[发明专利]显示面板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110331143.0 申请日: 2021-03-25
公开(公告)号: CN113097265A 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 徐乾坤 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 徐世俊
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种显示面板,定义有显示区以及非显示区,其特征在于,所述显示面板包括:

基板;

薄膜晶体管层,设于所述基板上且对应所述显示区;

垫高层,设于所述基板上且对应所述非显示区;

层间绝缘层,设于所述垫高层上,具有一第一凹槽;

隔断层,设于所述层间绝缘层上且填充所述第一凹槽,所述隔断层远离所述垫高层的一侧具有第一倒锐角区域;

OLED器件,设于所述薄膜晶体管层上以及所述隔断层上,且所述OLED器件被所述隔断层隔断,部分所述OLED器件设于所述显示区与所述非显示区之间;以及

阴极,设于所述OLED器件上,并且连接所述非显示区的辅助阴极。

2.如权利要求1所述的显示面板,其特征在于,

所述垫高层包括:

第一垫高块,设于所述基板上;

第二垫高块,设于所述第一垫高块上;以及

第三垫高块,设于所述第二垫高块上。

3.如权利要求2所述的显示面板,其特征在于,

所述隔断层具有对应所述第一凹槽的第二凹槽;

所述显示面板还包括:

保护层,设于所述垫高层上且填充所述第二凹槽,所述保护层具有对应所述第二凹槽的第三凹槽;以及

第一平坦层,设于所述保护层与所述OLED器件之间且填充所述第三凹槽。

4.如权利要求3所述的显示面板,其特征在于,

所述保护层远离所述隔断层的一侧具有第二倒锐角区域。

5.如权利要求2所述的显示面板,其特征在于,

所述隔断层与所述第三垫高块为所述辅助阴极;

所述隔断层与所述第三垫高块为金属导电材料。

6.如权利要求3所述的显示面板,其特征在于,

所述薄膜晶体管层包括:

遮光层,设于所述基板上;

缓冲层,设于所述遮光层以及所述基板上;

半导体层,设于所述缓冲层上;

栅极绝缘层,设于所述半导体层上;

栅极层,设于所述栅极绝缘层上;

所述层间绝缘层延伸至所述显示区且设于所述缓冲层上,所述显示区的层间绝缘层覆盖所述半导体层以及所述栅极层;

源漏电极层,设于所述层间绝缘层上;

钝化层,设于所述层间绝缘层上且覆盖所述源漏电极层;以及

平坦化层,设于所述钝化层上。

7.如权利要求6所述的显示面板,其特征在于,

所述第一垫高块与所述遮光层同层设置,所述第一垫高块与所述遮光层的材料相同;和/或,

所述第二垫高块与所述栅极绝缘层同层设置,所述第二垫高块与所述栅极绝缘层的材料相同;和/或,

所述第三垫高块与所述栅极层同层设置,所述第三垫高块与所述栅极层的材料相同。

8.如权利要求6所述的显示面板,其特征在于,

所述第一平坦层与所述平坦化层同层设置,所述第一平坦层与所述平坦化层材料相同;和/或,

所述钝化层与所述保护层同层设置,所述钝化层与所述保护层材料相同;和/或,

所述隔断层与所述源漏电极层同层设置,所述隔断层与所述源漏电极层的材料相同。

9.如权利要求6所述的显示面板,其特征在于,

所述缓冲层向所述非显示区延伸并覆盖所述第一垫高块,所述非显示区的缓冲层设于所述第一垫高块与所述第二垫高块之间。

10.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

提供一基板,其定义有显示区与非显示区;

通过同一光罩在所述基板上形成遮光层与第一垫高块;

形成一缓冲层于所述基板、所述遮光层与所述第一垫高块上;

形成一半导体层于所述显示区的缓冲层上;

先沉积一绝缘材料于所述缓冲层以及所述半导体层上,再沉积一第一金属材料于所述绝缘材料上,并通过同一光罩形成栅极与第三垫高块;最后以所述栅极与所述第三垫高块为图案,刻蚀所述绝缘材料形成所述栅极绝缘层与所述第二垫高块;

形成层间绝缘层于所述缓冲层、所述栅极与所述第三垫高块上,在所述层间绝缘层上开设对应所述第三垫高块的第一凹槽,所述第一凹槽下凹至所述第三垫高块的上表面;

沉积一第二金属材料于层间绝缘层上,并通过同一光罩形成源漏电极层与隔断层,所述隔断层填充所述第一凹槽,所述隔断层远离所述第三垫高块的一侧具有第一倒锐角区域。

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