[实用新型]坩埚、蒸镀准备装置及蒸镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示装置的生产领域，具体涉及一种坩埚、蒸镀准备装置及蒸镀设备。

背景技术

蒸镀法是有机电致发光显示基板的制作中常用的方法，具体过程是在真空腔室中，对坩埚内的蒸镀材料进行加热，以使材料从固态转换为气态的原子、原子团或分子，然后凝聚到待镀膜的基板表面形成膜层。传统的坩埚为开放式(即，顶端形成开口)坩埚，在蒸镀之前，先将蒸镀材料放置于坩埚中，然后再将坩埚放入蒸镀腔室中进行加热蒸镀。由于坩埚为开放式坩埚，因此从蒸镀材料放入坩埚到进入腔室之前，蒸镀材料会一直暴露在外界大气中，对于吸水性材料和活泼金属类材料来说，空气中的水、氧气成分容易引起材料的变质进而影响最终的蒸镀效果，且有毒的材料会损害操作人员的健康。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种坩埚、蒸镀准备装置和蒸镀设备，以减少待蒸镀材料的变质和减少人体与待蒸镀材料的直接接触。

为了解决上述技术问题之一，本实用新型提供一种坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部形成有开口，所述坩埚还包括密封盖和弹性件，所述密封盖与所述坩埚本体形成可拆卸的密封连接，以使所述密封盖能够打开或密封所述开口，所述弹性件设置在所述密封盖和所述坩埚本体之间，且所述弹性件在所述密封盖密封所述开口时处于压缩状态。

优选地，所述弹性件包括扭力弹簧，所述扭力弹簧的一端设置在所述坩埚本体上，所述扭力弹簧的另一端设置在所述密封盖边缘，所述密封盖边缘的未设置所述扭力弹簧的部分通过连接件与所述坩埚本体可拆卸地连接。

优选地，所述坩埚本体包括底壁和侧壁，所述坩埚本体的侧壁包括直立部和水平延伸部，所述水平延伸部的一端与所述直立部的顶端相连，所述水平延伸部的另一端朝向所述坩埚本体外部延伸，

所述扭力弹簧的一端设置在所述水平延伸部上，所述密封盖边缘的未设置扭力弹簧的部分通过所述连接件与所述水平延伸部可拆卸地连接。

优选地，所述连接件包括卡扣，所述卡扣的一端与所述密封盖铰接，所述卡扣的另一端设置有用于与所述水平延伸部卡接的卡勾。

优选地，所述水平延伸部上设置有第一密封垫，该第一密封垫为环绕所述坩埚本体的轴线的闭合环形结构；和/或，

所述密封盖包括盖体和设置在盖体底面上的第二密封垫，该第二密封垫为环绕所述密封盖的轴线的闭合环形结构。

相应地，本实用新型还提供一种蒸镀准备装置，包括手套箱和本实用新型提供的上述坩埚，所述手套箱包括箱体和手套，所述箱体上设置有入口、用于打开和关闭该入口的箱门、手套接口，所述手套与所述手套接口密封连接，所述坩埚能够通过所述入口进入所述箱体内；所述箱体上设置有气压调节结构，所述气压调节结构用于调节所述箱体内的气压。

优选地，所述箱体上还设置有进气口，该进气口与惰性气体源相连通。

相应地，本实用新型还提供一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室与抽真空装置连通，所述蒸镀装置还包括本实用新型提供的上述蒸镀准备装置。

可以看出，在进行蒸镀之前向坩埚本体内填入待蒸镀材料时，可以将坩埚和未拆包装的待蒸镀材料放入手套箱的箱体，操作人员通过手套伸入箱体中，将待蒸镀材料放入坩埚本体内，从而防止与对身体有害的材料直接接触；之后，利用箱体上的气压调节结构调节箱体内的气压，使其小于外界大气压；之后，将密封盖与坩埚本体密封连接，以保证坩埚本体内的气压小于外界大气压，因此，将坩埚从手套箱取出而置于外界大气环境中时，即使解除密封盖与坩埚本体之间的密封连接，密封盖依然也可以在外界大气环境下保持对开口的密封，直至坩埚本体放入蒸镀腔室后，蒸镀腔室被抽真空至气压与坩埚本体内气压一致时，弹性件的弹力打开密封盖；且手套箱内可以提前充入惰性气体，从而使得从材料进入坩埚并将密封盖密封所述开口到密封盖打开的过程中，坩埚本体内的材料始终没有与水汽、氧气等接触，进而防止材料变质，从而提高蒸镀效果。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型实施例中提供的坩埚的结构示意图；

图2a是弹性件处于初始状态时密封盖的状态示意图；

图2b是弹性件处于压缩状态时密封盖的状态示意图；

图3是密封盖的仰视图；

图4是本实用新型实施例中手套箱的结构示意图。

其中，附图标记为：