[实用新型]一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置

说明书

本实用新型提供一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，包括底板、自下而上依次设置在底板上方的楔形滑块和竖向滑块、与竖向滑块的端部滑动配合且与底板相连的竖向导轨、用于驱动楔形滑块水平运动的直线电机、与楔形滑块相连的光栅尺、设置在底板上的读数头以及用于平衡竖向滑块及负载重力的气缸或恒力弹簧；所述竖向滑块与楔形滑块之间以及楔形滑块与底板之间分别设有一交叉滚珠导轨。本实用新型能够将楔形滑块的水平运动转化为竖向滑块的竖向运动，并通过光栅尺与读数头确定竖向滑块竖向运动的距离，从而满足在竖直方向上移动到指定长度的需求。

技术领域

本实用新型涉及激光直写曝光机技术领域，具体涉及一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置。

背景技术

激光直写曝光机相对于传统曝光机，节省了制作菲林底片或光罩的工序，其产能高、对位精度高。激光直写曝光机在曝光之前，先要进行聚集Z轴基于曝光基板的最佳焦面的定位、CCD系统的对准作业后，才开始光路系统的曝光作业，Z轴在激光直写曝光机中是不可或缺的运动部件。但对于解决激光直写曝光机能曝光不同厚度的基板以及基板平面度问题带来的离焦问题，现有的Z轴还不能解决该问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，该装置能够有效解决激光直写曝光机能曝光不同厚度的基板以及基板平面度问题带来的离焦问题。

本实用新型的技术方案为：

一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，包括底板、自下而上依次设置在底板上方的楔形滑块和竖向滑块、与竖向滑块的端部滑动配合且与底板相连的竖向导轨、用于驱动楔形滑块水平运动的直线电机、与楔形滑块相连的光栅尺、设置在底板上的读数头以及用于平衡竖向滑块及负载重力的气缸或恒力弹簧；所述竖向滑块与楔形滑块之间以及楔形滑块与底板之间分别设有一交叉滚珠导轨。

所述的用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，所述竖向导轨包括垂直连接在底板上方的固定座、设置在固定座上的导轨本体以及设置在竖向滑块上且与导轨本体滑动配合的滑动部。

所述的用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，所述直线电机包括设置在底板上的线圈和与楔形滑块相连的磁铁。

所述的用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，所述气缸包括设置在底板上的气缸主体和与楔形滑块相连的气缸杆。

所述的用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，所述楔形滑块的顶面与底面的夹角为锐角。

本实用新型的有益效果为：

由以上技术方案可知，本实用新型能够有效解决激光直写曝光机能曝光不同厚度的基板以及基板平面度问题带来的离焦问题，将楔形滑块的水平运动转化为竖向滑块的竖向运动，并通过光栅尺与读数头确定竖向滑块竖向运动的距离，从而满足在竖直方向上移动到指定长度的需求。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的运动原理示意图；

其中，1-底板，2-直线电机，3-读数头，4-光栅尺，5-楔形滑块，6-交叉滚珠导轨，7-竖向滑块，8-竖向导轨，9-气缸。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步说明：