[发明专利]一种隔振平台

说明书

本申请属于隔振技术领域，具体涉及一种隔振平台。本申请所提供的隔振平台包括：依次接触连接的支架、基座和工作平台，工作平台背离基座的一侧用于放置精密仪器；支架和基座之间设有用于宏观隔振的气浮隔振装置，工作平台和基座之间设有用于微观隔振的多孔材料构件，多孔材料构件的厚度可调。与现有技术相比，本申请采用气浮隔振装置和多孔材料构件作为隔振元件，可同时实现宏观角度和微观角度的隔振控制，大大提高了隔振平台的隔振效果，具有隔振效果好、结构简单、操作容易和成本低廉等优点。

技术领域

本发明属于隔振技术领域，具体涉及一种隔振平台。

背景技术

随着精密测量仪器和精密加工制造设备的精度等级的提高，对一些关键零件的加工精度要求也越来越高。在电子光学、精密机械加工、生物科学、理化检测等技术领域中，设备本身的精度固然是至关重要的，但环境振动对加工工件精度及其表面质量的影响也不容忽视。环境振动不仅会引起机床本体振动，更重要的是会在切削刀具与被加工工件间产生相对振动位移，并将直接反映到被加工零件的精度和表面质量上。因此，为这些精密设备设置性能优异的隔振装置是十分必要的。

激光发生器是控制受激原子的光子释放方式的设备。在激光器中，激光介质须经过泵激使原子处于激发状态。一般来说，高强度闪光或者放电可以泵激介质，进而产生大量系法状态的原子。激光发生器在进行一些高精度实验的过程中容易受到外界环境因素的影响，特别是振动对激光实验的影响非常大。

目前，大多采用磁悬浮隔振平台加设在激光器的工作平台上，用于降低环境的振动因素对激光光束的影响。然而，这类隔振平台的结构设计比较复杂，需要专人控制，不易操作，成本较高；而且，这类隔振平台仅能进行宏观的隔振控制，对于一些比较细微的环境振动，其隔振效果较差。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种新型的隔振平台，其具体技术方案如下：

一种隔振平台，包括：依次接触连接的支架、基座和工作平台，所述工作平台背离所述基座的一侧用于放置精密仪器；所述支架和所述基座之间设有用于宏观隔振的气浮隔振装置，所述工作平台和所述基座之间设有用于微观隔振的多孔材料构件，所述多孔材料构件的厚度可调。

优选的，所述隔振平台还包括：气路系统，所述气路系统包括气管和气孔阀，所述气控阀连接气源；

所述气管连接所述多孔材料构件和/或所述气浮隔振装置。

优选的，所述工作平台上设有用于安装所述气管的气管通道。

优选的，所述工作平台与所述基座的接触面设有至少一个第一凹槽，所述多孔材料构件设于所述第一凹槽中。

更优选的，所述第一凹槽呈环形、条形、圆形或多边形。

优选的，所述工作平台与所述基座的接触面的中心设有凸起，所述基座上设有与之配合连接的第二凹槽。

优选的，所述工作平台上设有用于连接所述精密仪器的安装部。

与现有技术相比，本申请采用气浮隔振装置和多孔材料构件作为隔振元件，可同时实现宏观角度和微观角度的隔振控制，大大提高了隔振平台的隔振效果，具有隔振效果好、承载能力强、结构简单、加工方便和成本低廉等优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明优选实施例的隔振平台的主体结构示意图；

图2为本隔振平台部分结构的侧剖图。