[发明专利]一种金刚线切割晶体硅生产线的用水方法及用水系统

权利要求书

1.一种金刚线切割晶体硅生产线的用水方法，其特征在于，

所述金刚线切割晶体硅生产线携带有n台线切机，每台线切机具有储水罐，所述储水罐用于储存冲洗金刚线切割晶体硅工作台的循环液；循环液冲洗所述金刚线切割晶体硅工作台的废水被收集后，经过废水处理，调配得到生产用水；

所述金刚线切割晶体硅生产线携带的n台线切机中，有i台线切机的储水罐使用纯水配制循环液；

所述金刚线切割晶体硅生产线携带的n台线切机中，有j台线切机的储水罐使用生产用水配制循环液；

所述废水处理造成x％的水量损失；

所述i+j＝n；且x％-5％≤i/n×100％≤x％+5％。

2.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述x％为20～25％。

3.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述n为正整数。

4.如权利要求3所述的用水方法，其特征在于，所述n为30～60；

每台线切机的用水量相同。

5.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，满足如下条件之一则判断j台线切机的生产用水不合格：

(a)当j台线切机的断线率高于i台线切机的断线率的2％；

(b)当j台线切机的良品率低于i台线切机的良品率的1％。

6.如权利要求5所述的用水方法，其特征在于，当判断j台线切机的生产用水不合格时，调整生产用水的组成，或者排空用水系统的水，重新注入纯水进行生产。

7.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述循环液的组成为300～400重量份稀释水、1重量份药剂A冷却液、0.1重量份药剂B消泡剂。

8.如权利要求7所述的用水方法，其特征在于，在i台线切机使用的循环液中，所述稀释水为去离子水。

9.如权利要求7所述的用水方法，其特征在于，在j台线切机使用的循环液中，所述稀释水为生产用水。

10.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述j台线切机使用的循环液在j台线切机的储水罐中分别配制。

11.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述j台线切机使用的循环液统一配制，然后分别供给给所述j台线切机。

12.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，循环水供给给线切机的方式为溢流方式。

13.如权利要求12所述的用水方法，其特征在于，溢流量为100L/h以上。

14.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，过滤包括依次进行的压滤和陶瓷膜过滤。

15.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述生产用水的COD≤1800mg/L，pH值为5.5～7.5，电导率指标为≤30μs/cm，浊度≤100。

16.一种金刚线切割晶体硅生产线的用水系统，其特征在于，所述用水系统包括(I)废水收集系统，所述废水收集系统具有n个进水口，与金刚线切割晶体硅生产线的n台线切机废水出口连接，用于收集金刚线切割晶体硅生产线产生的废水；

(II)废水处理系统，与废水收集系统连接，用于将废水处理成生产用水；

(III)供水系统，与废水处理系统的出口连接，用于将生产用水提供给金刚线切割晶体硅生产线，所述供水系统通过至少一个第一循环液调节部件与j台线切机连接，提供循环液；

(IV)纯水系统，包括纯水储罐，所述纯水储罐通过至少一个第二循环液调节部件与i台线切机连接，提供冲洗液。