[发明专利]振动整流误差校正装置、传感器模块及其方法

说明书

一种振动整流误差校正装置、传感器模块及其方法，为了生成与不同步于基准信号的信号同步后的数据，不需要电路规模大的同步电路或负荷大的运算。振动整流误差校正装置具备：基准信号发生电路，输出基准信号；频率ΔΣ调制电路，使用被测定信号对所述基准信号进行频率ΔΣ调制，生成频率ΔΣ调制信号；第一滤波器，设置于所述频率ΔΣ调制电路的后级，与所述被测定信号同步地进行动作；以及第二滤波器，设置于所述第一滤波器的后级，与不同步于所述基准信号的第一频率信号同步地进行动作。

技术领域

本发明涉及振动整流误差校正装置、传感器模块以及振动整流误差校正方法。

背景技术

专利文献1中记载了一种传感器模块，其构成为：使第一低通滤波器与物理量传感器的输出信号同步地进行动作，并通过后级的第二低通滤波器进行与基准时钟同步的重采样。根据该传感器模块，在低通滤波器整体的输入输出中产生非线性特性，并将该非线性特性引起的振动整流误差调整为与通过物理量传感器的悬臂谐振产生的振动整流误差呈相反相位，由此能够抵消彼此的振动整流误差，降低最终输出中出现的振动整流误差。

专利文献1：日本特开2019-190897号公报

在专利文献1所记载的传感器模块中，由于第二低通滤波器与基准时钟同步地进行动作，因此例如为了得到与外部触发信号等基准时钟不同步的信号进行了同步的数据，在第二低通滤波器的后级需要电路规模大的同步电路或负荷大的后处理的运算。

发明内容

本发明所涉及的振动整流误差校正装置的一方式具备：

基准信号发生电路，输出基准信号；

频率ΔΣ调制电路，使用被测定信号对所述基准信号进行频率ΔΣ调制，生成频率ΔΣ调制信号；

第一滤波器，设置于所述频率ΔΣ调制电路的后级，与所述被测定信号同步地进行动作；以及

第二滤波器，设置于所述第一滤波器的后级，与不同步于所述基准信号的第一频率信号同步地进行动作。

本发明所涉及的传感器模块的一方式具备：

所述振动整流误差校正装置的一方式；以及

物理量传感器。

本发明所涉及的振动整流误差校正方法的一方式包括：

使用被测定信号对基准信号进行频率ΔΣ调制，生成频率ΔΣ调制信号的工序；

与所述被测定信号同步地对基于所述频率ΔΣ调制信号的信号进行第一滤波处理的工序；以及

与不同步于所述基准信号的第一频率信号同步地对基于通过所述第一滤波处理得到的信号的信号进行第二滤波处理的工序。

附图说明

图1是传感器模块的立体图。

图2是传感器模块的分解立体图。

图3是物理量传感器的立体图。

图4是物理量传感器的俯视图。

图5是图4的P1-P1线的剖视图。

图6是物理量传感器的动作的说明图。

图7是物理量传感器的动作的说明图。

图8是第一实施方式的传感器模块的功能框图。

图9是从原理上说明因为输出波形畸变产生振动整流误差的情况的图。

图10是表示施加的加速度与倒数计数值的非线性特性的图。

图11是表示施加的加速度与物理量传感器的振荡频率的非线性特性的图。