[发明专利]一种隔振平台在审
申请号: | 201810230069.1 | 申请日: | 2018-03-20 |
公开(公告)号: | CN108386480A | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 陈新;魏棵榕;尹自强;刘强;张国根;林剑;张霞峰;郭亚文;游杰;周富林;孔德坤 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | F16F15/023 | 分类号: | F16F15/023 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;唐京桥 |
地址: | 510060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 隔振平台 多孔材料构件 工作平台 隔振效果 隔振装置 隔振 气浮 支架 申请 微观 隔振技术 隔振控制 隔振元件 厚度可调 接触连接 精密仪器 宏观 背离 | ||
1.一种隔振平台,其特征在于,包括:依次接触连接的支架、基座和工作平台,所述工作平台背离所述基座的一侧用于放置精密仪器;所述支架和所述基座之间设有用于宏观隔振的气浮隔振装置,所述工作平台和所述基座之间设有用于微观隔振的多孔材料构件,所述多孔材料构件的厚度可调。
2.根据权利要求1所述的隔振平台,其特征在于,还包括:气路系统,所述气路系统包括气管和气孔阀,所述气控阀连接气源;
所述气管连接所述多孔材料构件和/或所述气浮隔振装置。
3.根据权利要求1所述的隔振平台,其特征在于,所述工作平台上设有用于安装所述气管的气管通道。
4.根据权利要求1所述的隔振平台,其特征在于,所述工作平台与所述基座的接触面设有至少一个第一凹槽,所述多孔材料构件设于所述第一凹槽中。
5.根据权利要求4所述的隔振平台,其特征在于,所述第一凹槽呈环形、条形、圆形或多边形。
6.根据权利要求1所述的隔振平台,其特征在于,所述工作平台与所述基座的接触面的中心设有凸起,所述基座上设有与之配合连接的第二凹槽。
7.根据权利要求1所述的隔振平台,其特征在于,所述工作平台上设有用于连接所述精密仪器的安装部。
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