[发明专利]一种酸性抛光液及其在获得超光滑表面的YAG系列材料中的应用

说明书

本发明公开了一种酸性抛光液及其在获得超光滑表面的YAG系列材料中的应用，该酸性抛光液的配制包括以下步骤：将浓硫酸、冰乙酸、重铬酸铵、磷酸和水按照质量比为1：1：1：0.8‑1.2：50混合，使用时加水稀释至pH为3‑5，使用该酸性抛光液对YAG系列材料的表面进行抛光，可以获得超光滑表面的YAG系列材料。

技术领域

本发明涉及晶体抛光技术领域，且特别涉及一种酸性抛光液及其在获得超光滑表面的YAG系列材料中的应用。

背景技术

大尺寸YAG激光晶体作为高功率激光系统中的最重要的光学元件，既具有高功率密度运行要求又有高光束质量要求，因此在大尺寸YAG晶体表面获得超光滑表面是实现高功率激光系统的必要条件。

为了获得超光滑表面，近几十年国内外研究者针对不同的抛光方法在熔石英表面进行了大量的研究，但在YAG晶体表面获得超光滑表面的研究基本为空白。此外，各类新型抛光方法普遍存在工艺复杂，加工成本高昂，抛光效率低下等问题无法被大量采用的问题。

传统的加工方式存在的以下两方面问题：

(1)传统加工方法因元件表面直接与传统抛光盘接触(聚氨酯抛光模和柏油抛光模)，抛光过程由于摩擦大，加工的元件表面存在粗糙度大，亚表面损伤层深的问题；

(2)传统加工方法的上盘方式为直接粘接上盘，因存在较大的粘接拉力导致大平面元件平面变形严重问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种酸性抛光液及其在获得超光滑表面的YAG系列材料中的应用，克服了现有的辅助化学刻蚀和离子束抛光等非接触式抛光技术存在工艺复杂，抛光效率低下，抛光成本昂贵的问题，而提供一种酸性抛光液及其在获得超光滑表面的YAG系列材料中的应用。

本发明解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。

本发明提供一种酸性抛光液，酸性抛光液用于YAG系列材料的表面抛光，通过以下方法制得：将浓硫酸、冰乙酸、重铬酸铵、磷酸和水按照质量比为1：1：1：0.8-1.2：50混合。

本发明提供一种获得超光滑表面的YAG系列材料的方法，包括：使用上述的酸性抛光液对YAG系列材料进行抛光，

优选的，YAG系列材料选自YAG晶体或YAG晶体板条，

更优选的，抛光使YAG晶体表面的粗糙度控制在0.3nm以内，

更优选的，抛光使YAG晶体板条大面上的粗糙度控制在0.3nm以内，且平面度控制在0.5μm以内。

本发明的有益效果是：本发明提供了一种酸性抛光液及其在获得超光滑表面的YAG系列材料中的应用，该酸性抛光液是根据YAG系列材料的性质配制成的一种酸性抛光液，在克服不加入抗蚀剂而降低抛光液的稳定性的缺陷的基础上，采用的组分配制的酸性抛光液除了有腐蚀晶体表面损伤层提高抛光效率的作用外，该抛光液还具有较好的润滑和散热作用，可以进一步提升晶体表面光滑度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明对比例1中的粗糙度测试曲线图；

图2为本发明实施例2中的粗糙度测试曲线图；

图3为本发明实施例3中的粗糙度测试曲线图；

图4为本发明实施例3中的粗糙度测试曲线图；

图5为本发明实施例4中的粗糙度测试曲线图；