[实用新型]一种具有凹槽结构的阵列基板及显示面板

权利要求书

1.一种阵列基板，其包括基底和位于基底上的薄膜晶体管，其特征在于，在基底上设有凹槽结构，所述凹槽结构具有倾斜的内凹的侧壁，所述凹槽结构的侧壁与基底具有一夹角β，其中β具有大于0°小于45°的角度范围；在凹槽结构的底面和侧壁覆盖有一层挡光层；在所述挡光层上设置有沟道区和位于所述沟道区两侧的源/漏区，其中所述沟道区和所述源/漏区设置于所述凹槽内；在所述沟道区上形成有栅介质膜；在所述栅介质膜上形成栅电极；在所述栅介质膜以及所述栅电极上覆盖有第二层间绝缘膜；在所述第二层间绝缘膜上设置有源漏金属，所述源漏金属通过所述第二层间绝缘膜上的通孔与所述源/漏区形成电连接。

2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述凹槽结构通过激光刻蚀形成。

3.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，在所述挡光层与所述栅介质膜之间还形成有第一层间绝缘膜，挡光层、第一层间绝缘层和基底的材料选择为使得挡光层的折射系数小于基底的折射系数且大于第一层间绝缘层的折射系数。

4.根据权利要求1或3所述的阵列基板，其特征在于，所述夹角β为15°～30°。

5.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第一层间绝缘膜至少全部覆盖所述挡光层。

6.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述栅介质膜整体覆盖于所述凹槽、所述源/漏区、所述沟道区以及所述基底的表面。

7.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述凹槽结构的深度为1μm-5μm，宽度为10-50μm。

8.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述挡光层的厚度为20nm-1000nm。

9.一种显示面板，其特征在于，包括权利要求1-7中任一项所述的阵列基板。