[发明专利]一种隔振平台在审

专利信息
申请号: 201810230069.1 申请日: 2018-03-20
公开(公告)号: CN108386480A 公开(公告)日: 2018-08-10
发明(设计)人: 陈新;魏棵榕;尹自强;刘强;张国根;林剑;张霞峰;郭亚文;游杰;周富林;孔德坤 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: F16F15/023 分类号: F16F15/023
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张春水;唐京桥
地址: 510060 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 隔振平台 多孔材料构件 工作平台 隔振效果 隔振装置 隔振 气浮 支架 申请 微观 隔振技术 隔振控制 隔振元件 厚度可调 接触连接 精密仪器 宏观 背离
【权利要求书】:

1.一种隔振平台,其特征在于,包括:依次接触连接的支架、基座和工作平台,所述工作平台背离所述基座的一侧用于放置精密仪器;所述支架和所述基座之间设有用于宏观隔振的气浮隔振装置,所述工作平台和所述基座之间设有用于微观隔振的多孔材料构件,所述多孔材料构件的厚度可调。

2.根据权利要求1所述的隔振平台,其特征在于,还包括:气路系统,所述气路系统包括气管和气孔阀,所述气控阀连接气源;

所述气管连接所述多孔材料构件和/或所述气浮隔振装置。

3.根据权利要求1所述的隔振平台,其特征在于,所述工作平台上设有用于安装所述气管的气管通道。

4.根据权利要求1所述的隔振平台,其特征在于,所述工作平台与所述基座的接触面设有至少一个第一凹槽,所述多孔材料构件设于所述第一凹槽中。

5.根据权利要求4所述的隔振平台,其特征在于,所述第一凹槽呈环形、条形、圆形或多边形。

6.根据权利要求1所述的隔振平台,其特征在于,所述工作平台与所述基座的接触面的中心设有凸起,所述基座上设有与之配合连接的第二凹槽。

7.根据权利要求1所述的隔振平台,其特征在于,所述工作平台上设有用于连接所述精密仪器的安装部。

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