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[实用新型]一种可调节精磨机用砂轮修整机构-CN202221555277.7有效
发明人：张又仁;蓝辉云;杨晓伟;田坤;阳杰;宋尧钦;欧阳志凌 -专利权人：深圳市友创智能设备有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本申请公开了一种可调节精磨机用砂轮修整机构，包括固定板和磨砂轮件，所述固定板与精磨机连接，所述固定板上设有调节底座，所述调节底座与所述固定板可旋转限位连接，所述调节底座上设有调节机构和推进机构，所述磨砂轮件与所述推进机构连接，所述推进机构与所述调节机构连接，所述调节机构用于调节所述磨砂轮件在所述固定板上的安装位置，所述推进机构用于驱动所述磨砂轮件移动。本申请通过将磨砂轮件安装到砂轮修整机构上，提高了操作人员的安全性，人身安全得到了更好的保障；另一方面，本申请安装到精磨机的机台上，通过操作调节机构和推进机构即可完成砂轮修整的工作，无需重复拆装砂轮，能够提高精磨机的加工效率。
一种调节精磨机用砂轮修整机构

[实用新型]在线式砂轮修整机构和研磨装置-CN202221338500.2有效
发明人：李钢琴 -专利权人：深圳宏友金钻石工具有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本实用新型公开一种在线式砂轮修整机构和研磨装置，其中，在线式砂轮修整机构包括：支撑台；横向移动组件，包括第一防尘板、横向滑座和横向滑台；第一防尘板安装于支撑台，第一防尘板具有第一抵接面，横向滑座安装于第一抵接面；横向滑台包括横向基板，和设置于横向基板的横向滑动部以及横向防尘部，横向防尘部位于横向滑动部的外侧，横向滑动部与横向滑座可滑动配合；横向防尘部远离横向基板的一侧与第一抵接面抵接，以使横向基板、横向防尘部和第一抵接面围合形成第一防尘空间，横向滑座位于第一防尘空间内。本申请通过设置第一防尘板与横向滑座抵接，有利于防止异物进入横向滑动部与横向滑座之间。
在线砂轮修整机构研磨装置

[发明专利]控制化学机械抛光的蒸汽产生-CN202180013340.6在审
发明人： H·桑达拉拉贾恩;张寿松;C·李;J·P·多明;S·达塔;D·斯克里亚尔;P·D·巴特菲尔德;C·波拉德;吴昊晟 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：一种化学机械抛光系统，其包括蒸汽产生器，该蒸汽产生器具有：加热元件，其对容器施加热量以产生蒸汽；开口，其将蒸汽输送至抛光垫上；第一阀，其在开口与容器之间的流体管线中；传感器，其监测蒸汽参数；及控制系统。控制系统经配置以：根据配方中的蒸汽输送排程使阀打开及关闭；接收来自传感器的蒸汽参数的测量值；接收蒸汽参数的目标值；用目标值及测量值作为输入来执行比例积分微分控制算法，从而控制第一阀和/或第二释压阀和/或加热元件，以使得在根据蒸汽输送排程打开阀之前测量值基本上到达目标值。
控制化学机械抛光蒸汽产生

[实用新型]一种智能型磨床曲面修整器-CN202220463706.1有效
发明人：赵桂余;周进;黄卫祥 -专利权人：南通博嘉机床有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种智能型磨床曲面修整器，包括机体，机体的侧面开设有第一活动槽，第一活动槽的内部活动安装有固定装置，机体的顶面开设有滑动槽，滑动槽的内部活动安装有调整装置。上述方案中，设置固定装置，使得第一连接块在第一活动槽部移动时能够带动固定板同时移动，并且向外延伸第一活动柱会带动弹簧发生形变，使得固定板能够向外扩张，从而能够固定板使机体夹持在磨床的表面，代替了操作人员手动固定，从而达到了提高装置便捷性的效果；设置调整装置，使得滑动板在滑动槽内移动时能够带动修整装置水平活动，修整装置在弧形板的第二活动槽内进行移动，可以使修整装置自身角度改变，从而达到了提高装置实用性的效果。
一种智能型磨床曲面修整

