[发明专利]一种晶硅PERC电池结构及其制备方法

说明书

本发明涉及晶硅PERC电池生产领域。一种晶硅PERC电池结构，该晶硅PERC电池从下至上依次为全铝背场或铝栅线（2）、背面钝化膜（3）、基体P型硅（6）、N型发射极（7）、正面钝化膜（9），晶硅PERC电池背面有背面激光开槽（5），背面激光开槽（5）中印刷有背银电极（1），晶硅PERC电池正面的N型发射极（7）和正面钝化膜（9）上有正面激光镂空槽（8），正面激光镂空槽（8）处有正面一次印刷银电极（10）和正面二次印刷银电极（11）。本发还涉及该晶硅PERC电池结构的生产方法。

技术领域

本发明涉及晶硅PERC电池生产领域。

背景技术

当前，光伏制造产业中，PERC电池作为性价比比较高的光伏产品，进一步的发展依然面临转换效率瓶颈的问题，下一代新型电池技术包括HJT、TOPCon、IBC的量产则存在设备成本高、上下游配套不健全等问题，因此如何进一步提高PERC电池的转换效率，满足持续降低光伏制造产品度电成本的要求，是当下光伏制造技术的重要研究方向。

发明内容

本发明的目的是提供一种新型晶硅PERC电池结构，且其制备方法简单，兼容性强，不过多增加成本的前提下，进一步提高PERC电池的转换效率，从而延长PERC电池运转周期。

本发明所采用的技术方案是：一种晶硅PERC电池结构，该晶硅PERC电池从下至上依次为全铝背场或铝栅线（2）、背面钝化膜（3）、基体P型硅（6）、N型发射极（7）、正面钝化膜（9），晶硅PERC电池背面有背面激光开槽（5），背面激光开槽（5）中印刷有背银电极（1），晶硅PERC电池正面的N型发射极（7）和正面钝化膜（9）上有正面激光镂空槽（8），正面激光镂空槽（8）处有正面一次印刷银电极（10）和正面二次印刷银电极（11）。

正面激光镂空槽（8）为多条平行的虚实相间的槽线，其中，每条虚槽线与每条实槽线的长度比为1:1，相邻两条槽线的间距为一条实槽线的长度的1-1.5倍。

槽线宽度为120μm，每条虚线的长度为1mm。

正面一次印刷银电极（10）为多条平行的虚实相间的镂空银印刷线，其中，每条虚镂空银印刷线与每条实镂空银印刷线的长度比为1:1，相邻两条镂空银印刷线的间距为相邻两条槽线的间距的1-1.1倍，每条实镂空银印刷线的长度小于每条实槽线的长度，每条实镂空银印刷线的宽度小于每条实槽线的。

正面二次印刷银电极（11）为多条平行的实线银印刷线，每条实线银印刷线印刷在一条镂空银印刷线上。

一种晶硅PERC电池结构的制备方法，按如下的步骤进行

步骤一、对基体P型硅进行双面制绒；

步骤二、制绒完成后在正面进行磷扩散，形成PN结，获得N型发射极（7）；

步骤三、在N型发射极（7）上进行正面激光开槽，开多条平行的虚实相间的槽线形成正面激光镂空槽（8）；

步骤四、进行双面去PSG然后进行背面抛光；

步骤五、进行双面钝化，制备正面钝化膜（9）和背面钝化膜（3）；

步骤六、在背面进行激光开槽，形成背面激光开槽（5）；

步骤七、在背面激光开槽（5）印刷银电极，并烘干，形成背银电极（1）；

步骤八、在背面印刷铝浆形成全铝背场或铝栅线（2）；

步骤九、在正面激光镂空槽（8）处印刷镂空银印刷线，形成正面一次印刷银电极（10），并烘干；

步骤十、在正面一次印刷银电极（10）上印刷实线银印刷线，形成正面二次印刷银电极（11），然后烘干和烧结；

步骤十一、进行LID氢钝化处理。

正面一次印刷银电极（10）采用的银浆为对正面钝化膜（9）腐蚀性强的银浆，正面二次印刷银电极（11）采用的银浆为对正面钝化膜（9）非腐蚀性或弱腐蚀性的银浆。