[发明专利]成像光学系统、测定装置、形状测定装置、构造物制造系统、及构造物制造方法

说明书

成像光学系统(21)为物体面(P1)与像面(P2)相对于第1轴(25)朝向相互相反方向倾斜的成像光学系统，其中第1轴链接物体面(P1)的一点和与物体面的一点共轭的像面(P2)的一点，在相对于包含物体面的面与包含像面的面的交线而垂直的平面内，所述成像光学系统具备在平面内相对于第1轴而偏心的第1光学构件(51)。在歪斜的成像光学系统中，其可能抑制成像性能的降低。

本申请是申请号为201380008504.1的名称为“成像光学系统、测定装置、形状测定装置、构造物制造系统、及构造物制造方法”的发明专利申请的分案申请，原申请的申请日是2013年02月06日。

技术领域

本发明是关于一种成像光学系统、测定装置、形状测定装置、构造物制造系统及构造物制造方法。

背景技术

歪斜的成像光学系统是用于投影仪、摄影装置、具备摄影装置的聚焦装置、具备摄影装置的形状测定装置等(例如参照专利文献1)。例如，利用光切断法等的形状测定装置是借由摄影装置拍摄照射有照明光的被检物的表面，根据摄影结果而取得关于被检物的形状的信息。在形状测定装置中，观察(拍摄)照射有照明光的被检物的方向是以相对于照明光对被检物的照射方向形成峡角的方式设定。因此，形状测定装置中的摄影装置的成像光学系统例如作为如满足沙姆(scheimpflug)条件的歪斜的成像光学系统而构成。

[先前技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]美国专利公报第5,090,811号

发明内容

[发明所欲解决的问题]

如上所述的歪斜的成像光学系统中，成像光束自相对于像面非垂直的方向入射。因此，歪斜的成像光学系统中，成像光束中自物体面上的一点出射的光束在像面上的点的强度分布容易变成非轴对称，实质的成像性能有可能降低。结果，有可能存在如下情况：具备歪斜的光学系统的摄影装置的摄影性能降低，具备歪斜的光学系统的投影仪的显示性能降低，聚焦装置、形状测定装置等的测定精度降低等。

本发明是鉴于上述情况而完成，目的之一在于，在歪斜的成像光学系统中抑制成像性能的降低。又，本发明的目的之一在于，在具备歪斜的成像光学系统的摄影装置中抑制摄影性能的降低。又，本发明的目的之一在于，在具备摄影装置的测定装置中抑制测定精度的降低。又，本发明的目的之一在于，在构造物的制造中抑制形状的精度的降低。

[解决问题的技术手段]

根据第1实施例，提供一种成像光学系统，其是包含链接物体面的一点和与物体面的一点共轭的像的一点的第1轴，在相对于包含物体面的面与包含像面的面的交线而垂直的平面内，物体面与平面的交线及像面与平面的交线相对于第1轴朝相互相反方向倾斜者，具备在平面内相对于第1轴而偏心的第1光学构件。

根据第2实施例，提供一种成像光学系统，其是包含链接物体面的一点和与物体面的一点共轭的像面的一点的第1轴，在相对于包含物体面的面与包含像面的面的交线而垂直的平面内，物体面与平面的交线及像面与平面的交线相对于第1轴朝向相互相反方向倾斜，具备在平面内相对于第1轴而偏心的第1光学构件。

根据第3实施例，提供一种摄影装置，其具备第1实施例的成像光学系统、及配置于成像光学系统的像面的摄影元件。

根据第4实施例，提供一种形状测定装置，其具备：第3实施例的摄影装置，其拍摄被照明光照射的被检物；及形状信息取得部，其根据摄影装置的拍摄结果，取得关于被检物的形状的信息。

根据第5实施例，提供一种构造物制造系统，其具备：成形装置，其根据关于构造物的形状的设计信息而成形构造物；第4实施例的形状测定装置，其测定借由成形装置而成形的构造物的形状；及控制装置，其比较表示借由形状测定装置而测定的构造物的形状的形状信息与设计信息。