[发明专利]基座抛光装置-CN202080086930.7在审
发明人：罗伯特·麦金尼;苏珊斯·贡迪;马亨德拉·拜拉普拉·曼朱纳特;盖瑞·B·利德;维纳亚卡拉迪·古拉巴尔;安德鲁·保罗·伊布;埃迪·泽·希恩·黄;维什努·赛·雅拉玛蒂 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：描述了用于真空基座的清洁装置以及清洁用于半导体设备制造中的基座的方法。所述装置具有底板、附接至底板的轴环、设置在轴环上的盖件、以及从轴环延伸穿过盖件、轴环及底板的轴件。手动可旋转手柄附接至从盖件延伸的轴部。盖件阻止手柄沿向下方向运动。盘件附接至轴件的下部，并因配重环而与底板的底部分开，配重环附接至盘件并环绕轴件的下部，使得轴件与盖件之间存在竖直浮置。至少一个磨料垫附接至盘件，以去除底下基座表面上的积聚物。
基座抛光装置

[发明专利]一种用于化学机械抛光的修整装置、系统及方法-CN202210454320.9有效
发明人：王春龙;许振杰;陈映松;路新春;王同庆 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光的修整装置、系统及方法，所述修整装置包括固定座、摆臂和修整器，所述修整器设置于摆臂的端部并绕固定座摆动；所述修整器包括：基座，其与摆臂固定连接；直线驱动模块，其固定端与所述基座固定连接，其作业端可沿竖向移动；旋转驱动模块，其与所述直线驱动模块的作业端固定连接并与所述基座滑动连接，以在直线驱动模块的驱动下相对于基座竖向移动，并且，所述旋转驱动模块与所述直线驱动模块在水平方向相邻配置；修整头，其连接于所述旋转驱动模块的下方。
一种用于化学机械抛光修整装置系统方法

[实用新型]一种用于化学机械抛光的供液装置、修整装置及抛光单元-CN202221178009.8有效
发明人：梁清波;陈映松;王同庆;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于化学机械抛光的供液装置、修整装置及抛光单元，所述供液装置包括供液基座和供液臂，所述供液臂的一端转动连接于所述供液基座，其另一端配置有朝向下侧的供液管；所述供液臂的上部配置有防护件，所述防护件具有溢流结构，以在防护件顶面的至少部分区域形成液膜。
一种用于化学机械抛光装置修整抛光单元

[发明专利]一种化学机械抛光方法-CN202210533249.3在审
发明人：梁清波;陈映松;王同庆;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学机械抛光方法，其包括：化学机械抛光时，开启防护件的溢流结构，使得所述防护件的表面形成液膜；所述防护件设置于供液装置和/或修整装置的上方，以防止抛光溅落物附着于供液装置和/或修整装置而结晶。
一种化学机械抛光方法

[发明专利]修整器、研磨垫的修整方法及玻璃基板的制造方法-CN202210029990.6在审
发明人：柿崎干;阿部重人;藤川祥太朗;长泽昂;久保和也;木村昭太 -专利权人： AGC株式会社
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本发明提供修整器、研磨垫的修整方法及玻璃基板的制造方法。金刚石修整器将研磨垫表面磨削除去，因此存在研磨垫的使用寿命变短这样的问题。并且，使用刷子修整器来从研磨垫的微细孔中除去堵塞物质的方法虽然研磨垫的表面难以被磨削，但是存在无法可靠地除去微细孔中积存的堵塞物质这样的问题。本发明的目的在于提供一种能够抑制破坏研磨垫的研磨面或使研磨垫的研磨面变粗糙并且能够除去处于研磨垫的研磨面上的堵塞物质，且能够均匀地修整研磨垫的研磨面的修整器以及修整方法。本发明的修整器的特征在于具有：圆柱状的主体部，具有曲面；以及修整部，形成于所述主体部的曲面，所述修整部距离所述主体部的曲面的高度为1.0mm以上且30mm以下。
修整研磨方法玻璃制造

[发明专利]一种新型抛光垫修整盘组装方法及制造工具-CN202111332710.0有效
发明人：潘登;于政中;张云宝;谭景林 -专利权人：深圳市前海科创石墨烯新技术研究院
申请日： 2021-11-11 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本发明公开一种新型抛光垫修整盘组装方法，包括放置步骤、小锭放置步骤、注入可固化胶步骤、加热可固化胶、固定形成步骤，本发明极大的降低了生产成本，使用寿命，可以极大的提高生产效率。本发明所使用的钻石粒度较多，露出部分较小，具有不易脱落的特性。本发明所使用的方法较为简便，适合工业化的生产，具有较大的市场前景。
一种新型抛光修整组装方法制造工具

