格尔;约翰尼斯·诺伊维尔特 -专利权人：瓦克化学股份公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H10N30/05 文献下载
摘要：本发明涉及一种通过激光转移印刷施加至少一个硅酮层的方法，该方法适合于生产传感器、致动器和其他EAP层系统。在所述系统中硅酮层可以用作导电电极层或用作介电层。该方法可以设计成连续的并且可以与不同的其他涂覆技术结合。
通过激光转移印刷至少一个硅酮方法

[发明专利]用于制造基于MEMS的冷却系统的方法和系统-CN202180070182.8在审
发明人： S·甘地;B·J·加利;董明;S·R·马哈瓦佩迪;V·穆坤丹;A·S·亚拉马蒂;L·E·芬内尔 -专利权人：福珞尔系统公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H10N30/05 文献下载
摘要：描述了一种用于提供冷却系统的方法。该方法包括提供多个片材。每个片材包括用于多个冷却单格中的每个冷却单格中的层级的至少一个结构。每个冷却单格的特定层级包括具有第一侧和第二侧的冷却元件。冷却元件构造成经历振动运动以将流体从第一侧驱动到第二侧。该方法还包括对准片材、附接片材以形成包括冷却单格的层压部，以及将层压部分离成区段。每个区段包括至少一个冷却单格。
用于制造基于 mems 冷却系统方法系统

[发明专利]一种垂直整合晶圆的制备方法、制备装置和垂直整合晶圆-CN202310264159.3在审
发明人：沈君尧;朱德进;姚文峰 -专利权人：天通瑞宏科技有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H10N30/05 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种垂直整合晶圆的制备方法、制备装置和垂直整合晶圆。垂直整合晶圆的制备方法包括，获取压电晶圆；对压电晶圆的镀膜面进行表面清洗；在压电晶圆的镀膜面上形成制备层，其中包括沉积支撑衬底材料，形成支撑衬底；去除压电晶圆中远离镀膜面一侧的余料层；抛光压电晶圆远离制备层的一侧。本发明实施例充分考虑了声学滤波器对压电材料的晶体取向精准调控需求和高晶体质量需求，也考虑到声学滤波器对下层支撑衬底材料没有严格的结晶度要求，采用倒制镀膜的方式，既保证了器件对压电材料的要求，也规避了键合工艺的制备难度，从而在不影响声学器件性能的前提下，大大降低了垂直整合晶圆的制备成本。
一种垂直整合制备方法装置

[发明专利]用于压电应用的沉积方法及设备-CN202080105019.6在审
发明人：阿比吉特·拉克斯曼·桑格尔;维杰·班·夏尔马;薛元;安库尔•凯达姆;巴拉特瓦·罗摩克里希南;乌代·派;尼利斯·帕蒂尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H10N30/05 文献下载
摘要：揭示了用于在基板(201)上沉积用于压电应用的均匀层的方法及设备。从其中心到边缘具有均匀厚度的超薄种晶层(308)沉积在基板(201)上。与随后形成的压电材料层(312)的晶体结构紧密匹配的模板层(310)沉积在基板(201)上。种晶层(308)及模板层(310)的均匀厚度及取向继而促使生长具有改良的结晶度及压电特性的压电材料。
用于压电应用沉积方法设备

[发明专利]一种压电单晶层叠驱动器的制备方法-CN202110173478.4有效
发明人：杨静雅;徐卓;刘金凤;贾楠香;王三红;李飞 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H10N30/057 文献下载
摘要：本发明提供的一种压电单晶层叠驱动器的制备方法，包括以下步骤：步骤1，对单晶片依次进行三维定向、切割、减薄、清洗，得到多个单晶薄片；步骤2，将得到的单晶薄片放置在溅射电极模具中进行溅射电极，得到单晶薄片电极；步骤3，将得到的单晶薄片电极放置在极化装置中进行电极极化，得到极化后的单晶薄片电极；步骤4，利用堆叠模具对极化后的单晶薄片电极进行堆叠，得到压电堆；步骤5，在得到的压电堆的侧面溅射电极，得到层叠驱动器；本发明解决了现有的层叠驱动器只能单片制备，不能批量生产的缺陷。
一种压电层叠驱动器制备方法

[发明专利]具有曲率感知能力的柔性压电器件功能层、渐进式声阻抗的匹配层、吸声止震的背衬层-CN202211476796.9在审
发明人：张甲;李宇阳;李媛;陈佳泰;段展 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H10N30/05 文献下载
摘要：具有曲率感知能力的柔性压电器件功能层、渐进式声阻抗的匹配层、吸声止震的背衬层，涉及柔性器件技术领域。解决现有曲率传感器难以实现阵列化的测量、响应速度较慢，无法应用于柔性声学传感器的问题。匹配层的制备方法为：制作微金字塔阵列的模具，在模具内均匀喷涂敏感材料，得到锥形结构模具；聚二甲基硅氧烷进行浇灌，得到锥形结构基体；将锥形结构基体超声清洗，得到聚二甲基硅氧烷基体；将聚二甲基硅氧烷基体的结构面朝上，并贴附在PET基底上，得到聚二甲基硅氧烷功能层；向敏感材料中滴加聚二甲基硅氧烷交联剂，并搅拌，得到导电聚合物分散液；将导电聚合物分散液喷涂在聚二甲基硅氧烷功能层上，进行烘干，得到匹配层。本发明适用于超声探伤和生物医疗。
具有曲率感知能力柔性压电器件功能渐进声阻抗匹配吸声背衬层

[发明专利]一种模式转换一维线阵压电元件及其制备方法-CN201810769851.0有效
发明人：郑海荣;马腾;李永川;靳遥;黄继卿;郭瑞彪;苏敏 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： H10N30/057 文献下载
摘要：本发明属于医疗器械制造领域，提供了模式转换一维线阵压电元件及其制备方法，以降低压电元件阵元的电阻抗和整个压电元件的制造成本。所述方法包括：在长方体的第一压电材料和第二压电材料的一个大面和四个侧面敷设电极；将敷设了电极两个大面粘接以形成第三压电材料；切割第三压电材料没有敷设电极的两面中任何一面形成若干槽；灌入去耦合材料至槽并在其凝固后研磨第三压电材料没有敷设电极的大面；对没有敷设电极的两大面敷设电极并去除第三压电材料中三个侧面的电极以形成第四压电材料；切割去耦合材料以形成一条第一电极和第二电极隔断槽；信号源电极与信号源连接，接地电极接地。本发明降低了压电元件阵元的电阻抗和整个压电元件的制造成本。
一种模式转换一维线阵压电元件及其制备方法

[发明专利]一种离子液体聚合物致动器的制备方法-CN202211331024.6在审
发明人：潘曹峰;韩勋 -专利权人：江苏振宁半导体研究院有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H10N30/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子液体聚合物致动器的制备方法，将导电高分子膜一、导电聚合物层和导电高分子膜二依次叠层，在导电高分子膜一表面一端设有电极一，在导电高分子膜二表面一端设有电极二；所述离子导电聚合物层由离子交换树脂、离子液体和电容器隔板纸制成；该离子交换树脂为一种高度支化且具有三维网状结构的聚合物，具有更大的孔径和比表面积，进而使得离子在树脂中的扩散阻力较小，加快离子交换速率，提高离子导电聚合物层的功效。
一种离子液体聚合物致动器制备方法

1
共 10 条