[发明专利]一种用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料及其制备方法

权利要求书

1.一种用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料，其特征在于，包括以下重量百分比的原料：

氧化镧 1%-1.2%、余量为二氧化钼。

2.一种用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料的制备方法，其特征在于，包括：

按照权利要求1所述的用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料的配方称取原料，备用；

将氧化镧置于温度为750~850℃的焙烧炉中进行高温焙烧处理1~2小时，并经过筛控制颗粒不大于120目，备用；

将焙烧处理后的氧化镧与部分二氧化钼进行均匀混合，并经过筛控制颗粒不大于120目，得混合粉；

将所述混合粉与剩余部分二氧化钼进行均匀混合，得钼镧合金粉；

将所述钼镧合金粉置于还原设备中进行还原处理，并经过筛控制颗粒不大于160目，以及均匀混合后，备用；

将还原处理后的钼镧合金粉进行等静压制处理，得钼镧压制品；

将所述钼镧压制品置于烧结炉采用阶梯式升温工艺进行烧结处理，得烧结制品；

将所述烧结制品依次进行热锻造处理、热轧制处理以及退火处理，即得。

3.根据权利要求2所述的用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料的制备方法，其特征在于，所述等静压制处理条件为：压制压力为1.5~2.5吨/cm²，保压时间为35~45分钟。

4.根据权利要求2所述的用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料的制备方法，其特征在于，所述阶梯式升温工艺为室温-800℃/2小时，在800℃-1000℃保温2小时，1000℃-1850℃/3.5小时，1850℃保温7小时。

5.根据权利要求2所述的用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料的制备方法，其特征在于，所述热锻造处理的开坯温度为1300℃-1350℃，开坯的第一次变形量为20-30％。

6.根据权利要求2所述的用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料的制备方法，其特征在于，所述热轧制处理的开坯温度为1300℃-1350℃，开坯的第一次变形量为10-30％。

7.根据权利要求2所述的用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料的制备方法，其特征在于，所述退火处理条件为：退火温度为900℃-1200℃，保温时间为2-4小时。

8.一种离化反应腔，其特征在于，所述离化反应腔是由权利要求1所述的用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料制备得到。

9.一种阴极盾，其特征在于，所述阴极盾是由权利要求1所述的用于离子注入机的阴极盾、离化反应腔材料制备得到。

10.一种离子注入机，其特征在于，所述离子注入机包括权利要求8所述的离化反应腔和/或权利要求9所述的阴极盾。