[实用新型]一种基板层偏对位测试条

说明书

本实用新型公开了一种基板层偏对位测试条，属于基板检测技术领域。其包括起始线、超规格判定线、终止线、若干个基板层偏对位测试单元，所述起始线、终止线均与超规格判定线平行设置，所述基板层偏对位测试单元数个在X方向排成一列整齐设置在起始线与终止线之间，且等宽等间距分布，所述基板层偏对位测试单元头部设置基板层偏对位判定标志，所述基板层偏对位判定标志与终止线对齐，且止于所述终止线之内，所述起始线与超规格判定线间距限定超规格判定线长度C，其Y方向的长度沿X方向呈等差递减设置。本实用新型可用肉眼直接判定偏移情况，且确定偏移量，效率快。

技术领域

本实用新型涉及一种基板层偏对位测试条，属于基板检测技术领域。

背景技术

目前，IC 基板通常是由两层以及两层以上的金属层和树脂材料压合而成，且以多层设计为主。随着高密度IC载板的发展，层偏管控要求越来越高。传统的层偏量测手法是通过x-section判定的方式实际去量测上下层之间的实际线路偏差，如图1和图2所示，其中图1表示无层偏 ；图2表示有层偏，其层偏量为△X 。此种量测手法需要专业的切片机和量测设备，不仅耗时长而且无法测量整体偏移情况。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种能快速判断基板各层之间的相对层偏以及整体偏移情况的基板层偏对位测试条。

本实用新型的目的实现方式：

本实用新型提供了一种基板层偏对位测试条，其包括起始线、超规格判定线、终止线、若干个基板层偏对位测试单元，所述起始线、终止线均与超规格判定线平行设置，所述基板层偏对位测试单元数个在X方向排成一列整齐设置在起始线与终止线之间，且等宽等间距分布，所述基板层偏对位测试单元头部设置基板层偏对位判定标志，所述基板层偏对位判定标志与终止线对齐，且止于所述终止线之内，所述起始线与超规格判定线间距限定超规格判定线长度C，其Y方向的长度沿X方向呈等差递减设置。

可选地，所述基板层偏对位判定标志呈U形、锯齿形、弧形或阶梯形。

可选地，所述基板层偏对位判定标志为等间距锯齿。

可选地，所述基板层偏对位判定标志为不等间距锯齿。

有益效果

（1）本实用新型设计的基板层偏对位测试条结构简单，可以根据实际需要调整结构参数，制作工艺简洁；

（2）本实用新型基板层偏对位测试条的判定方法可以从侧面通过肉眼直接判定整体偏移情况和每层具体的偏移量情况，无需专业的切片机和量测设备，提高了判断效率，实用性强。

附图说明

图1和图2为传统层偏量测手法的示意图；

图3至图6为本实用新型一种基板层偏对位测试条的结构及其局部放大的示意图；

图7为本实用新型一种基板层偏对位测试条的使用方法的示意图；

图8至图13为图7的基板层偏对位测试条的监测方法判定的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。为了易于说明，可以使用空间相对术语(诸如“在…下方”、“之下”、“下部”、“在…上方”、“上部”等)以描述图中所示一个元件或部件与另一个元件或部件的关系。除图中所示的定向之外，空间相对术语还包括使用或操作中设备的不同定向。装置可以以其他方式定向（旋转90度或处于其他定向），本文所使用的空间相对描述可因此进行类似的解释。

实施例

本实用新型一种基板层偏对位测试条，如图3至图6所示，其中，图3为本实用新型一种基板层偏对位测试条的结构的示意图，图4至图6为其局部放大的示意图。