[发明专利]一种掺钒ZnO厚膜及其制备方法

权利要求书

1.一种掺钒ZnO厚膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

S10、制备掺钒ZnO胶体；

S20、制备掺钒ZnO纳米粉；

S30、将所述掺钒ZnO胶体和所述掺钒ZnO纳米粉混合，形成掺钒ZnO混合浆料；

S40、将所述掺钒ZnO混合浆料和所述掺钒ZnO胶体按预设涂覆顺序涂覆在基片上；

S50、对涂覆后的基片进行预处理；

S60、判断制备的掺钒ZnO厚膜的厚度是否达到所需厚度，若否，则重复步骤S40和S50，直至获得所需厚度的掺钒ZnO厚膜，若是，则执行步骤S70；

S70、对所述掺钒ZnO厚膜进行热处理。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制备掺钒ZnO胶体，具体为：

将醋酸锌和聚乙烯醇溶于去离子水，在加热条件下，磁力搅拌回流0.5～2h，直至得到透明溶液；

冷却到室温，按摩尔比：V/(Zn+V)＝0.001～0.7加入偏钒酸铵，继续搅拌待完全溶解后得到溶胶。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制备掺钒ZnO胶体，具体为：

硝酸锌和甘氨酸溶于水，在加热条件下，磁力搅拌回流0.5～2h，直至得到透明溶液；

冷却到室温，按摩尔比：V/(Zn+V)＝0.001～0.7加入偏钒酸铵，继续搅拌待完全溶解后得到溶胶。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述加热温度为60～100℃。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述加热温度为60～100℃。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制备掺钒ZnO纳米粉，具体为：高能机械球磨法、溶胶凝胶法、火焰喷雾热解法、微乳液法、水热法、化学沉淀法、固相化学反应法、热分解法或化学气相沉积法；其中，含钒量按照摩尔比为V/(Zn+V)＝0.001～0.7。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述将所述掺钒ZnO胶体和所述掺钒ZnO纳米粉混合，形成掺钒ZnO混合浆料，具体为：

按掺钒ZnO纳米粉：掺钒ZnO胶体的摩尔比为x:1进行配比，其中，0≤x≤3；

将掺钒ZnO纳米粉分散到掺钒ZnO胶体中，并加入稳定剂，搅拌、超声分散；

用高能球磨机把以上混合浆料球磨，得到稳定的混合浆料。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热处理具体为：

将所得的掺钒ZnO厚膜于500～800℃条件下，处理10min～5h，得到所需掺钒ZnO厚膜；其中，升温速度为3-10℃/min，恒温处理后随炉冷却；或者升温速度为100-600℃/min，恒温处理后快速取出。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述预处理，具体为：

温度为60～500℃，处理时间为5～30min。

10.根据权要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤S40中的，所述按预设涂覆顺序，具体为：

先涂覆0-10次的掺钒ZnO胶体，然后在涂覆1-10次掺钒ZnO混合浆料，再涂覆0-10次掺钒ZnO胶体，然后再涂覆1-10次掺钒ZnO混合浆料，再涂覆0-10次掺钒ZnO胶体，重复循环，直到达到所需要的ZnO厚膜厚度。

11.一种掺钒ZnO厚膜，其特征在于，由如权利要求1-10任一权利要求所述的制备方法制备而成。