[发明专利]一种光束调相调向装置及其使用方法

权利要求书

1.一种光束调相调向装置，其特征在于：包括具有柱状通孔的功能内芯(1)和驱动内芯(2)；所述功能内芯(1)的左右两端分别设有透明的左盖片(5)和右盖片(6)，且功能芯片与两块盖片间的空间形成液体可调相调向的功能腔(3)，用于存储调相调向液体材料；所述功能腔(3)由调相腔(7)和调向腔(8)组成，放置第一液体(9)、第二液体(10)和第三导电液体(11)，三种导电液体互不相溶且折射率各异，第一液体(9)和第二液体(10)组合构成调相液柱，第二液体(10)和第三导电液体(11)组合构成调向液柱；调相腔(7)由非弹性材料制作而成；调向腔(8)由四块导电材料经绝缘粘胶粘结而成，导电材料分别为壁(8-1)、壁(8-2)、壁(8-3)、壁(8-4)，各内壁面设有绝缘介电层和疏水层，每块导电材料作为独立的控制电极，第三导电液体(11)为公共电极；

驱动内芯(2)设有具有弹性壁的驱动腔(4)，所述驱动腔两端设有开口并通过微流道与功能内芯(1)调相腔(7)连通，储存有第一液体(9)和第二液体(10)；驱动内芯(2)外侧设有粗调驱动装置(12)和细调驱动装置(13)。

2.根据权利要求1所述的光束调相调向装置，其特征在于：所述调相腔(7)中部内壁区域设有疏水层，第一液体(9)、第二液体(10)接触面为与内壁垂直的平面。

3.一种光束调相调向装置的使用方法，其特征在于：包括如下步骤，

步骤1，进行光束调相：

步骤1.1、在驱动芯片上左侧施加压力，驱动第一液体向左运动，使得第二液体通过微流道挤入调相腔内，进而使接触面向左移动；

步骤1.2、通过驱动芯片上的粗调驱动装置及细调驱动装置进行进一步驱动调节；

步骤1.3、根据计算从左至右传播的光束的相位差，最终完成调相；

步骤2，进行光束调向：

步骤2.1、对调向腔内的四块导电材料壁施加适当的电压，设置初始电压为0v，使液体接触面与四个壁的接触角均为90度，确保接触面为平面；

步骤2.2、提高壁(8-1)的控制电压，并同步同值降低壁(8-3)的控制电压，使壁(8-1)和壁(8-3)与液体的接触角始终保持互补，从而实现该平面一维可调；

步骤2.3、在上述接触面为平面的前提下，分别对称壁(8-2)和壁(8-4)的控制电压，进而实现该平面二维可调，并最终完成调向。