[发明专利]一种测温片校准方法

说明书

本发明公开了一种测温片校准方法，包括以下步骤：S1、对测温片进行外观检查，将热电偶标识准确贴在测温片上；S2、将测温片放入恒温箱内，使热电偶的参考端置于恒温箱外；S3、根据标志序号通过转换开关与测量仪器连接，关闭恒温箱，通电升温，将恒温箱的控温仪表按需求校准点设定温度值；S4、当恒温箱内温度达到标准温度后稳定一段时间开始读数。本发明采用人工校准的方式与恒温箱校准的方式结合，共同对测温片进行校准，提高校准效率的同时还能够提高校准的精度，保证对测温片的有效校准。

技术领域

本发明属于测温片校准技术领域，尤其涉及一种测温片校准方法。

背景技术

测温片，是一种采用硅片生产加工而成的片状结构体，其主要用途是在常规硅片半导体加热的过程中用来测试加热温度，而测温片在长时间的使用过程中容易出现测量不准确的情况，因此需要对测温片进行校准，传统的校准方式为人工校准，即操作者采用目检的方式对测温片的外观进行检查，这种检查方式无法对测温片进行有效的校准，效率低下的同时校准的精度较低，因此单纯的人工目检方式不宜应用在测温片的校准操作中。

发明内容

本发明克服了现有技术的不足，提供一种测温片校准方法，以解决现有技术中存在的问题。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种测温片校准方法，包括以下步骤：

S1、对测温片进行外观检查，将热电偶标识准确贴在测温片上；

S2、将测温片放入恒温箱内，使热电偶的参考端置于恒温箱外；

S3、根据标志序号通过转换开关与测量仪器连接，关闭恒温箱，通电升温，将恒温箱的控温仪表按需求校准点设定温度值；

S4、当恒温箱内温度达到标准温度后稳定一段时间开始读数。

本发明一个较佳实施例中，步骤S1中，采用目视以及手动检查的方式对测温片的外观进行检查。

本发明一个较佳实施例中，步骤S4中，当恒温箱内温度达到标准温度后，稳定30min后开始读数，每隔5min读取一次数据，取4次数据的平均值作为标准器和被检仪器的示值。

本发明一个较佳实施例中，步骤S4之后，采用如下公式对温度修正值进行计算：

ΔT＝T_B+d₁-T

式中：ΔT为被检测温片的温度修正值，℃；

T为被检测温片的算术平均值，℃；

T_B为标准器温度的算术平均值，℃；

d₁为标准器温度的修正值，℃。

本发明一个较佳实施例中，所述恒温箱所处的环境温度为15℃～25℃，所述恒温箱所处的相对湿度环境为40％～60％。

本发明一个较佳实施例中，所述恒温箱外无影响正常校准的外磁场，无强烈气流直接吹到所述恒温箱。

本发明解决了背景技术中存在的缺陷，本发明具备以下有益效果：

本发明采用人工校准的方式与恒温箱校准的方式结合，共同对测温片进行校准，提高校准效率的同时还能够提高校准的精度，保证对测温片的有效校准。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明优选实施例的流程图；

具体实施方式