[发明专利]一种真空玻璃高温排气封装设备及封装方法

权利要求书

1.一种真空玻璃高温排气封装设备，其包括真空室，其特征在于，所述真空室包括内室、套装于内室外层的外室，所述内室、外室内部均为真空状态，且所述内室的内部温度高于所述外室的内部温度，所述内室包括若干腔室，相邻两个所述腔室之间通过密封阀门分隔，所述腔室包括顺次连接的进口室、缓冲室、激活室、加热室、压封室、出口室，所述进口室、缓冲室、激活室、加热室的内部温度依次升高、真空度依次升高，所述压封室、出口室的内部温度依次降低、真空度依次降低。

2.根据权利要求1所述的一种真空玻璃高温排气封装设备，其特征在于，所述外室由金属板制成，所述金属板的板体内开有连通的通孔，向所述通孔内通入循环的冷却水；所述通孔呈蛇形迂回状布置于所述内室的外表面。

3.根据权利要求2所述的一种真空玻璃高温排气封装设备，其特征在于，所述进口室、出口室分别与高温气体管道连通。

4.根据权利要求3所述的一种真空玻璃高温排气封装设备，其特征在于，所述进口室内部的真空度为5E-1Pa，温度为200℃～230℃；所述缓冲室内部的真空度为5E-2Pa，温度为230℃～270℃；所述激活室内部的真空度为5E-3Pa，温度为270℃～300℃。

5.根据权利要求4所述的一种真空玻璃高温排气封装设备，其特征在于，所述加热室包括至少两个。

6.根据权利要求5所述的一种真空玻璃高温排气封装设备，其特征在于，所述加热室包括第一加热室、第二加热室、第三加热室；所述第一加热室、第二加热室、第三加热室均为真空加热室，所述第一加热室、第二加热室、第三加热室的温度依次升高，所述第一加热室内部的温度为300℃～340℃，所述第二加热室内部的温度为340℃～380℃，所述第三加热室内部的温度为380℃～420℃。

7.根据权利要求6所述的一种真空玻璃高温排气封装设备，其特征在于，所述出口室内部的真空度为3000Pa，温度为300℃。

8.一种真空玻璃高温排气封装方法，该方法应用了权利要求1或7所述的真空玻璃高温排气封装设备，其特征在于，该方法用于若干片玻璃基片的真空封装，封装前在相邻两个所述玻璃基片之间涂覆焊料、布放支撑物、吸气剂后合片，其特征在于，所述方法包括：

S1、向所述进口室连续供给合片后的所述玻璃基片，把大气环境的所述玻璃基片传输至低真空环境的进口室内；

S2、将所述玻璃基片由所述进口室传送至所述缓冲室内，将所述缓冲室的真空度抽至中真空状态，在中真空状态下继续加热所述玻璃基片，；

S3、将加热后的所述玻璃基片由所述缓冲室传送至所述激活室，在高真空条件下继续加热所述玻璃基片，激活是指激活真空玻璃内部的吸气剂，同时把中真空抽至高真空；

S4、将内部吸气剂激活后的所述玻璃基片传送至所述加热室，对所述玻璃基片继续加热；

S5、将加热至高温的所述玻璃基片由所述加热室传送至所述压封室，在所述压封室将所述玻璃基片的上片、下片压封在一起，并充入高温气体把压封室破空至1000Pa，在低真空条件下对所述玻璃基片进行二次大气压封；

S6、将压封后的所述玻璃基片由所述压封室传送至所述出口室，同时在出口室降温，降低真空度；

S7、将所述玻璃基片由所述出口室传送至大气环境降温炉内。