[发明专利]X射线衍射测量中的测量结果的显示方法

说明书

目的是能够在视觉上明确且准确地识别德拜环的周向上的X射线信息与2θ角度位置的对应关系。本发明提供一种X射线衍射测量中的测量结果的显示方法，X射线衍射测量是向试样照射X射线并用X射线检测器检测由该试样衍射的X射线的测量，基于X射线检测器的输出数据，在坐标内，显示2θ－I分布图，从而形成一维衍射分布图，坐标在正交坐标轴的一个取2θ角度值，在正交坐标轴的另一个取X射线强度值；基于X射线检测器的输出数据，将由试样衍射的X射线在各2θ角度形成的多个德拜环的周向上的X射线强度数据在各2θ角度值以直线状显示，从而形成二维衍射图案；二维衍射图案和一维衍射分布图以两者的2θ角度值相互一致的方式排列显示。

技术领域

本发明涉及X射线衍射测量中的测量结果的显示方法，所述X射线衍射测量是向试样照射X射线并用X射线检测器检测由该试样衍射的X射线的测量。

背景技术

大部分固体物质都以结晶状态存在。处于结晶状态或处于结晶状态的物质一般被称作雏晶。大多固体物质是许多微细的结晶粒子聚集而形成的。许多结晶粒子聚集而形成的物质被称作多结晶体。

在X射线衍射测量中，存在粉末X射线衍射测量、薄膜测量、微小部测量、小角散射测量等的各种测量方法。例如，粉末X射线衍射测量是以粉末状的结晶或多结晶体为试样而进行的X射线衍射测量。

在粉末X射线衍射测量中，通过使用X射线衍射装置的测量，能得到试样的X射线衍射图案。该X射线衍射图案是每个晶相所固有的。通过分析该X射线衍射图案，能够鉴别试样中包含的晶相。这里，所谓晶相是试样中包含的物质为结晶状态的情况下的表示该物质的概念。

通常，如果试样中的结晶粒子的数量足够多并且晶格面的方向是随机的，则必定存在对于向试样入射的X射线拥有满足衍射条件的角度的晶格面。并且，由晶格面以衍射角度2θ衍射的X射线如图3所示，当2θ＜90°时沿着半顶角是2θ的圆锥的母线行进，在2θ＞90°时沿着半顶角是180°－2θ的圆锥的母线行进。即，由通过粉末状的结晶或多结晶体构成的试样衍射的X射线形成中心角不同的许多圆锥C。如果由X射线检测器10的X射线检测面在区域A0的范围中接受到这些X射线，则能得到由图7的二维衍射图案P2表示那样的同心圆状的衍射图样。这样的圆弧状的衍射图样被称作德拜－谢乐环（Debye－Scherrer ring）或德拜环（Debye ring）。

以往，在专利文献1（美国专利第7885383号说明书）中表示了X射线衍射测量。在专利文献1的图1中，表示了沿着与德拜环的2θ方向正交的周向（γ（伽马）方向）测量贡献于德拜环的形成的X射线的强度。

此外，在专利文献1的图4中，表示了将包含多个德拜环的二维衍射图案和γ－I分布图排列显示。γ－I分布图是在横轴取γ方向的角度值在纵轴取X射线强度值的坐标上表示的X射线强度分布。在专利文献1中表示了显示德拜环的周向的X射线强度数据，但是有其周向的X射线强度数据的显示没有被充分地有效利用的问题。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第7885383号说明书。

发明内容

发明要解决的课题

本发明是鉴于上述以往的问题点而做出的，目的是使得能够在视觉上明确且准确地识别德拜环的周向上的X射线信息与2θ角度位置的对应关系。

用于解决课题的手段

（本发明的前提技术）

在考虑到粉末X射线衍射测量的情况下，以往以来知道有使用粉末衍射数据的晶相鉴别。这里，所谓“粉末衍射数据”例如是由图7的附图标记P1表示那样的一维分布图。根据该一维分布图P1中的峰位置和强度（高度、积分强度）分析在试样中包含怎样的物质（结晶性物质）是使用粉末衍射图案的晶相鉴别。