[发明专利]入射光束的角度调节装置和反射器件的制造方法

权利要求书

1.一种入射光束的角度调节装置，其特征在于，所述入射光束的角度调节装置包括：

光源，所述光源用于发射入射光束；

反射器件，所述反射器件的反射面具有多个方向不同的法线，所述反射器件位于所述光源的照射光路上，所述反射器件包括多个相互拼接的反射单元，多个反射单元的法线方向互不平行，其中，每个反射单元反射入射光束以得到不同反射角度的反射光束；

驱动组件，所述驱动组件可带动所述反射器件或/和所述光源在至少一个方向上直线移动。

2.如权利要求1所述的入射光束的角度调节装置，其特征在于，所述入射光束的照射面积小于所述反射单元的反射面积。

3.如权利要求1所述的入射光束的角度调节装置，其特征在于，所述反射单元为金属反射单元或多层膜反射单元。

4.如权利要求1所述的入射光束的角度调节装置，其特征在于，所述光源沿第一方向发射所述入射光束，所述反射器件的反射面的不同法线形成法线阵列，所述法线阵列与所述第一方向对应。

5.如权利要求1所述的入射光束的角度调节装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

第一驱动器，所述第一驱动器可带动所述反射器件或光源在第二方向移动；

第二驱动器，所述第二驱动器可带动所述反射器件或所述光源在第三方向移动，所述第三方向垂直于所述第二方向。

6.如权利要求5所述的入射光束的角度调节装置，其特征在于，所述光源沿第四方向发射所述入射光束，所述第四方向分别垂直于所述第二方向和所述第三方向。

7.如权利要求1所述的入射光束的角度调节装置，其特征在于，所述入射光束的角度调节装置还包括：

刻度尺，所述刻度尺沿所述反射器件或/和所述光源的移动方向设置，所述刻度尺上设置有数字标识，所述数字标识与所述入射光束在所述反射器件上的反射角度对应。

8.一种反射器件的制造方法，其特征在于，所述反射器件的制造方法包括如下步骤：

获取入射光束的直线方程；

获取所述入射光束在反射单元上反射后形成的反射光束的直线方程；

根据所述入射光束的直线方程和所述反射光束的直线方程确定所述反射单元的法线方程；

根据所述法线方程确定所述反射单元的法线方向；

将所述法线方向不同的多个所述反射单元拼接为反射器件。

9.如权利要求8所述的反射器件的制造方法，其特征在于，所述获取所述入射光束在反射单元上反射后形成的反射光束的直线方程的步骤包括：

获取所述入射光束在所述反射单元上的反射位置信息；

获取所述反射单元的反射位置与待测光学系统的距离；

根据所述距离确定所述反射光束在所述待测光学系统上的投射位置信息；

根据所述投射位置信息以及所述反射位置信息确定所述反射光束的直线方程。