[实用新型]光栅弯曲装置及其弯曲光栅系统

权利要求书

1.一种光栅弯曲装置，其特征在于，包括支架、用于夹持光栅的夹持机构，所述夹持机构通过弯曲调节机构固定在支架上；所述夹持机构包括成对设置并夹持光栅边缘的夹持件，成对的两个所述夹持件相对设置且二者对光栅作用力的中心同在通过光栅中心的一条直线上，所述弯曲调节机构驱动夹持件向光栅中心移动调整光栅的弯曲度。

2.根据权利要求1所述的光栅弯曲装置，其特征在于，所述夹持件设有用于夹持光栅边缘的卡槽；所述卡槽形状与光栅边缘形状配合。

3.根据权利要求1所述的光栅弯曲装置，其特征在于，所述弯曲调节机构包括顶压件，所述顶压件设置在夹持件后部；

所述顶压件与夹持件分离设置，所述顶压件顶压在所述夹持件后部；

或者所述顶压件与夹持件一体结构或者二者固定连接在一起；

或者所述顶压件与夹持件转动连接。

4.根据权利要求3所述的光栅弯曲装置，其特征在于，所述支架上设有穿过孔，所述顶压件穿装在所述穿过孔中，且所述顶压件与支架之间设有锁定件，将移动后的顶压件锁定在穿过孔中；

或者所述支架上设有螺孔，所述顶压件螺接在所述螺孔中；

或者所述顶压件为凸轮，并转动连接在支架上。

5.根据权利要求1所述的光栅弯曲装置，其特征在于，所述弯曲调节机构包括顶压件，所述顶压件与夹持件并列或套装在一起，所述顶压件固定在支架上，所述顶压件与夹持件之间设有用于锁定二者之间相互位置的定位件。

6.根据权利要求5所述的光栅弯曲装置，其特征在于，所述定位件为固定在顶压件前端或后端的抱闸，所述抱闸抱紧夹持件将其锁定，在外力作用下所述抱闸张开使得夹持件相对于顶压件移动来调整光栅弯曲度。

7.根据权利要求1所述的光栅弯曲装置，其特征在于，在弯曲调节机构的至少一侧设有导向机构。

8.根据权利要求7所述的光栅弯曲装置，其特征在于，所述导向机构包括导向件、导轨，所述导轨固定在支架上并与顶压件运动方向平行，所述导向件固定在夹持件侧面，且配合在导轨上运动。

9.一种弯曲光栅系统，其特征在于，包括光栅和权利要求1-8的光栅弯曲装置，所述光栅弯曲装置中的夹持件相对夹持在光栅两侧，并通过弯曲调节机构驱动夹持件向光栅中心移动调整光栅的弯曲度。

10.根据权利要求9所述的弯曲光栅系统，其特征在于，所述光栅为硅基平面光栅，所述光栅的硅基基底上蚀刻有高深宽比的槽，所述槽内填充有金属或合金；

或者所述光栅为薄层金属为基底的平面光栅。