[发明专利]用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物

说明书

用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，其特征在于所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量10‑15％的盐酸(以HCl计)，重量百分比含量4％～8％的氢氟酸(以HF计)，重量百分比含量0.3～0.5％的氯化钾，重量百分比含量2～4％的平平加O‑20，质量百分比含量1～2％的聚乙二醇200单月桂酸酯及余量的水。

技术领域

本发明涉及用于TFT玻璃基板蚀刻组合物。

背景技术

为满足制作超薄TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)显示屏的要求，需要对现有规格玻璃基板进行薄化处理。当前普遍采用的氢氟酸对TFT玻璃基板进行蚀刻薄化，但一方面会产生局部缺陷，需要进行长时间的抛光处理，另一方面抛光的玻璃基板表面容易产生眩光。现有技术采用公开了一种薄化预处理剂，用于在薄化前对玻璃基板进行预处理以降低薄化后的表面缺陷，如中国专利2016112686783公开了用于液晶显示屏玻璃基板表面处理的组合物，其配方为以质量百分比含量8～12％的盐酸(HCl)，质量百分比含量3-5％的硝酸，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分含量0.1～0.2％的氯化钙，质量百分比含量1～2％的羟丙基甲基纤维素(HPMC)，质量百分比含量0.5～1％的结冷胶，及余量的水。中国专利文献CN2011102930815公开了一种防眩玻璃的蚀刻液，但在研究中发现，采用这种方式制得的防眩玻璃在仅能用于对TFT基板进行表面进行处理，无法直接用于薄化，尤其无法实现在薄化的同时即提高薄化后基板的表面质量，又能使玻璃基板表面产生适当的雾度从而产生防眩效果。因此提供一种用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，能够在玻璃基板进行薄化的同时，使表面产生合适的雾度从而实现防眩效果，成为现有技术中亟待解决的问题。

发明内容

为解决前述技术问题，本发明提供了用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，通过优选组合物的处方，并采用适当的薄化处理工艺，可以在对TFT玻璃基板的进行薄化的同时，实现对基板表面进行防眩减反射处理的效果。为解决前述技术问题本发明采用的技术方案为：

提供了用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，其特征在于所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量10-15％的盐酸(以HCl计)，重量百分比含量4％～8％的氢氟酸(以HF计)，、重量百分比含量0.3～0.5％的氯化钾，重量百分比含量2～4％的平平加O-20，质量百分比含量1～2％的聚乙二醇200单月桂酸酯及余量的水。

所述的用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，其特征在于所述组合物由以下组分组成：重量百分比含量10-15％的盐酸(以HCl计)，重量百分比含量6％～7％的氢氟酸(以HF计)，、重量百分比含量0.3～0.5％的氯化钾，重量百分比含量2～3％的平平加O-20，质量百分比含量1.5～2％的聚乙二醇200单月桂酸酯及余量的水。

所述用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物，其特征在于以如下方法配制，

1)将处方量盐酸与氢氟酸混合，并加入适量水稀释后，加入处方量的氯化钾溶解，

2)将处方量的平平加O-20和聚乙二醇200单月桂酸酯混合后加热至45～50℃；

3)将步骤1)得到的混合液加热至40～45℃后，在搅拌条件下将步骤2)的混合液缓缓加入步骤1)的混合液中。

现有技术中聚乙二醇200单月桂酸酯作为一种表面活性剂多用于水性涂料中的消泡剂，以及作为金属加工润滑剂等，平平加O-20作为一种脂肪醇聚氧乙烯醚是一种非离子表面活性剂，在研究中我们发现将聚乙二醇200单月桂酸酯(PEG200ML)和平平加O-20联合使用并将其与适量盐酸、氢氟酸及氯化钾混合后得到的用于TFT玻璃基板表面薄化的组合物在对TFT玻璃基板进行薄化处理后，可以提高薄化处理的质量，可以蚀刻时在玻璃基板表表面生产合适的雾度，从而实现防眩效果。在处方筛选时我们发现，只有选用的优选的组分并在适合的蚀刻温度下，与对TFT玻璃进行薄化处理才能产生较好的效果，改变蚀刻液处方或蚀刻温度均会对蚀刻质量产生不良影响。