[实用新型]一种砂轮打磨器-CN202220866596.3有效
发明人：马运发 -专利权人：烟台飞马机械零部件有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种砂轮打磨器，涉及机械加工技术领域，改善在对打磨刀具进行调整和更换时，操作较为麻烦的问题，包括定位座、支撑座和打磨刀具，所述定位座的内部转动安装有螺杆，所述螺杆的表面螺纹连接有活动块，所述活动块通过连接块与支撑座固定连接，所述支撑座的顶部固定连接有安装座，所述打磨刀具的底部固定连接有安装块，所述安装块的两侧均开设有插槽，所述安装槽的两侧均开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的一端连接有插块。本实用新型通过手柄、螺杆、活动块、连接块和支撑座的设置，方便对打磨刀具进行调节，通过安装座、安装槽、安装块、插槽、弹簧、插块和拉杆的设置，方便了打磨刀具的更换。
一种砂轮打磨

[实用新型]一种具有超声波功能的抛光布刷盘-CN202220513479.9有效
发明人：王锦浩;王永成 -专利权人：上海致领半导体科技发展有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有超声波功能的抛光布刷盘，包括抛光布刷盘、安装孔、清理刷毛、超声波振子，通过设置了超声波振子增加了超声波功能，在刷洗机运行时超声波振子上的超声波震动传导头会提高刷洗机产生的振幅，超声波震动传导头提高后的振幅会通过超声波扩散底座传导到抛光布刷盘上带动抛光布刷盘振动，抛光布刷盘振动会带动清理刷毛振动，通过超声波产生的高频振动，使得清理刷毛在刷洗时候产生高频振动，提高了对抛光垫的刷洗和修整效果，从而提高了抛光材料的抛光效率。
一种具有超声波功能抛光布刷盘

[实用新型]一种具有超声波功能的抛光布修整盘-CN202220519187.6有效
发明人：王锦浩;王永成 -专利权人：上海致领半导体科技发展有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有超声波功能的抛光布修整盘，其结构包括超声波振子和减震组件，通过设置了超声波振子在不锈钢基座内侧，通过超声波振子在修整的过程中对抛光布起到清洁作用，减少抛光布上的结晶现象，有利于提高对修正盘对抛光布的清洗效果的同时提高抛光布的抛光效果，通过设置了固定机构在定位盘内部，通过双向螺纹柱对金刚石片和金刚石柱两者进行固定，并通过永磁体对金刚石片进行吸附动作，通过设置了减震组件在不锈钢基座内侧，通过限位板和减震弹簧对超声波振子进行安装限位和减震动作，避免出现超声波振子工作时因抛光液流动而带动整体修整盘振动。
一种具有超声波功能抛光修整

[发明专利]研磨加工-CN201810620111.0有效
发明人： A.斯潘皮纳托;D.A.阿克辛特;D.诺沃维奇;P.巴特勒-史密斯 -专利权人：劳斯莱斯有限公司
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：示出了一种旋转研磨加工工具（101）。所述工具包括在其外圆周上具有多个轴向定向的径向槽的毂（103），以及多个研磨段，每个研磨段位于毂的相应槽中并且形成研磨表面（102）。研磨段包括用于定位在毂中的槽中的突出部，以及限定多个研磨元件的研磨边缘。
研磨加工

[实用新型]一种单面抛光机的抛光盘修整装置-CN202123230730.5有效
发明人：姜玲玲;杨申;王英航;张晓明;王久辉;刘立杰;张启;张闯 -专利权人：莱玛特·沃尔特斯（沈阳）精密机械有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单面抛光机的抛光盘修整装置，尤其涉及一种单面抛光机的抛光盘修整装置，它属于抛光设备技术领域。一种单面抛光机的抛光盘修整装置，它是由转臂组件（201），驱动组件（202）和修盘主轴组件（203）构成，驱动组件（202）固定在工作台（105）上，转臂组件（201）的一端固定在驱动组件（202）的转动法兰（412）上，转臂组件（201）的另一端固定在修盘主轴组件（203）的下部气缸体（504）上。本实用新型提供了一种抛光盘修整装置，不需要人工更换修整轮就能实现抛光盘修整力度的改变，缩短维护时间，整个修整机构重量轻，有效的降低抛光盘旋转惯性，使得抛光过程更加稳定。
一种单面抛光机抛光修整装置