[发明专利]石墨真空碳化炉

说明书

本发明涉及碳化炉技术领域，特指石墨真空碳化炉，包括有碳化炉体，碳化炉体上的排气口处连接有排污过滤装置，排污过滤装置包括有第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、第四过滤器、第一真空泵，第一过滤器和第三过滤器内部的外腔与内腔之间均通过过滤瓷环分隔，第二过滤器和第四过滤器内部的外腔与内腔之间均通过空气过滤网分隔，排气口依次连接第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、第四过滤器、第一真空泵，本发明由于排放气体经过两次过滤瓷环的过滤冷却和两次空气过滤网的过滤，能够充分地将气体中的CO、CO2、CH4、焦油等杂质过滤掉，提高过滤效果，减小排放气体对真空泵的影响，大大降低设备的故障率，减少维护成本。

技术领域：

本发明涉及碳化炉技术领域，特指石墨真空碳化炉。

背景技术：

随着手机、移动电话、笔记本电脑、数码相机等电子设备的高速发展，承载电流从而发热的电子部件(例如CPU)对散热材料提出了越来越高的要求，电子部件发出的热量会导致温度上升，使其性能降低，长期的高温会导致其寿命缩短。石墨散热片具有各向异性导热性，在平行与表面的方向导热性较高，从而使得电子部件产生的热量在被传导的同时被辐射，能有效减小电子部件由于发热受到的负面影响，是目前被广泛应用、且性能优异的导热材料。

石墨散热片在加工时都需要先将石墨片放到石墨真空碳化炉进行碳化处理，去除石墨片内部的H、O等成分，石墨真空碳化炉对石墨片碳化处理的过程中会产生CO、CO2、CH4、焦油等杂质，这就需要对石墨真空碳化炉排放的气体进行过滤处理。但是现有的石墨真空碳化炉过滤处理装置过滤不充分，过滤效果不好，导致设备维护成本高。

发明内容：

本发明的目的就是针对现有技术存在的不足而提供一种提高过滤效果的石墨真空碳化炉。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：石墨真空碳化炉，包括有碳化炉体，碳化炉体上设有排气口，排气口处连接有排污过滤装置，排污过滤装置包括有第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、第四过滤器、第一真空泵，第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器和第四过滤器均为内部设有外腔、位于外腔内部的内腔的密封容器，第一过滤器和第三过滤器内部的外腔与内腔之间均通过过滤瓷环分隔，第二过滤器和第四过滤器内部的外腔与内腔之间均通过空气过滤网分隔，排气口与第一过滤器的外腔连通，第二过滤器的内腔通过管道与第一过滤器的内腔连通，第三过滤器的外腔通过管道与第二过滤器的外腔连通，第四过滤器的内腔通过管道与第三过滤器的内腔连通，第一真空泵的抽气口通过管道与第四过滤器的外腔连通。

所述排污过滤装置还包括有第二真空泵，第二真空泵的抽气口与第三过滤器的内腔连通。

所述排气口与第一过滤器外腔的顶部连通，第二过滤器内腔的底部通过管道与第一过滤器内腔的底部连通，第三过滤器外腔的顶部通过管道与第二过滤器外腔的顶部连通，第四过滤器内腔的底部通过管道与第三过滤器内腔的底部连通，第一真空泵的抽气口通过管道与第四过滤器外腔的顶部连通。

所述碳化炉体上设有真空表。

所述碳化炉体上设有电子真空计。

所述碳化炉体内部充入氩气。