[发明专利]石墨舟片及石墨舟

权利要求书

1.一种石墨舟片，设有硅片覆盖区，其特征在于：所述硅片覆盖区设有多个长条形通孔，所述通孔的宽度≤16mm。

2.根据权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于：多个所述通孔相互平行。

3.根据权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于：所述石墨舟片的正反面还设有从所述通孔末端向外侧延伸的导气凹槽。

4.根据权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于：所述石墨舟片的正反面还设有方形凹槽，所述通孔位于所述方形凹槽所在区域。

5.根据权利要求4所述的石墨舟片，其特征在于：所述石墨舟片还设有自所述方形凹槽向外侧延伸的导气凹槽。

6.根据权利要求4或5所述的石墨舟片，其特征在于：所述方形凹槽的深度为0.3-1.0mm。

7.根据权利要求6所述的石墨舟片，其特征在于：所述导气凹槽和所述方形凹槽的深度相同。

8.根据权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于：所述通孔1方向与所述石墨舟片底边夹角为3°。

9.根据权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于：所述通孔和卡点的距离≥15mm。

10.一种石墨舟，其包括内片和外片，所述内片采用权利要求1-9中其中一项所述的石墨舟片，所述石墨舟片的边长≤230mm。