[发明专利]一种电子级氢氟酸的生产方法

权利要求书

1.一种电子级氢氟酸的生产装置，包括第一罐体（1）、第二罐体（2）、第三罐体（3）、盖板（5）和进料管（6），其特征在于：所述第一罐体（1）的底部固定连接有第二罐体（2），所述第二罐体（2）的顶部密封状态，所述第二罐体（2）的底部固定连接有第三罐体（3），所述第一罐体（1）的顶部固定连接有盖板（5），所述盖板（5）的顶部固定连接有用于进料和出气的进料管（6），所述盖板（5）的顶部固定连接有用于第一罐体（1）恒温的恒温结构（7）和用于冷凝的冷凝机构（8），所述恒温结构（7）包括驱动电机（701）、第一锥齿轮（702）、上密封轴承（703）、第二锥齿轮（704）、进气管（705）、电动热风机（706）、第一出气管（707）、隔板（708）、中空转轴（709）、U形搅拌管（710）、下密封轴承（711）和横孔（712），所述驱动电机（701）的输出端固定连接有第一锥齿轮（702），所述中空转轴（709）的上端固定连接有第二锥齿轮（704），且第二锥齿轮（704）与第一锥齿轮（702）啮合连接，所述中空转轴（709）的顶部固定连接有上密封轴承（703），所述上密封轴承（703）的内环顶部固定连接有进气管（705），所述进气管（705）的输出端与电动热风机（706）的输出端固定连接，所述电动热风机（706）的输入端固定连接有第一出气管（707），所述第一出气管（707）的顶部固定连接有下密封轴承（711），所述下密封轴承（711）的外环顶部与中空转轴（709）的底部固定连接，所述中空转轴（709）的外壁均匀开设有横孔（712），所述中空转轴（709）在横孔（712）处固定连接有U形搅拌管（710），所述中空转轴（709）在U形搅拌管（710）里端之间固定连接有隔板（708）；

所述冷凝机构（8）包括第二出气管（801）、出水管（802）、冷凝箱（803）、安装环（804）、第二出液管（805）、进水管（806）和环形喷水管（807），所述安装环（804）的安装孔内固定安装有冷凝箱（803），所述冷凝箱（803）的顶部固定连接有出水管（802）和第二出气管（801），所述冷凝箱（803）的底部固定连接有进水管（806），所述第二出气管（801）的顶部固定安装在盖板（5）的顶部，所述第二出气管（801）的底部固定连接有螺纹冷凝管（808），且螺纹冷凝管（808）固定安装在冷凝箱（803）内，所述螺纹冷凝管（808）的底部通过管道连接有环形喷水管（807），且环形喷水管（807）固定安装在第三罐体（3）底部；

所述第二罐体（2）的连接有高纯水添加结构（9），所述高纯水添加结构（9）包括高纯水进管（901）、液体泵（902）、高纯水进管（903）和涡旋喷管（904），所述液体泵（902）的输入端固定连接有高纯水进管（903），所述液体泵（902）的输出端固定连接有高纯水进管（901），所述高纯水进管（901）的里端贯穿第二罐体（2）后用于高纯水喷洒的涡旋喷管（904）；

所述第三罐体（3）的底部连接有过滤结构（4），所述过滤结构（4）包括第一出液管（401）、过滤箱（402）、盖板（403）、排液管（404）、电动推杆（405）、超滤网（406）、刮板（407）和限位块（408），所述第一出液管（401）的里端固定连接有过滤箱（402），所述过滤箱（402）的内底部固定连接有限位块（408），所述限位块（408）内插接有用于过滤的限位块（408），所述过滤箱（402）的顶部连接有盖板（403），所述盖板（403）的顶部固定安装有电动推杆（405），所述电动推杆（405）的输出端固定连接有用于超滤网（406）后侧壁刮动的刮板（407），所述过滤箱（402）固定连接有排液管（404）；

采用所述生产装置生产电子级氢氟酸的方法，步骤如下：

步骤一、将无水氟化氢注入无水氟化氢储罐，将高锰酸钾溶液内进行化学预处理，预处理时间为6-8h，精制塔温度为26-30℃、压力为0.08-0.12MPa ，得到一级混合液；其中，所述电子级氢氟酸的原料是无水氟化氢、高锰酸钾溶液和高纯水，高锰酸钾溶液质量百分比浓度为2-5%，高锰酸钾溶液用量为无水氟化氢质量的0.028-0.033％,高锰酸钾溶液和高纯水的投入重量比为1:1；

步骤二、通过流量计将一级混合液定量送入精制塔，精制塔塔身的温度为18.5-19.5℃，塔顶温度为17.5-19℃，塔釜压力为0.08- 0.12MPa ，塔顶压力为0.04-0.06MPa ，经精制塔提纯后的氢氟酸进入吸收塔，吸收塔温度为50-60℃，塔顶温度为45-55℃，塔釜压力为0.1-0.14MPa ，塔顶压力为0.03-0.08MPa ，吸收塔顶部的气体冷凝后形成液相物料，液相物料和高纯水配制成电子级氢氟酸，脱气塔顶和精馏塔顶的气体进入尾气吸收槽制成工业级有水氟化氢，尾气经五级吸收后排放。