[发明专利]工艺腔、工艺腔的加热控制方法及装置

权利要求书

1.一种工艺腔，其特征在于，包括：

加热部，位于所述工艺腔底部，包括：加热板；N个加热器件，位于所述加热板下方，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数；

测温部，位于所述工艺腔的侧壁上，用于测量所述加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度；

控制器，连接所述测温部和所述加热部，根据所述测温部测量出的N个感应温度，控制所述N个加热器件各自的加热功率。

2.根据权利要求1所述的工艺腔，其特征在于，所述测温部包括：

透光玻璃，位于所述工艺腔的侧壁上；

N个测温传感器，位于所述透光玻璃相对所述工艺腔侧壁的一侧，与所述控制器连接，通过所述透光玻璃分别测量所述N个加热区域的N个感应温度。

3.根据权利要求2所述的工艺腔，其特征在于，所述测温部还包括：

遮挡板，靠近所述透明玻璃相对于所述工艺腔侧壁的另一侧；

旋转杆，连接所述遮挡板，在所述工艺腔进行工艺期间旋转，使得所述遮挡板遮挡住所述透光玻璃，和/或，在所述工艺腔进行加热期间旋转使所述遮挡板不遮挡所述透光玻璃。

4.根据权利要求1所述的工艺腔，其特征在于，所述测温部还包括：

N个测温器件，位于所述加热板下方，分别设置在对应加热器件的预设距离处，连接所述控制器，将检测到的温度反馈给所述控制器。

5.根据权利要求2所述的工艺腔，其特征在于，所述测温传感器包括红外测温传感器和/或激光测温传感器。

6.一种工艺腔的加热控制方法，其特征在于，应用于权利要求1至5任一项所述的工艺腔，包括：

获取加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度；

根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围；其中，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

获取至少一个阶段温度设定值，所述阶段温度设定值小于所述目标温度范围；

所述根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围，包括：

根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，直至符合对应的目标温度范围；其中，在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述N个感应温度从当前温度达到下一个阶段温度设定值的过程中，确定任意两个感应温度之间的温差；

在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个感应温度的平均值。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个加热区域的感应温度的平均值加上预设温度值。

10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

获取每个阶段温度设定值对应的加热时间段；

所述根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，包括：

针对每个阶段温度设定值，在所述阶段温度设定值对应的加热时间段内，根据所述N个感应温度，控制N个加热器件的加热功率，使得所述N个加热区域的N个感应温度达到所述阶段温度设定值，直至所述阶段温度设定值对应的加热时间段结束。