[发明专利]一种氮化铝籽晶粘贴剂及其制备方法及其使用方法在审
申请号: | 202110347374.0 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113072906A | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨化兴软控科技有限公司 |
主分类号: | C09J171/02 | 分类号: | C09J171/02;C09J11/04 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 赵君 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区哈工大沿海*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 籽晶 粘贴 及其 制备 方法 使用方法 | ||
1.一种氮化铝籽晶粘贴剂的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:
步骤1、按照重量份数分别称量75-85份的氮化铝粉料、10-20份的氧化铝粉料、40-60份的聚乙二醇、15-25份的无水乙醇、140-170份的蒸馏水,待用;
步骤2、将步骤1称量好的氮化铝粉料、氧化铝粉料混合均匀后,倒入称量好的聚乙二醇,使用玻璃棒搅拌10-15min,然后倒入称量好的无水乙醇,使用玻璃棒搅拌3-5min,得到第一混合物,待用;
步骤3、将步骤2得到的第一混合物中加入步骤1称量好的蒸馏水,在一定温度下进行磁力搅拌,搅拌结束后得到所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂。
2.根据权利要求所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的制备方法,其特征在于:步骤1中氮化铝粉料的重量份数为85份,氧化铝粉料的重量份数为15份,聚乙二醇的重量份数为50份,无水乙醇的重量份数为20份,蒸馏水的重量份数为150份。
3.根据权利要求1或2所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的制备方法,其特征在于:步骤1中氮化铝粉料的纯度级别是3N级,氧化铝粉料的纯度级别是3N级。
4.根据权利要求3所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的制备方法,其特征在于:步骤3中磁力搅拌转速为200-1000r/min,搅拌时间15-30min,搅拌温度为50-65℃。
5.根据权利要求4所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的制备方法,其特征在于:步骤3中磁力搅拌转速为1000r/min,搅拌时间20min,搅拌温度为60℃。
6.一种权利要求1-5之一所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的制备方法制备的一种氮化铝籽晶粘贴剂,其特征在于:所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂为分散均匀的悬浊液。
7.一种权利要求6所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的使用方法,其特征在于:包括如下步骤:
步骤a、将碳化完全的碳化钽片、氮化铝晶片放入超声清洗器的水浴锅内,倒入无水乙醇将其浸没,超声清洗20-30min;
步骤b、取出步骤a超声清洗后的碳化钽片、氮化铝晶片用无尘布擦拭干净,待用;
步骤c、将一种氮化铝籽晶粘贴剂均匀涂在步骤b处理后的碳化钽片上,所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的涂抹厚度≦0.5mm,待用;
步骤d、将步骤b处理后的氮化铝晶片的非长晶面贴在具有一种氮化铝籽晶粘贴剂的碳化钽片上,轻轻按压氮化铝晶片将氮化铝晶片和碳化钽片压紧,使用刮刀刮净氮化铝晶片边缘挤出来的残余粘结剂,得到碳化钽片整体;
步骤e、将步骤d得到的碳化钽片整体放入烘箱中,在180℃下烘干12-15h,取出后用于氮化铝晶体生长。
8.根据权利要求7所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的使用方法,其特征在于:步骤c中所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的涂抹厚度为0.4mm。
9.根据权利要求7所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的使用方法,其特征在于:步骤c中所述的一种氮化铝籽晶粘贴剂的涂抹厚度为0.3mm。
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