[实用新型]全自动硅片清洗线

权利要求书

1.一种全自动硅片清洗线，其特征在于，包括：

插片段、清洗段、烘干段；其中

所述插片段适于将层叠硅片逐片插入花篮中，并将满载花篮送至清洗段进行清洗，且在清洗完毕后送至烘干段进行烘干。

2.根据权利要求1所述的全自动硅片清洗线，其特征在于，

所述插片段包括：至少一路硅片分片输送机构、硅片装载机构，花篮输送机构、空篮回转机构和待上料机构，且各机构均由控制模块控制；其中

所述硅片分片输送机构包括：用于放置层叠硅片的水槽、硅片负压吸取装置、硅片传输装置；

在工作时，通过水槽内的喷射水流使部分硅片上浮，启动硅片负压吸取装置吸取位于最上层的硅片，并通过硅片传输装置送入硅片装载机构内的空花篮中；

当花篮装载完毕后，由花篮输送机构将花篮送至待上料机构，同时通过空篮回转机构将一空篮送回，并通过花篮输送机构将空篮送至硅片装载机构。

3.根据权利要求2所述的全自动硅片清洗线，其特征在于，

所述水槽内设有一活动支架，该活动支架用于叠放硅片，并使层叠硅片调整至负压吸取装置的吸取位；以及

所述硅片传输装置上设有用于检测硅片是否完整的检测单元，所述硅片传输装置的后端为一翻转架，且该翻转架通过一升降气缸控制硅片传输装置的后端向下倾斜；

若检测单元检测到硅片不良时，所述控制模块通过升降气缸使硅片传输装置的后端向下倾斜，即不良硅片掉落。

4.根据权利要求3所述的全自动硅片清洗线，其特征在于，

所述硅片装载机构包括：花篮夹持机构、花篮丝杆升降机构；

所述硅片传输装置的后侧还设有带轮过度装置；

所述硅片传输装置适于将完整硅片通过带轮过度装置输送至花篮中；以及

在每片硅片送入花篮后，所述花篮丝杆升降机构均控制花篮提升一定高度。

5.根据权利要求4所述的全自动硅片清洗线，其特征在于，

所述待上料机构包括：用于放置花篮的L形支架，换向机构；所述L形支架通过一翻转气缸控制其倾倒；

所述换向机构适于将倾倒后的花篮顶升并旋转90°后横向排列。

6.根据权利要求5所述的全自动硅片清洗线，其特征在于，

所述清洗段包括：若干按照清洗工序依次排列的清洗槽，用于控制清洗槽往复升降的抛动机构，用于抓取横向排列花篮依次进入各清洗槽的机械手搬运机构，以及

在一最后清洗槽处设有慢拉机构；

所述慢拉机构适于将进入该最后清洗槽内花篮托起进行脱水；

所述慢拉机构包括：位于最后清洗槽两侧的托架，以及使托架上升或下降的齿轮齿条机构，

一驱动电机适于通过同步轴、皮带左右同时带动齿轮齿条机构使托架同步上升。

7.根据权利要求6所述的全自动硅片清洗线，其特征在于，

所述烘干段包括：链条传送机构，以及架设在链条传送机构上的热风循环机构；

所述机械手搬运机构适于将位于托架上的花篮夹持后放入链条传送机构；在热风循环机构对硅片进行烘干后，通过烘干段花篮顶升机构将花篮顶升；以及

位于烘干段后还设有移载段；

所述移载段包括：五轴机械手机构；

所述五轴机械手机构将花篮抓取搬运至后续设备的上料处，以将已卸料的空篮取回放入空篮回转机构的回料顶升机构上，送至硅片装载机构。

8.根据权利要求7所述的全自动硅片清洗线，其特征在于，

所述机械手搬运机构包括：一对抓手，所述抓手上设有通电线路，

所述花篮内置有通电导线；在抓手夹持花篮后，通电导线与通电线路导通构成回路，所述机械手搬运机构内设有通电检测模块，且通过所述通电检测模块所检测的回路电流判定花篮是否掉落。