[发明专利]一种TiO2

权利要求书

1.一种TiO₂/PS胶体光子晶体的制备方法，包括以下步骤：

步骤1：将PS微球于醇溶剂中超声震荡分散，形成PS微球悬浮液，微流注射PS微球悬浮液至气液面，形成单层PS微球膜；

步骤2：将单层PS微球膜转移至目标基片上作为反应离子刻蚀掩膜板，反应离子刻蚀条件为以O₂为反应气体，刻蚀射频功率为15W，氧气流量为30sccm，反应室压强为2Pa，反应离子刻蚀时间为1min；

步骤3：将刻蚀后的PS掩膜板放入交流反应磁控溅射装置的反应气室中，反应气室抽真空，待TiO₂膜厚达到目标厚度，停止工作，即得TiO₂/PS胶体光子晶体；

所述步骤3得到的TiO₂/PS胶体光子晶体，其包括PS单层微球膜和沉积于其上表面的TiO₂薄膜，所述PS单层微球膜中微球直径为670nm，所述TiO₂薄膜厚度为60nm，所述TiO₂/PS胶体光子晶体呈周期性六角球壳阵列排布。

2.如权利要求1所述的TiO₂/PS胶体光子晶体的制备方法，其特征在于，所述步骤3中反应气室氧化过程中氩氧比为13:1，溅射功率为260W。

3.一种权利要求1或2所述的方法制备的TiO₂/PS胶体光子晶体。

4.权利要求3所述的TiO₂/PS胶体光子晶体在湿度传感器中的应用，其特征在于，包括基于TiO₂/PS胶体光子晶体的光学湿度传感器，光纤耦合器，白光光源和光谱仪组成的湿度传感测量系统，以TiO₂/PS胶体光子晶体波长偏移位置与相对湿度进行拟合进行湿度检测；

所述光学湿度传感器的检测相对湿度范围为11%~85%，灵敏度为0.247nm/RH。

5.如权利要求4所述的TiO₂/PS胶体光子晶体在湿度传感器中的应用，其特征在于，所述光学湿度传感器的检测波长偏移位置为800~820nm。