[实用新型]一种硅烷和氨气处理系统

说明书

本实用新型公开了一种硅烷和氨气处理系统，包括车间延伸出来的尾气排放管和硅烷燃烧塔，还包括预燃烧处理的燃烧筒，燃烧筒上设有硅烷尾气进气口、出气口和压缩空气进气口，尾气排放管与硅烷尾气进气口连接，压缩空气进气口与压缩空气输送管连接，出气口与硅烷燃烧塔的尾气进口通过管路连接，硅烷燃烧塔中竖直设有隔板，通过隔板将塔内空腔分隔为第一腔体和第二腔体，第一腔体和第二腔体上部连通，第二腔体一侧的侧壁上开设有清理填料上的粉尘的清理口，清理口位于填料口附近。该硅烷和氨气处理系统尾气处理效果好且方便清理硅烷燃烧塔的填料。

技术领域：

本实用新型涉及光伏太阳能领域，具体讲是一种硅烷和氨气处理系统。

背景技术：

硅烷燃烧塔是光伏太阳能行业中常用设备，不锈钢硅烷燃烧塔的作用是处理PECVD尾气中的硅烷和氨气，它的工作原理是硅烷与输入的压缩空气和氮气接触而自燃或发生氧化反应，反应后生成大量的二氧化硅粉尘；氨气采用水吸收形成氨水，粉尘则由气流带至喷淋系统中并溶入水中，久而久之，然后定期从硅烷燃烧塔底部的排污口排出，燃烧净化后的尾气从硅烷燃烧塔经填料口由抽风机抽离硅烷燃烧塔，在实际运行中发现，燃烧净化后的空气仍存少量二氧化硅粉尘，这部分二氧化硅粉尘经一段时间积累后会堵塞填料，从而影响抽风机抽风，所以填料需定时清洗或更换，但现有结构的硅烷燃烧塔清理需要停机操作，操作人员从排污口进入硅烷燃烧塔内进行操作，因此会影响生产，造成损失，同时操作也不方便。

实用新型内容：

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种处理效果好且方便清理硅烷燃烧塔的填料的硅烷和氨气处理系统。

本实用新型的技术解决方案是，提供一种硅烷和氨气处理系统，包括车间延伸出来的尾气排放管和硅烷燃烧塔，还包括预燃烧处理的燃烧筒，燃烧筒上设有硅烷尾气进气口、出气口和压缩空气进气口，尾气排放管与硅烷尾气进气口连接，压缩空气进气口与压缩空气输送管连接，出气口与硅烷燃烧塔的尾气进口通过管路连接，硅烷燃烧塔中竖直设有隔板，通过隔板将塔内空腔分隔为第一腔体和第二腔体，第一腔体和第二腔体上部连通，第二腔体一侧的侧壁上开设有清理填料上的粉尘的清理口，清理口位于填料口附近。

采用以上结构后与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：在进入硅烷燃烧塔前先通过燃烧筒进行预燃烧处理，使大部分硅烷氧化燃烧后生成的二氧化硅粉尘沉淀在燃烧筒内，燃烧未充分的尾气继续排入硅烷燃烧塔中进行燃烧，使硅烷燃尽，同时其中的氨气溶于水中，定期通过排污口排出氨水和二氧化硅粉尘即可，同时，为了避免二氧化硅粉尘积聚在填料上影响吸风机抽风，在硅烷燃烧塔上开设清理口，方便不停机状态下清理积灰，另外，隔板的设置将特内空腔分隔为两个腔室，更有利于二氧化硅粉尘和氨气的处理。

作为优选，硅烷燃烧塔包括塔体，塔体底部蓄水形成水箱，塔体底部设有排污口，塔体上部设有喷淋装置。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式：

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明：

如图1所示，一种硅烷和氨气处理系统，包括车间延伸出来的尾气排放管1和硅烷燃烧塔2，还包括预燃烧处理的燃烧筒3，燃烧筒3上设有硅烷尾气进气口31、出气口32和压缩空气进气口，尾气排放管1与硅烷尾气进气口31密封连接，压缩空气进气口与压缩空气输送管连接，出气口32与硅烷燃烧塔的尾气进口通过管路连接，硅烷燃烧塔2中竖直设有隔板21，通过隔板21将塔内空腔分隔为第一腔体22和第二腔体23，第一腔体22和第二腔体23上部连通，第二腔体23一侧的侧壁上开设有清理填料上的粉尘的清理口24，清理口24位于填料口附近。清理口24处加装有盖板，可在清理口处焊接法兰盘，然后将盖板通过螺栓紧固在清理口上实现密封。本申请的创新点在于增加预处理的燃烧筒和在硅烷燃烧塔中设置隔板以及在塔体上开设清理口，清理口开设在液位上方靠近填料口附近，其他内容均为现有结构，如压缩空气输送管，车间尾气排放管等。