[实用新型]清洁系统及清洁装置有效

专利信息
申请号: 201821609475.0 申请日: 2018-09-29
公开(公告)号: CN208976464U 公开(公告)日: 2019-06-14
发明(设计)人: 施杰 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: B08B13/00 分类号: B08B13/00;B25J11/00
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 清洁装置 清洁系统 机械手臂 清洁机构 转接机构 机器人 本实用新型 清洁方式 清洁
【说明书】:

实用新型涉及一种清洁系统及清洁装置,清洁系统包括清洁装置和机器人,机器人包括至少一机械手臂,清洁装置包括至少一转接机构以及一清洁机构,转接机构将清洁机构与机械手臂连接起来,通过控制机械手臂以使清洁装置的清洁机构对平台进行清洁,此清洁系统具有能持续且高效地清洁以及清洁方式可多样化的优点。

技术领域

本实用新型涉及清洁设备技术领域,尤其涉及一种清洁系统及清洁装置。

背景技术

液晶显示行业较多工序需使用到平台结构,即Stage结构,以为玻璃基板提供精准的水平放置条件,例如涂布机(Coater)需在平台上对玻璃基板进行均一涂布,预烘烤(Pre-bake,HP)设备需在平台上进行均匀加热。平台作为精准的平台结构,较易受掉落的杂质或其他异物的影响,例如,光阻涂布过程中平台上杂质形成的高度会影响玻璃基板表面涂布的光阻厚度,常见显示面板上出现为蝶状Mura(明暗不均的现象),故在维护保养中平台是需要重点清洁的部件。

现行平台结构需经常维护清洁,保证其洁净度避免出现产品不良。业内也主要采用人工擦拭清洁的方式,一方面清洁设备结构复杂,人工擦拭直接接触的同时能起到检查作用,能保证擦拭效果;另一方面考虑清洁设备成本未开发自动清洁功能。然而,人工擦拭清洁的方式存在以下两个方面的缺陷:(1)人工擦拭清洁较难避免人为带入的杂质掉落平台上,造成二次污染;(2)人力擦拭较为繁琐,人员需先进行全身清洁后才可进入设备,擦拭范围较小,擦拭效率低。

因此,有必要提出一种技术方案以解决由于无法对平台进行自动化清洁而存在的问题。

实用新型内容

鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种清洁系统,以解决由于无法对平台进行自动化清洁而存在的问题。

为实现上述目的,技术方案如下:

一种清洁系统,所述清洁系统包括清洁装置和机械人,所述机械人包括至少一机械手臂,所述清洁装置包括:

至少一转接机构,所述转接机构包括:

一锁紧套,所述锁紧套具有与所述机械手臂连接的一开口端,所述机械手臂插入所述锁紧套的开口端以与所述转接机构连接,

一连接杆,所述连接杆具有第一端部和第二端部,所述第一端部与所述锁紧套连接,以及,

一卡槽,所述卡槽与所述连接杆的第二端部连接;

一清洁机构,所述清洁机构与所述卡槽连接。

在上述清洁系统中,所述连接杆上设置有弹性部,所述弹性部位于所述第一端部和所述第二端部之间。

在上述清洁系统中,所述弹性部为弹簧或橡胶部件。

在上述清洁系统中,所述锁紧套靠近所述开口端的内壁上设置有环绕所述内壁的柔性内衬,所述柔性内衬位于所述锁紧套和所述机械手臂之间。

在上述清洁系统中,所述锁紧套具有四个侧壁,所述四个侧壁围合而成所述开口端,所述四个侧壁靠近所述开口端的一端互相不连接。

在上述清洁系统中,所述互相不连接的四个侧壁的一端通过紧固装置进行紧固。

在上述清洁系统中,所述紧固装置包括:卡箍,所述卡箍套在所述互相不连接的四个侧壁的一端;以及,与所述卡箍配合使用的螺杆和螺母。

在上述清洁系统中,所述清洁机构通过磁铁吸附的方式与所述卡槽连接。

在上述清洁系统中,所述卡槽的一侧设有凹陷区,所述凹陷区的表面上设置有至少两第一磁铁块;所述清洁机构上设置有与所述第一磁铁块一一对应地第二磁铁块。

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