[发明专利]一种电极可编辑的多层介电弹性体驱动器及其制作方法

权利要求书

1.一种电极可编辑的多层介电弹性体驱动器制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1，设定多层介电弹性体驱动器的电极层数；

设计电极形状，按照设计形状切割PET薄片，获得后续转印电极所需的掩模；

步骤2，以硅片为基底，在其表面上喷涂粘合剂，并使用旋涂机在表面旋涂一层PDMS薄膜；

步骤3，加热使PDMS固化，得到电极层；将电极层转印到覆盖PET掩模的PDMS膜表面，得到编辑后的电极；

其中，使用通过超声波震荡得到碳纳米管溶液，而后使用PTFE过滤膜过滤得到单壁碳纳米管电极层；通过对不同层电极的形状编辑，改变每层介电弹性体薄膜上下对应的电极面积，其中从下到上为半径依次递减的圆形电极；

步骤4，在步骤3得到的电极上层继续旋涂PDMS，然后返回执行步骤3，直至得到设定层数的多层介电弹性体驱动器；

步骤5，在N-甲基吡咯烷酮中浸泡去除硅片和所述驱动器之间的粘合剂，而后利用切刀整形，用C-PDMS包裹住电极部分并静置固化，导出电极，完成多层介电弹性体驱动器的制作。

2.如权利要求1所述的电极可编辑的多层介电弹性体驱动器制作方法，其特征在于，所述步骤5中，使用质量比为1：12的碳粉和PDMS配置成的导电橡胶C-PDMS。

3.如权利要求1所述的电极可编辑的多层介电弹性体驱动器制作方法，其特征在于，所述步骤1中，采用激光切割机按照设计形状切割PET薄片。

4.如权利要求1所述的电极可编辑的多层介电弹性体驱动器制作方法，其特征在于，所述步骤5中，用C-PDMS包裹住电极部分并静置固化12h。

5.一种电极可编辑的多层介电弹性体驱动器，其特征在于，采用如权利要求1-4任意一项所述制作方法得到；其中，多层介电弹性体驱动器为5层，上下两层为封装层，驱动器内电极为四层，其形状为圆形，且电极半径随堆叠层数逐层递减。